SPC (Назорати равандҳои оморӣ) як воситаи муҳим дар раванди истеҳсоли вафлиест, ки барои назорат, назорат ва беҳтар кардани устувории марҳилаҳои гуногуни истеҳсолот истифода мешавад.
1. Баррасии системаи SPC
SPC усулест, ки усулҳои оморӣ барои назорат ва назорати равандҳои истеҳсолиро истифода мебарад. Вазифаи асосии он ошкор кардани аномалияҳо дар раванди истеҳсолот тавассути ҷамъоварӣ ва таҳлили маълумот дар вақти воқеӣ, кӯмак ба муҳандисон дар қабули ислоҳҳо ва қарорҳои саривақтӣ мебошад. Ҳадафи SPC коҳиш додани тафовут дар раванди истеҳсолот, таъмини устувории сифати маҳсулот ва мувофиқат ба мушаххасот мебошад.
SPC дар раванди etching истифода бурда мешавад:
Мониторинги параметрҳои муҳими таҷҳизот (масалан, суръати сӯзишворӣ, қувваи RF, фишори камера, ҳарорат ва ғайра)
Нишондиҳандаҳои асосии сифати маҳсулотро таҳлил кунед (масалан, паҳнои хат, умқи кандашавӣ, ноҳамвории канор ва ғ.)
Бо мониторинги ин параметрҳо, муҳандисон метавонанд тамоюлҳоеро, ки таназзули кори таҷҳизот ё инҳироф дар раванди истеҳсолотро нишон медиҳанд, муайян кунанд ва ҳамин тариқ суръати партовҳоро коҳиш диҳанд.
2. Унсурҳои асосии системаи SPC
Системаи SPC аз якчанд модулҳои асосӣ иборат аст:
Модули Ҷамъоварии маълумот: Ҷамъоварии маълумот дар вақти воқеӣ аз таҷҳизот ва ҷараёнҳои раванд (масалан, тавассути системаҳои FDC, EES) ва сабти параметрҳои муҳим ва натиҷаҳои истеҳсолот.
Модули Диаграммаи назорат: Диаграммаҳои назоратии оморӣ (масалан, диаграммаи X-Bar, диаграммаи R, диаграммаи Cp/Cpk) барои визуализатсияи суботи раванд ва кӯмак дар муайян кардани он, ки раванд таҳти назорат аст, истифода мебарад.
Системаи ҳушдор: Вақте ки параметрҳои муҳим аз ҳадди назорат зиёданд ё тағирёбии тамоюлро нишон медиҳанд, ҳушдорҳоро ба кор меандозад ва муҳандисонро водор мекунад, ки чора андешанд.
Модули таҳлил ва гузоришдиҳӣ: Сабабҳои аслии аномалияҳоро дар асоси диаграммаҳои SPC таҳлил мекунад ва мунтазам ҳисоботи иҷроиш барои раванд ва таҷҳизот тавлид мекунад.
3. Шарҳи муфассали диаграммаҳои назоратӣ дар SPC
Диаграммаҳои назоратӣ яке аз асбобҳои маъмултарин дар SPC мебошанд, ки барои фарқ кардани байни "дигаргунии муқаррарӣ" (ба сабаби тағирёбии равандҳои табиӣ) ва "дигаргунии ғайримуқаррарӣ" (бо сабаби нокомии таҷҳизот ё инҳирофҳои равандҳо) кӯмак мекунанд. Диаграммаҳои назорати умумӣ инҳоро дар бар мегиранд:
Диаграммаҳои X-Bar ва R: Барои назорат кардани миёна ва диапазон дар партияҳои истеҳсолӣ барои мушоҳида кардани мӯътадил будани раванд истифода мешавад.
Индекси Cp ва Cpk: Барои чен кардани қобилияти раванд истифода мешавад, яъне оё натиҷаи раванд метавонад пайваста ба талаботи мушаххасот ҷавобгӯ бошад. Cp қобилияти эҳтимолиро чен мекунад, дар ҳоле ки Cpk дуршавии маркази равандро аз ҳудуди мушаххасот баррасӣ мекунад.
