Технологияи буридани вафли, ҳамчун як қадами муҳим дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо, мустақиман бо иҷрои чип, ҳосил ва хароҷоти истеҳсолӣ алоқаманд аст.
# 01 Замина ва аҳамияти Dicing Wafer
1.1 Таърифи вафли буридани
Буридани вафли (инчунин бо номи скрипинг маълум аст) як қадами муҳим дар истеҳсоли нимноқилҳо мебошад, ки ба тақсим кардани вафли коркардшуда ба қолабҳои сершумори инфиродӣ нигаронида шудааст. Ин штампҳо одатан дорои функсияҳои пурраи схема мебошанд ва ҷузъҳои асосӣ мебошанд, ки дар ниҳоят дар истеҳсоли дастгоҳҳои электронӣ истифода мешаванд. Вақте ки тарҳҳои чип мураккабтар мешаванд ва андозаҳо коҳиш меёбанд, талаботҳои дақиқ ва самаранокӣ барои технологияи буридани вафли торафт сахттар мешаванд.
Дар амалиётҳои амалӣ, буридани вафли маъмулан аз асбобҳои дақиқи баланд, аз қабили теғҳои алмосӣ истифода мебарад, то кафолат диҳад, ки ҳар як қолаб бетағйир ва пурра кор кунад. Қадамҳои асосӣ омодагӣ пеш аз буридан, назорати дақиқ дар ҷараёни буридан ва санҷиши сифат пас аз буриданро дар бар мегиранд.
Пеш аз буридан, вафли бояд қайд карда шавад ва ҷойгир карда шавад, то роҳҳои буридани дақиқро таъмин кунад. Ҳангоми буридан, параметрҳо, аз қабили фишор ва суръати асбоб бояд ба таври қатъӣ назорат карда шаванд, то ба вафли зарар нарасонанд. Пас аз буридан, санҷишҳои ҳамаҷонибаи сифат гузаронида мешаванд, то боварӣ ҳосил кунанд, ки ҳар як чип ба стандартҳои кор мувофиқат мекунад.
Принсипҳои асосии технологияи буридани вафли на танҳо интихоби таҷҳизоти буридан ва муқаррар кардани параметрҳои раванд, балки таъсири хосиятҳои механикӣ ва хусусиятҳои маводро ба сифати буридан дар бар мегиранд. Масалан, пластинкаҳои кремнийи диэлектрикии паст аз сабаби хосиятҳои механикии пасти худ, ба консентратсияи стресс ҳангоми буридан хеле ҳассос мебошанд, ки ба нокомиҳо, аз қабили чип ва кафидан оварда мерасонанд. Сахтӣ ва осебпазирии маводи паст-k онҳоро ба осеби сохторӣ дар зери қувваи механикӣ ё фишори гармӣ, махсусан ҳангоми буридан бештар моил мекунад. Тамос байни асбоб ва сатҳи вафли, дар якҷоягӣ бо ҳарорати баланд, метавонад консентратсияи стрессро боз ҳам шадидтар кунад.
Бо пешрафтҳои илми моддӣ, технологияи буридани вафли аз нимноқилҳои анъанавии бар кремний асосёфта васеъ шуда, маводи навро ба мисли нитриди галлий (GaN) дар бар мегирад. Ин маводи нав аз сабаби сахтӣ ва хосиятҳои сохтории худ барои равандҳои буридан душвориҳои нав ба миён оварда, такмили минбаъдаи асбобҳо ва усулҳои буриданро талаб мекунанд.
Ҳамчун як раванди муҳим дар саноати нимноқилҳо, буридани вафли дар посух ба талаботи таҳаввулшаванда ва пешрафти технологӣ оптимизатсия карда шуда, барои микроэлектроника ва технологияҳои микросхемаҳои интегралӣ замина мегузорад.
