Ҳангоми баррасии пластинаҳои кремнийи нимноқилӣ ё субстратҳои аз маводи дигар сохташуда, мо аксар вақт бо нишондиҳандаҳои техникӣ дучор мешавем, ба монанди: TTV, BOW, WARP ва эҳтимолан TIR, STIR, LTV ва ғайра. Инҳо кадом параметрҳоро ифода мекунанд?
TTV — Варианти умумии ғафсӣ
КАМОН — камон
WARP — Варп
TIR - Хониши умумии нишондодашуда
STIR - Хониши умумии нишондодашудаи сайт
LTV - Варианти ғафсии маҳаллӣ
1. Варианти умумии ғафсӣ - TTV
Тафовут байни ғафсии максималӣ ва минималии вафли нисбат ба ҳавопаймои истинод ҳангоми часпак ва дар тамоси наздик. Он одатан бо микрометрҳо (мкм) ифода карда мешавад, ки аксар вақт чунин ифода карда мешавад: ≤15 μm.
2. Камон — КАМОН
Инҳироф байни масофаи минималӣ ва максималӣ аз нуқтаи марказии сатҳи пластинка то ҳамвории истинод ҳангоми дар ҳолати озод (бебанд) будани пластинка. Ба ин ҳам ҳолатҳои конкавӣ (камони манфӣ) ва конвекс (камони мусбат) дохил мешаванд. Он одатан бо микрометрҳо (мкм) ифода карда мешавад, ки аксар вақт чунин ифода карда мешавад: ≤40 μm.
3. Варп — WARP
Инҳироф байни масофаи ҳадди ақал ва максимум аз сатҳи пластинка то ҳамвории истинод (одатан сатҳи қафои вафли) ҳангоми дар ҳолати озод будани пластинка. Ба ин ҳам ҳолатҳои конкавӣ (паҳлӯи манфӣ) ва ҳам конвекс (павғиши мусбат) дохил мешаванд. Он одатан бо микрометрҳо (мкм) ифода карда мешавад, ки аксар вақт чунин ифода карда мешавад: ≤30 μm.
4. Шумораи умумии нишондодашуда — TIR
Ҳангоме ки пластинка маҳкам карда мешавад ва дар тамоси зич бо истифода аз як ҳавопаймои истинод, ки маблағи буридани ҳама нуқтаҳоро дар минтақаи сифат ё минтақаи муайяни маҳаллии сатҳи пластинка ба ҳадди ақал мерасонад, TIR ин фарқияти байни масофаҳои максималӣ ва минималӣ аз сатҳи пластинка то ин ҳамвории истинод мебошад.
Дар асоси таҷрибаи амиқ дар мушаххасоти маводи нимноқилӣ, аз қабили TTV, BOW, WARP ва TIR, таъсис ёфтааст, XKH хидматҳои дақиқи коркарди вафли фармоиширо, ки ба стандартҳои сахти саноат мутобиқ карда шудаанд, пешкаш мекунад. Мо доираи васеи маводи баландсифатро, аз ҷумла сапфир, карбиди кремний (SiC), вафли кремний, SOI ва кварц таъмин ва дастгирӣ мекунем, ки ҳамворӣ, мутобиқати ғафсӣ ва сифати рӯиро барои барномаҳои пешрафта дар оптоэлектроника, дастгоҳҳои энергетикӣ ва MEMS таъмин мекунанд. Ба мо бовар кунед, ки ҳалли боэътимоди моддӣ ва коркарди дақиқро, ки ба талаботҳои аз ҳама серталаби тарроҳии шумо мувофиқат мекунанд, пешниҳод кунем.
Вақти интишор: 29 август-2025