Масалан, дар раванди кандакорӣ, шумо метавонед параметрҳоро ба монанди суръати кандашавӣ ва ноҳамвории рӯи замин назорат кунед. Агар суръати тозакунии як порчаи муайяни таҷҳизот аз ҳадди назорат зиёд бошад, шумо метавонед диаграммаҳои назоратро истифода баред, то муайян кунед, ки ин тағирёбии табиӣ ё нишондиҳандаи носозгории таҷҳизот аст.
4. Татбиқи SPC дар таҷҳизоти Etching
Дар раванди etching, назорати параметрҳои таҷҳизот муҳим аст ва SPC ба беҳтар шудани устувории раванд бо роҳҳои зерин мусоидат мекунад:
Мониторинги ҳолати таҷҳизот: Системаҳо ба монанди FDC маълумоти воқеиро дар бораи параметрҳои асосии таҷҳизоти сӯзишворӣ (масалан, қувваи РБ, ҷараёни газ) ҷамъ мекунанд ва ин маълумотро бо диаграммаҳои назорати SPC барои ошкор кардани мушкилоти эҳтимолии таҷҳизот муттаҳид мекунанд. Масалан, агар шумо бинед, ки қувваи РБ дар диаграммаи идоракунӣ тадриҷан аз арзиши муқарраршуда дур мешавад, шумо метавонед барои ислоҳ ё нигоҳдорӣ чораҳои пешакӣ андешед, то ба сифати маҳсулот таъсир нарасонад.
Мониторинги сифати маҳсулот: Шумо инчунин метавонед параметрҳои асосии сифати маҳсулотро (масалан, умқи etch, паҳнои хат) ба системаи SPC ворид кунед, то устувории онҳоро назорат кунед. Агар баъзе нишондиҳандаҳои муҳими маҳсулот тадриҷан аз арзишҳои мақсаднок дур шаванд, системаи SPC ҳушдор медиҳад ва нишон медиҳад, ки ислоҳоти раванд зарур аст.
Нигоҳдории пешгирикунанда (PM): SPC метавонад ба оптимизатсияи давраи нигоҳдории пешгирикунанда барои таҷҳизот кӯмак расонад. Бо таҳлили маълумоти дарозмуддат дар бораи кори таҷҳизот ва натиҷаҳои раванд, шумо метавонед вақти оптималии нигоҳдории таҷҳизотро муайян кунед. Масалан, тавассути мониторинги қувваи RF ва мӯҳлати истифодабарии ESC, шумо метавонед муайян кунед, ки кай тоза кардан ё иваз кардани ҷузъҳо лозим аст, кам кардани суръати аз кор мондани таҷҳизот ва бекористии истеҳсолот.
5. Маслиҳатҳои истифодаи ҳаррӯза барои системаи SPC
Ҳангоми истифодаи системаи SPC дар амалиёти ҳаррӯза қадамҳои зеринро иҷро кардан мумкин аст:
Муайян кардани параметрҳои асосии назорати (KPI): Муҳимтарин параметрҳоро дар раванди истеҳсолот муайян кунед ва онҳоро ба мониторинги SPC дохил кунед. Ин параметрҳо бояд бо сифати маҳсулот ва кори таҷҳизот зич алоқаманд бошанд.
Ҳадди назорат ва маҳдудиятҳои ҳушдорро таъин кунед: Дар асоси маълумоти таърихӣ ва талаботи раванд, барои ҳар як параметр маҳдудиятҳои оқилонаи назорат ва маҳдудиятҳои ҳушдорро муқаррар кунед. Лимитҳои назорат одатан дар ±3σ муқаррар карда мешаванд (инҳирофҳои стандартӣ), дар ҳоле ки маҳдудиятҳои ҳушдор ба шароити мушаххаси раванд ва таҷҳизот асос ёфтаанд.
