АфзалиятхоиТавассути шиша тавассути (TGV)ва тавассути Silicon Via (TSV) равандҳо тавассути TGV асосан инҳоянд:
(1) хусусиятҳои аълои электрикии басомади баланд. Маводи шишагӣ як маводи изоляторӣ мебошад, доимии диэлектрикӣ танҳо тақрибан 1/3 нисбат ба маводи кремний аст ва омили талафот нисбат ба маводи кремний 2-3 дараҷа пасттар аст, ки талафоти субстрат ва таъсири паразитиро хеле коҳиш медиҳад. ва бутунии сигнали додашударо таъмин мекунад;
(2)андозаи калон ва субстрати шишагии ултра борикба даст овардан осон аст. Corning, Asahi ва SCHOTT ва дигар истеҳсолкунандагони шиша метавонанд андозаи ултра-калон (>2m × 2m) ва ултра борик (<50µm) шиша панел ва маводи шишаи чандири ултра борик таъмин кунанд.
3) арзиши паст. Аз дастрасии осон ба шишаи панели калонҳаҷм баҳра баред ва гузоштани қабатҳои изолятсияро талаб намекунад, арзиши истеҳсоли лавҳаи адаптери шиша танҳо тақрибан 1/8 адаптерҳои бар кремнийро ташкил медиҳад;
4) Раванди оддӣ. Дар сатҳи субстрат ва девори дарунии TGV гузоштани қабати изолятсионӣ лозим нест ва дар пластинкаи адаптерҳои ултра борик тунук кардан лозим нест;
(5) устувории механикии қавӣ. Ҳатто вақте ки ғафсии лавҳаи адаптер аз 100 микрон камтар бошад ҳам, ғафсӣ то ҳол хурд аст;
(6) Доираи васеи барномаҳо, як технологияи пайдошавандаи пайвасти дарозмӯҳлатест, ки дар соҳаи бастабандии сатҳи вафли истифода мешавад, то масофаи кӯтоҳтарин байни вафли вафлиро ба даст орад, ҳадди аққали пайвастшавӣ роҳи технологияи навро бо барқии аъло таъмин мекунад. , хосиятҳои гармидиҳӣ, механикӣ, дар чипи RF, сенсорҳои баландсифати MEMS, ҳамгироии системаҳои зичии баланд ва дигар соҳаҳо бо бартариҳои беназир, оянда аст. насли 5G, 6G чипи басомади баландбасомади 3D Ин яке аз интихоби аввалин барои бастабандии 3D чипҳои насли ояндаи 5G ва 6G мебошад.
Раванди қолаби TGV асосан аз қумрезӣ, пармакунии ултрасадоӣ, etching тар, ифлосшавии амиқи ионҳои реактивӣ, etching фотоҳассос, etching лазерӣ, чуқурии амиқи лазерӣ ва ташаккули сӯрохи разрядро дар бар мегирад.
Натиҷаҳои тадқиқот ва коркарди охирин нишон медиҳанд, ки технология метавонад тавассути сӯрохиҳо ва сӯрохиҳои кӯри 5: 1 бо таносуби умқ ба паҳнои 20: 1 омода шавад ва морфологияи хуб дошта бошад. Дар айни замон усули аз ҳама омӯхташуда аз рӯи лазерӣ, ки боиси ноҳамвории хурди рӯизаминӣ мегардад, мебошад. Тавре ки дар расми 1 нишон дода шудааст, дар атрофи пармакунии оддии лазерӣ тарқишҳои возеҳ вуҷуд доранд, дар ҳоле ки деворҳои атроф ва паҳлӯии чӯбҳои амиқ бо лазер тоза ва ҳамвор мебошанд.
Раванди коркардиTGVinterposer дар расми 2 нишон дода шудааст. Нақшаи умумӣ ин аст, ки аввал дар зери қабати шиша сӯрохиҳоро парма карда, сипас қабати монеа ва қабати тухмиро дар девори паҳлӯ ва рӯи он гузоред. Қабати монеа паҳншавии Cu-ро ба субстрати шишагӣ пешгирӣ мекунад, дар ҳоле ки пайвастагии дуро зиёд мекунад, албатта, дар баъзе тадқиқотҳо инчунин муайян карданд, ки қабати монеа зарур нест. Сипас Cu тавассути электроплинг гузошта мешавад, сипас тоза карда мешавад ва қабати Cu тавассути CMP хориҷ карда мешавад. Ниҳоят, қабати бозсозии RDL аз ҷониби литографияи рӯйпӯши PVD омода карда мешавад ва қабати пассиватсия пас аз хориҷ кардани ширеше ба вуҷуд меояд.
(а) Омода кардани вафли, (б) ташаккули TGV, (в) электроплизании дуҷониба - рехтани мис, (г) тозакунӣ ва сайқал додани кимиёвӣ ва механикии CMP, тоза кардани қабати миси рӯизаминӣ, (д) пӯшиши PVD ва литография , (е) ҷойгиркунии қабати дубораи RDL, (г) деглюинг ва etching Cu/Ti, (з) ташаккули қабати пассиватсия.
Хулласи калом,шиша тавассути сӯрохи (TGV)дурнамои татбиқ васеъ аст ва бозори кунунии дохилӣ дар марҳилаи болоравӣ қарор дорад, аз таҷҳизот то тарҳрезии маҳсулот ва суръати рушди тадқиқот ва рушд аз сатҳи миёнаи ҷаҳонӣ баландтар аст.
Агар вайронкунӣ вуҷуд дошта бошад, тамосро нест кунед
Вақти фиристодан: июл-16-2024