Маънои TTV, BOW, WARP ва TIR дар вафлиҳо чист?

Ҳангоми таҳлили пластинаҳои нимноқилии кремний ё субстратҳои аз дигар маводҳо сохташуда, мо аксар вақт бо нишондиҳандаҳои техникӣ, аз қабили: TTV, BOW, WARP ва эҳтимолан TIR, STIR, LTV ва ғайра дучор мешавем. Инҳо кадом параметрҳоро нишон медиҳанд?

 

TTV — Тағйирёбии ғафсии умумӣ
КАМОН — КАМОН
WARP — Warp
TIR — хониши умумии нишондодашуда
STIR — хониши умумии нишондодашудаи сайт
LTV — Тағйирёбии ғафсии маҳаллӣ

 

1. Тағйирёбии ғафсии умумӣ — TTV

da81be48e8b2863e21d68a6b25f09db7Фарқи байни ғафсии ҳадди аксар ва ҳадди ақали пластина нисбат ба сатҳи истинодӣ ҳангоми фишурда ва дар тамос будани пластина. Он одатан бо микрометрҳо (μm) ифода карда мешавад ва аксар вақт чунин ифода карда мешавад: ≤15 μm.

 

2. Камон — Камон

081e298fdd6abf4be6f882cfbb704f12

Инҳироф байни масофаи ҳадди ақал ва ҳадди аксар аз нуқтаи марказии сатҳи пластина то сатҳи истинодӣ ҳангоми дар ҳолати озод (бефишор) будани пластина. Ин ҳам ҳолатҳои коҷ (камони манфӣ) ва ҳам ҳолатҳои барҷаста (камони мусбат)-ро дар бар мегирад. Он одатан дар микрометрҳо (μm) ифода карда мешавад, ки аксар вақт чунин ифода карда мешавад: ≤40 μm.

 

3. Варп — Варп

e3c709bbb4ed2b11345e6a942df24fa4

Инҳироф байни масофаи ҳадди ақал ва ҳадди аксар аз сатҳи пластина то сатҳи истинодӣ (одатан сатҳи қафои пластина) ҳангоми дар ҳолати озод (бефишор) будани пластина. Ин ҳам ҳолатҳои каҷ (каҷравии манфӣ) ва ҳам ҳолатҳои барҷаста (каҷравии мусбат)-ро дар бар мегирад. Он одатан бо микрометрҳо (μm) ифода карда мешавад, ки аксар вақт чунин ифода карда мешавад: ≤30 μm.

 

4. Ҳисоби умумии нишондодашуда — TIR

8923bc5c7306657c1df01ff3ccffe6b4

 

Вақте ки пластина маҳкам карда шудааст ва дар тамос бо он наздик аст, бо истифода аз сатҳи истинодӣ, ки ҷамъи буришҳои ҳамаи нуқтаҳои дохили минтақаи сифат ё минтақаи маҳаллии муайяншуда дар сатҳи пластинаро ба ҳадди ақалл мерасонад, TIR инҳироф байни масофаҳои максималӣ ва минималӣ аз сатҳи пластина то ин сатҳи истинодӣ мебошад.

 

Ширкати XKH, ки бар асоси таҷрибаи амиқ дар мушаххасоти маводи нимноқилӣ, ба монанди TTV, BOW, WARP ва TIR таъсис ёфтааст, хидматҳои коркарди вафли фармоишии дақиқро, ки ба стандартҳои қатъии саноатӣ мутобиқ карда шудаанд, пешниҳод мекунад. Мо доираи васеи маводҳои баландсифат, аз ҷумла сапфир, карбиди кремний (SiC), вафлиҳои кремний, SOI ва кварсро таъмин ва дастгирӣ мекунем, ки ҳамвории истисноӣ, мувофиқати ғафсӣ ва сифати сатҳро барои барномаҳои пешрафта дар оптоэлектроника, дастгоҳҳои барқӣ ва MEMS таъмин менамояд. Ба мо эътимод кунед, ки роҳҳои ҳалли боэътимоди мавод ва коркарди дақиқро пешниҳод мекунем, ки ба талаботи тарроҳии шумо ҷавобгӯ мебошанд.

 

https://www.xkh-semitech.com/single-crystal-silicon-wafer-si-substrate-type-np-optional-silicon-carbide-wafer-product/

 


Вақти нашр: 29 августи соли 2025