Такмилдиҳии технологияи буридани вафли аз таҳияи мавод ва асбобҳои ёрирасон фаротар аст. Онҳо инчунин оптимизатсияи раванд, такмили кори таҷҳизот ва назорати дақиқи параметрҳои буриданро дар бар мегиранд. Ҳадафи ин пешрафтҳо таъмини дақиқии баланд, самаранокӣ ва устуворӣ дар раванди буридани вафли, қонеъ гардонидани талаботи саноати нимноқилҳо ба андозаҳои хурдтар, ҳамгироии баландтар ва сохторҳои мураккабтари чип мебошад.
| Минтақаи такмилдиҳӣ | Тадбирхои мушаххас | Таъсирҳо |
| Оптимизатсияи раванд | - Беҳтар кардани омодагии ибтидоӣ, ба монанди ҷойгиркунии дақиқтари вафли ва банақшагирии роҳ. | - Кам кардани хатогиҳои буридан ва беҳтар кардани устуворӣ. |
| - Кам кардани хатогиҳои буридан ва баланд бардоштани устуворӣ. | - Механизмҳои мониторинг ва бозгашти воқеиро барои танзими фишор, суръат ва ҳарорати асбоб қабул кунед. | |
| - Сатҳи шикастани вафли паст ва сифати чип беҳтар. | ||
| Баланд бардоштани самаранокии таҷҳизот | - Истифодаи системаҳои механикии дақиқ ва технологияи пешрафтаи автоматикунонии идоракунии. | - Дақиқии буришро баланд бардоред ва талафоти моддро кам кунед. |
| - Технологияи буридани лазериро ҷорӣ кунед, ки барои вафли маводи сахтгирии баланд мувофиқ аст. | - Самаранокии истеҳсолотро баланд бардоред ва хатогиҳои дастиро кам кунед. | |
| - Афзоиши автоматикунонии таҷҳизот барои назорат ва танзими автоматӣ. | ||
| Назорати дақиқи параметр | - Параметрҳоро ба монанди чуқурии буриш, суръат, навъи асбоб ва усулҳои хунуккунӣ ба таври дақиқ танзим кунед. | - Таъмини якпорчагӣ ва иҷрои барқ. |
| - Параметрҳоро дар асоси маводи вафли, ғафсӣ ва сохтор фармоиш диҳед. | - Баланд бардоштани сатҳи ҳосилнокӣ, кам кардани партовҳои моддӣ ва кам кардани арзиши истеҳсолот. | |
| Аҳамияти стратегӣ | - Пайваста роҳҳои нави технологӣ кашф кунед, равандҳоро оптимизатсия кунед ва қобилияти таҷҳизотро барои қонеъ кардани талаботи бозор такмил диҳед. | - Беҳтар кардани ҳосилнокӣ ва самаранокии истеҳсоли чипҳо, дастгирии таҳияи маводи нав ва тарҳҳои пешрафтаи чип. |
1.2 Аҳамияти буридани вафель
Буридани вафли дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо нақши муҳим мебозад, ки бевосита ба қадамҳои минбаъда, инчунин ба сифат ва иҷрои маҳсулоти ниҳоӣ таъсир мерасонад. Аҳамияти онро метавон ба таври зерин муфассал шарҳ дод:
Аввалан, дурустӣ ва мувофиқати буридан калиди таъмини ҳосилнокӣ ва эътимоднокии чип мебошад. Ҳангоми истеҳсол, вафлиҳо қадамҳои сершумори коркардро мегузаранд, то сохторҳои сершумори схемаҳои мураккабро ба вуҷуд оранд, ки онҳо бояд дақиқ ба микросхемаҳои инфиродӣ (митри) тақсим карда шаванд. Агар ҳангоми ҳамворкунӣ ё буридан хатогиҳои назаррас вуҷуд дошта бошанд, схемаҳо метавонанд вайрон шаванд, ки ба фаъолият ва эътимоднокии чип таъсир расонанд. Аз ин рӯ, технологияи буридани дақиқи баланд на танҳо якпорчагии ҳар як чипро таъмин мекунад, балки вайроншавии схемаҳои дохилиро пешгирӣ карда, суръати умумии ҳосилро беҳтар мекунад.
Сониян, буридани вафель ба самаранокии истеҳсолот ва назорати хароҷот таъсири назаррас мерасонад. Ҳамчун як қадами муҳим дар раванди истеҳсолот, самаранокии он ба пешрафти қадамҳои минбаъда бевосита таъсир мерасонад. Тавассути оптимизатсияи раванди буридан, баланд бардоштани сатҳҳои автоматикунонӣ ва беҳтар кардани суръати буридан, самаранокии умумии истеҳсолот метавонад хеле баланд бардошта шавад.