Мониторинг ва таҳлили доимӣ: Диаграммаҳои назоратии SPC-ро мунтазам аз назар гузаронед, то тамоюлҳо ва вариантҳои маълумотро таҳлил кунед. Агар баъзе параметрҳо аз ҳудуди назорат зиёд бошанд, амали фаврӣ лозим аст, ба монанди танзими параметрҳои таҷҳизот ё иҷрои хидматрасонии таҷҳизот.
Муносибати ғайримуқаррарӣ ва таҳлили сабабҳои реша: Вақте ки як нооромиҳо рух медиҳад, системаи SPC маълумоти муфассалро дар бораи ҳодиса сабт мекунад. Ба шумо лозим аст, ки дар асоси ин маълумот сабабҳои аслии нооромиро ҳал кунед ва таҳлил кунед. Аксар вақт имконпазир аст, ки маълумотро аз системаҳои FDC, системаҳои EES ва ғайра муттаҳид созем, то таҳлил кунем, ки оё мушкилот бо сабаби нокомии таҷҳизот, инҳирофоти раванд ё омилҳои муҳити беруна аст.
Такмили доимӣ: Бо истифода аз маълумоти таърихие, ки системаи SPC сабт кардааст, нуқтаҳои заифро дар раванд муайян кунед ва нақшаҳои такмилро пешниҳод кунед. Масалан, дар раванди etching, таъсири мӯҳлати ESC ва усулҳои тозакунӣ ба давраҳои нигоҳдории таҷҳизотро таҳлил кунед ва параметрҳои кори таҷҳизотро пайваста оптимизатсия кунед.
6. Парвандаи амалии ариза
Ҳамчун мисоли амалӣ, фарз мекунем, ки шумо барои таҷҳизоти кандакорӣ E-MAX масъул ҳастед ва катодҳои камеравӣ фарсудашавии бармаҳалро аз сар мегузаронанд, ки боиси афзоиши арзишҳои D0 (камбудии BARC) мегардад. Бо мониторинги қувваи РБ ва суръати баландшавӣ тавассути системаи SPC, шумо тамоюлеро мебинед, ки ин параметрҳо тадриҷан аз арзишҳои муқарраршудаи худ дур мешаванд. Пас аз ба кор андохтани ҳушдори SPC, шумо маълумотро аз системаи FDC муттаҳид мекунед ва муайян мекунед, ки мушкилот аз назорати ноустувори ҳарорат дар дохили камера ба вуҷуд омадааст. Пас шумо усулҳои нави тозакунӣ ва стратегияҳои нигоҳубинро татбиқ карда, дар ниҳоят арзиши D0-ро аз 4,3 то 2,4 коҳиш медиҳед ва ба ин васила сифати маҳсулотро беҳтар мекунед.
7.Дар XINKEHUI шумо метавонед ба даст оред.
Дар XINKEHUI, шумо метавонед вафли комилро ба даст оред, хоҳ он вафли кремний ё вафли SiC. Мо ба таҳвили вафли баландсифат барои соҳаҳои мухталиф тахассус дорем, ки ба дақиқӣ ва иҷроиш тамаркуз мекунем.
(вафли кремний)
Вафли кремнийи мо бо покӣ ва якрангии олӣ сохта шуда, хосиятҳои аълои электрикиро барои ниёзҳои нимноқилҳои шумо таъмин мекунанд.
Барои барномаҳои бештар серталаб, вафлиҳои SiC-и мо гузаронандагии гармидиҳии истисноӣ ва самаранокии баландтари нерӯи барқро пешниҳод мекунанд, ки барои электроникаи барқ ва муҳити ҳарорати баланд беҳтарин мувофиқанд.
(SiC вафли)
Бо XINKEHUI, шумо технологияи муосир ва дастгирии боэътимод мегиред, ки вафлиҳоро кафолат медиҳад, ки ба стандартҳои баландтарини саноат мувофиқат мекунанд. Барои комилияти вафли худ моро интихоб кунед!
Вақти фиристодан: октябр-16-2024