Фарқи байни субстрати гузаронандаи SiC ва субстрати нимизолятсия чӣ гуна аст?

Карбиди кремний SiCдастгоҳ ба дастгоҳи аз карбиди кремний сохташуда ҳамчун ашёи хом ишора мекунад.

Мувофиқи хосиятҳои муқовимати гуногун, он ба дастгоҳҳои барқии карбиди кремний ва гузаронанда тақсим карда мешавадкарбиди кремнийи нимизоляционйДастгоҳҳои RF.

Шаклҳои асосии дастгоҳ ва истифодаи карбиди кремний

Афзалиятҳои асосии SiC нисбат баСи материалхоинҳоянд:

SiC фосилаи бандӣ 3 маротиба аз Si дорад, ки метавонад ихроҷро коҳиш диҳад ва таҳаммулпазирии ҳароратро зиёд кунад.

SiC 10 маротиба қувваи майдони шикастани Si дорад, метавонад зичии ҷорӣ, басомади кориро беҳтар кунад, қобилияти шиддатро тоб оварад ва талафоти фурӯзон-хомӯшро коҳиш диҳад, ки барои барномаҳои шиддати баланд мувофиқтар аст.

SiC ду маротиба суръати дрейфти электронии Si дорад, бинобар ин он метавонад дар басомади баландтар кор кунад.

SiC дорои 3 маротиба гармӣгузаронии Si, иҷрои беҳтари паҳншавии гармӣ, метавонад зичии баланди нерӯи барқро дастгирӣ кунад ва талаботи паҳншавии гармиро коҳиш диҳад ва дастгоҳро сабуктар кунад.

Субстрати интиқолдиҳанда

Субстрати ноқилӣ: Бо бартараф кардани ифлосиҳои гуногун дар кристалл, махсусан ифлосиҳои сатҳи паст, барои ноил шудан ба муқовимати баланди дохилии кристалл.

а1

Барандасубстрати карбиди кремнийВафли SiC

Дастгоҳи барқии кремнийи карбиди гузаронанда тавассути афзоиши қабати эпитаксиалии карбиди кремний дар субстрат гузаронанда аст, варақи эпитаксиалии кремний карбиди минбаъд коркард карда мешавад, аз ҷумла истеҳсоли диодҳои Шоттки, MOSFET, IGBT ва ғайра, ки асосан дар мошинҳои барқӣ, қувваи фотоэлектрикӣ истифода мешаванд. тавлид, транзити роҳи оҳан, маркази додаҳо, барқгиранда ва дигар инфрасохтор. Манфиатҳои иҷроиш инҳоянд:

Хусусиятҳои такмилёфтаи фишори баланд. Қувваи шикастани майдони электрикии карбиди кремний нисбат ба кремний беш аз 10 маротиба зиёдтар аст, ки муқовимати баланди фишори дастгоҳҳои карбиди кремнийро нисбат ба дастгоҳҳои эквивалентии кремний ба таври назаррас баландтар мекунад.

Хусусиятҳои беҳтари ҳарорати баланд. Карбиди кремний нисбат ба кремний гармии баландтар дорад, ки паҳншавии гармии дастгоҳро осонтар ва ҳарорати лимити корро баландтар мекунад. Муқовимат ба ҳарорати баланд метавонад ба афзоиши назарраси зичии барқ ​​оварда расонад, дар ҳоле ки талаботро ба системаи хунуккунӣ коҳиш медиҳад, то терминал метавонад сабуктар ва хурдтар шавад.

Истеъмоли ками энергия. ① Дастгоҳи карбиди кремний муқовимати хеле паст ва талафоти кам дорад; (2) Ҷараёни ихроҷи дастгоҳҳои карбиди кремний нисбат ба дастгоҳҳои кремний ба таври назаррас коҳиш ёфта, талафоти барқро коҳиш медиҳад; ③ Дар раванди хомӯш кардани дастгоҳҳои карбиди кремний ягон падидаи ҳозираи думдоршавӣ вуҷуд надорад ва талафоти коммутатсионӣ кам аст, ки басомади ивазкунии барномаҳои амалиро хеле беҳтар мекунад.

Субстрати нимизолятсияи SiC

Субстрати нимизолятсияи SiC: Допинги N барои дақиқ назорат кардани муқовимати маҳсулоти гузаронанда тавассути калибровка кардани муносибати мувофиқ байни консентратсияи допинги нитроген, суръати афзоиш ва муқовимати кристалл истифода мешавад.

а2
а3

Маводи субстрати нимизолятсияи тозагии баланд

Дастгоҳҳои RF-и нимизолятсияи кремний дар асоси карбон минбаъд тавассути парвариши қабати эпитаксиалии нитриди галлий дар субстрати ним изолятсияи карбиди кремний барои омода кардани варақи эпитаксиалии нитриди кремний, аз ҷумла HEMT ва дигар дастгоҳҳои нитриди галлий РФ, ки асосан дар алоқаи 5G, алоқаи автомобилӣ истифода мешаванд, сохта мешаванд. барномаҳои мудофиа, интиқоли маълумот, кайҳон.

Меъёри гардиши электронии тофтаи карбиди кремний ва маводи нитриди галлий мутаносибан 2,0 ва 2,5 маротиба аз кремний аст, бинобар ин басомади кори дастгоҳҳои карбиди кремний ва нитриди галлий аз дастгоҳҳои анъанавии кремний зиёдтар аст. Бо вуҷуди ин, маводи нитриди галлий дорои нуқсони муқовимати пасти гармӣ мебошад, дар ҳоле ки карбиди кремний муқовимати хуби гармӣ ва гузарониши гармиро дорад, ки метавонад муқовимати бади гармии дастгоҳҳои нитриди галлииро ҷуброн кунад, аз ин рӯ саноат карбиди нимизолятсияи кремнийро ҳамчун субстрат мегирад. , ва қабати эпитаксиалии ган ​​дар субстрати карбиди кремний барои истеҳсоли дастгоҳҳои RF парвариш карда мешавад.

Агар вайронкунӣ вуҷуд дошта бошад, тамосро нест кунед


Вақти фиристодан: июл-16-2024