Аз тарафи дигар, талафоти моддӣ ҳангоми буридан омили муҳими идоракунии хароҷот мебошад. Истифодаи технологияҳои пешрафтаи буридан на танҳо талафоти нолозими моддиро дар ҷараёни буридан коҳиш медиҳад, балки истифодаи вафельро афзоиш медиҳад ва ба ин васила хароҷоти истеҳсолиро коҳиш медиҳад.
Бо пешрафтҳо дар технологияи нимноқилҳо, диаметрҳои вафли афзоишро идома медиҳанд ва зичии схемаҳо мутаносибан афзоиш ёфта, ба технологияи буридан талаботи баландтар мегузорад. Вафли калонтар назорати дақиқтари роҳҳои буришро талаб мекунад, махсусан дар минтақаҳои зичии баланд, ки дар он ҷо ҳатто инҳирофоти ночиз метавонад микросхемаҳои сершуморро ноқис гардонад. Илова бар ин, вафли калонтар хатҳои буридани бештар ва марҳилаҳои мураккаби равандро дар бар мегирад, ки такмили минбаъдаи дақиқ, пайдарпайӣ ва самаранокии технологияҳои буриданро барои ҳалли ин мушкилот тақозо мекунад.
1.3 Раванди буридани вафли
Раванди буридани вафли тамоми қадамҳоро аз марҳилаи омодагӣ то санҷиши ниҳоии сифат дар бар мегирад ва ҳар як марҳила барои таъмини сифат ва иҷрои чипсҳои буридашуда муҳим аст. Дар зер шарҳи муфассали ҳар як марҳила оварда шудааст.
| Марҳила | Тавсифи муфассал |
| Марҳилаи омодагӣ | -Тоза кардани вафель: Барои тоза кардани ифлосиҳо, зарраҳо ва ифлоскунандаҳо, оби тозаи баланд ва агентҳои махсуси тозакуниро дар якҷоягӣ бо скрабинги ултрасадо ё механикӣ истифода баред ва сатҳи тозаро таъмин кунед. -Ҷойгиркунии дақиқ: Таҷҳизоти дақиқи баландро истифода баред, то вафли ба таври дақиқ тақсимшуда дар роҳи буридани тарҳрезишуда таъмин карда шавад. -Таъмини вафли: Вафлиро ба чаҳорчӯбаи лента маҳкам кунед, то устувориро ҳангоми буридан нигоҳ доред ва аз ларзиш ё ҳаракат пешгирӣ кунед. |
| Марҳилаи буриш | -Буридани майса: Барои буридани ҷисмонӣ, ки барои маводҳои кремний мувофиқ ва камхарҷ мувофиқанд, чархҳои баландсуръати гардиши алмосро истифода баред. -Диски лазерӣ: Истифода нурҳои лазерии баланд-энергиявӣ барои буридани бетамос, беҳтарин барои маводи шикастан ё сахтдил ба монанди нитриди галий, пешниҳод дақиқ баландтар ва талафоти моддӣ камтар. -Технологияҳои нав: Ҷорӣ кардани технологияҳои буридани лазерӣ ва плазма барои боз ҳам беҳтар кардани самаранокӣ ва дақиқ ҳангоми кам кардани минтақаҳои аз гармӣ. |
| Марҳилаи тозакунӣ | - Оби деионизатсияшуда (дио об) ва агентҳои махсуси тозакуниро дар якҷоягӣ бо тозакунии ултрасадо ё дорупошӣ истифода баред, то партовҳо ва ғубори ҳангоми буридан ҳосилшударо тоза кунед ва пасмондаҳоро аз таъсир ба равандҳои минбаъда ё кори чипҳои электрикӣ пешгирӣ кунед. - Оби баландсифати DI аз воридшавии ифлоскунандаҳои нав пешгирӣ карда, муҳити тозаи вафлиро таъмин мекунад. |
| Марҳилаи санҷиш | -Санҷиши оптикӣ: Системаҳои муайянкунии оптикиро дар якҷоягӣ бо алгоритмҳои AI истифода баред, то камбудиҳоро зуд муайян созед, дар микросхемаҳои буридашуда ягон тарқиш ё чип шуданро таъмин накунед, самаранокии санҷишро беҳтар кунед ва хатогиҳои инсониро кам кунед. -Андозагирии андоза: Боварӣ ҳосил кунед, ки андозаҳои чип ба мушаххасоти тарҳ мувофиқат мекунанд. -Санҷиши самаранокии барқ: Боварӣ ҳосил кунед, ки кори барқии микросхемаҳои муҳим ба стандартҳо мувофиқат мекунад ва эътимоднокии барномаҳои минбаъдаро кафолат медиҳад. |
