TGV чист?
TGV, (Through-Glass via), технологияи сохтани сӯрохиҳо дар субстрати шиша, Ба ибораи оддӣ, TGV як бинои баландошёнаест, ки шишаро мезанад, пур мекунад ва ба боло ва поён барои сохтани микросхемаҳои интегралӣ дар шиша мепайвандад. ошёна.Ин технология технологияи калидӣ барои насли ояндаи бастабандии 3D ҳисобида мешавад.
Хусусиятҳои TGV кадомҳоянд?
1. Сохтор: TGV як гузаронандаи амудӣ аст, ки тавассути сӯрохи дар зери қабати шиша сохташуда мегузарад.Бо гузоштани қабати металлии ноқилӣ дар девори сӯрох қабатҳои болоӣ ва поёнии сигналҳои электрикӣ ба ҳам пайваст мешаванд.
2. Раванди истеҳсолӣ: Истеҳсоли TGV коркарди пешакии субстрат, сӯрохӣ, рехтани қабати металлӣ, пур кардани сӯрох ва қадамҳои ҳамворро дар бар мегирад.Усулҳои маъмули истеҳсолот инҳоянд: кимиёвӣ, пармакунии лазерӣ, электропластика ва ғайра.
3. Афзалиятҳои татбиқ: Дар муқоиса бо металли анъанавии тавассути сӯрох, TGV дорои бартариҳои андозаи хурдтар, зичии баландтари ноқилҳо, иҷрои беҳтари гармӣ ва ғайра мебошад.Дар микроэлектроника, оптоэлектроника, MEMS ва дигар соҳаҳои пайвастагии зичии баланд васеъ истифода мешавад.
4. Тамоюли рушд: Бо рушди маҳсулоти электронӣ ба самти миниатюризатсия ва ҳамгироии баланд, технологияи TGV бештар таваҷҷуҳ ва татбиқ мегардад.Дар оянда, раванди истеҳсоли он такмил дода мешавад ва андоза ва иҷрои он беҳтар хоҳад шуд.
Раванди TGV чист:
1. Омодасозии субстрати шишагӣ (а): Дар ибтидо як субстрати шишагӣ омода кунед, то сатҳи он ҳамвор ва тоза бошад.
2. Пармакунии шишагӣ (б): Барои ташаккул додани сӯрохи воридшавӣ дар субстрат шиша лазер истифода мешавад.Шакли сӯрох одатан конусӣ буда, пас аз коркарди лазерӣ аз як тараф онро гардон ва аз тарафи дигар коркард мекунанд.
3. Металлизатсияи девори сӯрох (в): Металлизатсия дар девори сӯрох, одатан тавассути PVD, CVD ва дигар равандҳо барои ташаккули қабати тухмии металлии гузаронанда дар девори сӯрох, ба монанди Ti/Cu, Cr/Cu ва ғайра анҷом дода мешавад.
4. Литография (г): Сатҳи субстрати шишагӣ бо фоторезистӣ ва фотонамудҳо фаро гирифта шудааст.Қисмҳоеро, ки ба пӯшиш эҳтиёҷ надоранд, фош кунед, то ки танҳо қисмҳое, ки ба пӯшиш ниёз доранд, фош шаванд.
5. Пур кардани сӯрох (д): Миси электроплизӣ барои пур кардани шиша аз сӯрохиҳо барои ташаккули роҳи пурраи интиқолдиҳанда.Одатан талаб карда мешавад, ки сӯрохи пурра бе сӯрохиҳо пур карда шавад.Дар хотир доред, ки Cu дар диаграмма пурра пур карда нашудааст.
6. Сатҳи ҳамвори субстрат (f): Баъзе равандҳои TGV сатҳи зеризаминии шишаи пуршударо ҳамвор мекунанд, то сатҳи ҳамвор бошад, ки ин ба марҳилаҳои минбаъдаи раванд мусоидат мекунад.
7.Қабати муҳофизатӣ ва пайвасти терминал (g): Дар рӯи субстрати шиша қабати муҳофизатӣ (ба монанди полиимид) ташкил карда мешавад.
Хулоса, ҳар як қадами раванди TGV муҳим аст ва назорат ва оптимизатсияи дақиқро талаб мекунад.Мо дар айни замон шишаи TGV тавассути технологияи сӯрохиро пешниҳод мекунем, агар лозим бошад.Лутфан бо мо дар тамос шавед!
(Маълумоти дар боло овардашуда аз Интернет, сензура мебошанд)
Вақти фиристодан: июн-25-2024