Бо рушди муттасили технологияи нимноқилҳо, дар саноати нимноқилҳо ва ҳатто саноати фотоэлектрикӣ, талабот ба сифати сатҳи субстрати вафли ё варақи эпитаксиалӣ низ хеле сахт аст.Пас, талаботи сифат ба вафель чист?Вафли сапфирро мисол мегирем, барои арзёбии сифати сатҳи пластинкаҳо кадом нишондиҳандаҳоро метавон истифода бурд?
Нишондиҳандаҳои арзёбии вафлиҳо кадомҳоянд?
Се нишондиҳанда
Барои вафли сапфир, нишондиҳандаҳои арзёбии он инҳирофи умумии ғафсӣ (TTV), хам (камон) ва Warp (Warp) мебошанд.Ин се параметр якҷоя якрангии ҳамворӣ ва ғафсии пласти кремнийро инъикос мекунанд ва метавонанд дараҷаи мавҷи вафлиро чен кунанд.Барои арзёбии сифати сатҳи вафель, ба корношоямиро бо ҳамворӣ муттаҳид кардан мумкин аст.
TTV, BOW, Warp чист?
TTV (Тағйирёбии умумии ғафсӣ)
TTV фарқияти байни ғафсии ҳадди аксар ва ҳадди ақали вафли аст.Ин параметр шохиси муҳимест, ки барои чен кардани якрангии ғафсии вафли истифода мешавад.Дар раванди нимноқил ғафсии пластинка бояд дар тамоми рӯи замин хеле яксон бошад.Андозаҳо одатан дар панҷ ҷой дар вафли анҷом дода мешаванд ва фарқият ҳисоб карда мешавад.Дар ниҳоят, ин арзиш барои доварӣ кардани сифати вафель асоси муҳим аст.
камон
Камон дар истеҳсоли нимноқилҳо ба хам шудани вафли дахл дорад, ки масофаро байни нуқтаи миёнаи вафли ноқил ва ҳавопаймои истинод озод мекунад.Эҳтимол ин калима аз тавсифи шакли ашё ҳангоми хам шудан, ба мисли шакли каҷшудаи камон бармеояд.Арзиши камон тавассути чен кардани инҳироф байни марказ ва канори вафли кремний муайян карда мешавад.Ин арзиш одатан бо микрометрҳо (мкм) ифода карда мешавад.
Варп
Warp моликияти глобалии вафлиҳо мебошад, ки фарқияти масофаи ҳадди аксар ва ҳадди ақалро байни мобайни вафли озод кушода ва ҳавопаймои истинодро чен мекунад.Масофаро аз сатҳи пласти кремний то ҳавопаймо ифода мекунад.
Фарқи байни TTV, Bow, Warp чист?
TTV ба тағирот дар ғафсӣ тамаркуз мекунад ва ба каҷ ё таҳрифи вафли дахл надорад.
Камон ба хами умумӣ тамаркуз мекунад, асосан бо назардошти хамкунии нуқтаи марказӣ ва канор.
Warp ҳамаҷонибатар аст, аз ҷумла хам кардан ва печонидани тамоми сатҳи вафли.
Ҳарчанд ин се параметр ба шакл ва хосиятҳои геометрии пласти кремний алоқаманданд, онҳо ба таври гуногун андозагирӣ ва тавсиф карда мешаванд ва таъсири онҳо ба раванди нимноқилҳо ва коркарди пластинка низ гуногун аст.
Ҳар қадар се параметр хурдтар бошад, ҳамон қадар беҳтар ва параметр калонтар бошад, ба раванди нимноқил таъсири манфӣ мерасонад.Аз ин рӯ, ҳамчун як мутахассиси нимноқилҳо, мо бояд аҳамияти параметрҳои профили вафлиро барои тамоми раванди раванд дарк кунем, раванди нимноқилро иҷро кунем, бояд ба ҷузъиёт диққат диҳем.
(сензура)
Вақти фиристодан: июн-24-2024