| Марҳилаи ҷудокунӣ | - Барои ҷудо кардани микросхемаҳои тахассусиро аз чаҳорчӯбаи лента аз дастҳои роботӣ ё косаҳои вакуумӣ истифода баред ва онҳоро аз рӯи кор ба таври худкор ҷудо кунед, самаранокӣ ва чандирии истеҳсолотро ҳангоми баланд бардоштани дақиқӣ таъмин кунед. |
Раванди буридани вафли тозакунӣ, ҷойгиркунӣ, буридан, тоза кардан, тафтиш ва ҷудо карданро дар бар мегирад, ки ҳар як қадам муҳим аст. Бо пешрафтҳо дар автоматизатсия, буридани лазерӣ ва технологияҳои санҷиши AI, системаҳои муосири буридани вафли метавонанд ба дақиқтар, суръат ва камтар талафоти моддӣ ноил шаванд. Дар оянда, технологияҳои нави буриш ба монанди лазер ва плазма тадриҷан буридани майсаи анъанавиро иваз мекунанд, то эҳтиёҷоти тарроҳии чипҳои мураккабтарро қонеъ созанд ва минбаъд рушди равандҳои истеҳсоли нимноқилҳоро таҳрик медиҳанд.
Технологияи буридани вафли ва принсипҳои он
Тасвир се технологияи маъмули буридани вафлиро нишон медиҳад:Буридани майса,Диски лазерӣ, ваБуридани плазма. Дар зер таҳлили муфассал ва шарҳи иловагии ин се техника оварда шудааст:
Дар истеҳсоли нимноқилҳо буридани вафли як қадами муҳимест, ки интихоби усули мувофиқи буриданро дар асоси ғафсии вафли талаб мекунад. Қадами аввал муайян кардани ғафсии вафли аст. Агар ғафсии вафли аз 100 микрон зиёд бошад, метавон ҳамчун усули буридани майсаро интихоб кард. Агар буридани теғ мувофиқ набошад, усули буридани шикастаро истифода бурдан мумкин аст, ки он ҳам усулҳои буридани хат ва ҳам усулҳои буридани теғро дар бар мегирад.
Вақте ки ғафсии вафли аз 30 то 100 микрон аст, усули DBG (Dice Pre Grinding) тавсия дода мешавад. Дар ин ҳолат, барои ба даст овардани натиҷаҳои беҳтарин, буридани хаттӣ, буридани теғ ё мувофиқ кардани пайдарпаии буридани заруриро интихоб кардан мумкин аст.
Барои вафли ултра борик бо ғафсӣ камтар аз 30 микрон, буридани лазерӣ усули афзалиятнок мегардад, зеро қобилияти он барои буридани вафли борик бидуни расонидани зарари аз ҳад зиёд. Агар буридани лазерӣ ба талаботи мушаххас ҷавобгӯ набошад, буридани плазма метавонад ҳамчун алтернатива истифода шавад. Ин диаграмма роҳи равшани қабули қарорро таъмин мекунад, то технологияи мувофиқтарини буридани вафлиро дар шароити гуногуни ғафсӣ интихоб кунад.
2.1 Технологияи буридани механикӣ
Технологияи буридани механикӣ усули анъанавии буридани вафель мебошад. Принсипи асосӣ ин аст, ки чархи суфтакунандаи алмоси баландсуръати гардишкунанда ҳамчун асбоби буриш барои буридани вафли. Таҷҳизоти асосӣ як шпиндели ҳавоӣ дорад, ки асбоби чархи суфтакунандаи алмосро бо суръати баланд барои иҷро кардани буриши дақиқ ё чуқурӣ дар роҳи буридани пешакӣ муайяншуда меронад. Ин технология бо сабаби арзон, самаранокии баланд ва татбиқи васеъ дар саноат васеъ истифода мешавад.
