Бо рушди пайвастаи технологияи нимноқилҳо, дар саноати нимноқилҳо ва ҳатто дар саноати фотоэлектрикӣ, талабот ба сифати сатҳи субстрати вафл ё варақаи эпитаксиалӣ низ хеле сахт аст. Пас, талаботи сифат барои вафлҳо кадомҳоянд?вафли ёқутӣҲамчун мисол, кадом нишондиҳандаҳоро барои арзёбии сифати сатҳи пластинаҳо истифода бурдан мумкин аст?
Нишондиҳандаҳои арзёбии гафсҳо кадомҳоянд?
Се нишондиҳанда
Барои лавҳаҳои ёқутӣ, нишондиҳандаҳои арзёбии он инҳирофи ғафсии умумӣ (TTV), хамшавӣ (Bow) ва каҷшавӣ (Warp) мебошанд. Ин се параметр якҷоя ҳамворӣ ва якрангии ғафсии лавҳаи кремнийро инъикос мекунанд ва метавонанд дараҷаи мавҷшавии лавҳаро чен кунанд. Барои арзёбии сифати сатҳи лавҳа, гофрро бо ҳамворӣ якҷоя кардан мумкин аст.
TTV, BOW, Warp чист?
TTV (Тағйирёбии ғафсии умумӣ)
TTV фарқи байни ғафсии ҳадди аксар ва ҳадди ақали пластина аст. Ин параметр нишондиҳандаи муҳимест, ки барои чен кардани якрангии ғафсии пластина истифода мешавад. Дар раванди нимноқилӣ, ғафсии пластина бояд дар тамоми сатҳ хеле яксон бошад. Андозагирӣ одатан дар панҷ макони пластина анҷом дода мешавад ва фарқият ҳисоб карда мешавад. Дар ниҳоят, ин арзиш асоси муҳим барои арзёбии сифати пластина мебошад.
Камон
Камон дар истеҳсоли нимноқилҳо ба хам шудани пластина ишора мекунад, ки масофаро байни нуқтаи миёнаи пластинаи бефишор ва сатҳи истинодӣ озод мекунад. Ин калима эҳтимолан аз тавсифи шакли ашё ҳангоми хам шуданаш, ба монанди шакли каҷшудаи камон, гирифта шудааст. Арзиши Камон бо чен кардани инҳироф байни марказ ва канори пластинаи силикон муайян карда мешавад. Ин арзиш одатан бо микрометрҳо (µm) ифода карда мешавад.
Варп
Варп як хосияти умумии пластинаҳо аст, ки фарқи байни масофаи максималӣ ва минималиро байни мобайни пластинаи озодона кушода ва сатҳи истинодиро чен мекунад. Масофаро аз сатҳи пластинаи кремний то сатҳи ҳамвор нишон медиҳад.
Фарқи байни TTV, Bow ва Warp чист?
TTV ба тағйирот дар ғафсӣ тамаркуз мекунад ва ба хамшавӣ ё таҳрифи пластина аҳамият намедиҳад.
Камон ба хамшавии умумӣ диққат медиҳад ва асосан хамшавии нуқтаи марказӣ ва канорро ба назар мегирад.
Варп мураккабтар аст, аз ҷумла хам кардан ва печондани тамоми сатҳи вафл.
Гарчанде ки ин се параметр бо шакл ва хосиятҳои геометрии пластинаи кремний алоқаманданд, онҳо ба таври гуногун чен карда ва тавсиф карда мешаванд ва таъсири онҳо ба раванди нимноқилҳо ва коркарди пластинаҳо низ гуногун аст.
Ҳар қадар се параметр хурдтар бошад, ҳамон қадар беҳтар аст ва ҳар қадар параметр калонтар бошад, таъсири манфӣ ба раванди нимноқилҳо зиёдтар аст. Аз ин рӯ, ҳамчун мутахассиси нимноқил, мо бояд аҳамияти параметрҳои профили вафлиро барои тамоми раванди раванд дарк кунем, раванди нимноқилро анҷом диҳем ва ба ҷузъиёт диққат диҳем.
(сензура)
Вақти нашр: 24 июни соли 2024