Афзалиятҳо
Сахтии баланд ва муқовимати фарсудашавии асбобҳои чархи суфтакунандаи алмос ба технологияи буридани механикӣ имкон медиҳад, ки ба эҳтиёҷоти буридани маводи гуногуни вафли, хоҳ маводи анъанавии кремний ё нимноқилҳои навтари мураккаб мутобиқ шавад. Фаъолияти он содда буда, талаботи нисбатан пасти техникӣ буда, маъруфияти онро дар истеҳсолоти оммавӣ боз ҳам баланд мебардорад. Илова бар ин, дар муқоиса бо дигар усулҳои буриш ба монанди буриши лазерӣ, буридани механикӣ дорои хароҷоти бештар назоратшаванда мебошад, ки онро барои эҳтиёҷоти зиёди истеҳсолот мувофиқ мекунад.
Маҳдудиятҳо
Сарфи назар аз афзалиятҳои сершумори худ, технологияи буридани механикӣ низ маҳдудиятҳо дорад. Аввалан, аз сабаби тамоси ҷисмонӣ байни асбоб ва вафли, дақиқии буридани нисбатан маҳдуд аст, ки аксар вақт ба инҳирофҳои андозагирӣ оварда мерасонад, ки метавонад ба дурустии бастабандӣ ва санҷиши чипҳои минбаъда таъсир расонад. Сониян, дар ҷараёни буридани механикӣ камбудиҳо ба монанди чип ва тарқишҳо метавонанд ба осонӣ ба вуҷуд оянд, ки ин на танҳо ба сатҳи ҳосил таъсир мерасонад, балки метавонад ба эътимоднокӣ ва мӯҳлати кори чипҳо таъсири манфӣ расонад. Зарари механикӣ, ки аз фишори механикӣ ба вуҷуд омадааст, махсусан барои истеҳсоли чипҳои зичии баланд, махсусан ҳангоми буридани маводҳои шикаста, ки ин масъалаҳо бештар ба назар мерасанд, зараровар аст.
Такмили технологӣ
Барои бартараф кардани ин маҳдудиятҳо, муҳаққиқон пайваста раванди буридани механикиро оптимизатсия мекунанд. Такмилҳои асосӣ такмил додани тарҳрезӣ ва интихоби маводи чархҳои суфтакунандаро барои беҳтар кардани дақиқии буриш ва устуворӣ дар бар мегиранд. Илова бар ин, оптимизатсияи тарҳрезии сохторӣ ва системаҳои идоракунии таҷҳизоти буридан устуворӣ ва автоматикунонии раванди буриданро боз ҳам беҳтар кард. Ин пешрафтҳо хатогиҳоеро, ки дар натиҷаи амалиёти инсон ба вуҷуд омадаанд, коҳиш медиҳанд ва мутобиқати буришҳоро беҳтар мекунанд. Ҷорӣ намудани технологияҳои пешрафтаи санҷиш ва назорати сифат барои мониторинги реалии аномалияҳо дар ҷараёни буридан инчунин эътимоднокии буридан ва ҳосилро хеле беҳтар кард.
Рушди оянда ва технологияҳои нав
Гарчанде ки технологияи буридани механикӣ то ҳол дар буридани вафли мавқеъи муҳимро ишғол мекунад, технологияҳои нави буридан дар баробари таҳаввулоти равандҳои нимноқилҳо босуръат пеш мераванд. Масалан, татбиқи технологияи буридани лазерии гармӣ ҳалли навро ба масъалаҳои дақиқ ва нуқсон дар буридани механикӣ фароҳам меорад. Ин усули буридани бидуни тамос фишори ҷисмониро дар вафли кам карда, ҳодисаи чипшавӣ ва тарқишро ба таври назаррас коҳиш медиҳад, махсусан ҳангоми буридани масолеҳи осебпазир. Дар оянда, ҳамгироии технологияи буридани механикӣ бо усулҳои пайдошудаи буриш истеҳсоли нимноқилҳоро бо имконоти бештар ва чандирии таъмин намуда, самаранокии истеҳсолот ва сифати чипҳоро боз ҳам баландтар мекунад.
Хулоса, гарчанде технологияи буридани механикӣ камбудиҳои муайян дорад, такмили пайвастаи технологӣ ва ҳамгироии он бо усулҳои нави буридани он имкон медиҳад, ки дар истеҳсоли нимноқилҳо нақши муҳим бозад ва рақобатпазирии худро дар равандҳои оянда нигоҳ дорад.
2.2 Технологияи буриши лазерӣ
Технологияи буридани лазерӣ, ҳамчун як усули нав дар буридани вафли, тадриҷан дар саноати нимноқилҳо аз сабаби дақиқии баланд, набудани осеби механикӣ ва қобилияти буридани зуд таваҷҷӯҳи васеъ пайдо кардааст. Ин технология зичии баланди энергия ва қобилияти мутамарказии чӯби лазерро барои эҷоди як минтақаи хурди аз гармӣ дар сатҳи маводи вафлис истифода мебарад. Вақте ки нури лазерӣ ба пластинка истифода мешавад, фишори гармии тавлидшуда боиси шикастани мавод дар макони таъиншуда мегардад ва ба буридани дақиқ ноил мешавад.
Афзалиятҳои технологияи буридани лазерӣ
• Дақиқии баланд: Қобилияти ҷойгиркунии дақиқи нури лазерӣ имкон медиҳад, ки дақиқии буридани микрон ё ҳатто дар сатҳи нанометр ба талаботи истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ ва зичии баланд ҷавобгӯ бошад.
• Бе алоқаи механикӣ: Буридани лазерӣ аз тамоси ҷисмонӣ бо вафли канорагирӣ мекунад ва аз мушкилоти умумӣ дар буридани механикӣ, аз қабили чип кардан ва шикастан пешгирӣ мекунад ва сатҳи ҳосилнокӣ ва эътимоднокии чипҳоро ба таври назаррас беҳтар мекунад.
• Суръати буриши зуд: Суръати баланди буридани лазерӣ ба баланд шудани самаранокии истеҳсолот мусоидат мекунад, ки онро махсусан барои сенарияҳои истеҳсоли миқёси калон ва баландсуръат мувофиқ мекунад.
Мушкилоти дучоршуда
• Арзиши баланди таҷҳизот: Сармоягузории ибтидоӣ барои таҷҳизоти буридани лазерӣ зиёд аст, ки фишори иқтисодиро, махсусан барои корхонаҳои истеҳсолии хурд ва миёна меорад.
• Назорати мураккаби равандҳо: Буридани лазерӣ назорати дақиқи якчанд параметрҳо, аз ҷумла зичии энергия, мавқеи фокус ва суръати буриданро талаб мекунад, ки равандро мураккаб мекунад.
• Масъалаҳои минтақаи аз гармӣ зарардида: Ҳарчанд табиати бидуни тамос буридани лазерӣ зарари механикиро коҳиш медиҳад, фишори гармии минтақаи аз гармӣ таъсиркунанда (HAZ) метавонад ба хосиятҳои маводи пластинка таъсири манфӣ расонад. Барои кам кардани ин таъсир оптимизатсияи минбаъдаи раванд лозим аст.
Самтҳои такмили технологӣ
Барои ҳалли ин мушкилот, муҳаққиқон ба кам кардани хароҷоти таҷҳизот, баланд бардоштани самаранокии буридан ва оптимизатсияи ҷараёни раванд таваҷҷӯҳ зоҳир мекунанд.
• Лазерҳои самаранок ва системаҳои оптикӣ: Тавассути таҳияи лазерҳои муассиртар ва системаҳои пешрафтаи оптикӣ, хароҷоти таҷҳизотро кам кардан ва ҳамзамон баланд бардоштани дақиқ ва суръати буридан имконпазир аст.
• Оптимизатсияи параметрҳои раванд: Тадқиқоти амиқ оид ба таъсири мутақобилаи лазерҳо ва маводи вафли барои беҳтар кардани равандҳое, ки минтақаи аз гармӣ осебдидаро коҳиш медиҳанд ва ба ин васила сифати буриданро беҳтар мекунанд, гузаронида мешавад.
• Системаҳои идоракунии интеллектуалӣ: Рушди технологияҳои идоракунии интеллектуалӣ ба автоматикунонӣ ва оптимизатсияи раванди буридани лазерӣ, беҳтар кардани устуворӣ ва мувофиқати он нигаронида шудааст.
Технологияи буриши лазерӣ махсусан дар вафли ултра борик ва сенарияҳои буриши дақиқи баланд самаранок аст. Вақте ки андозаи пластина зиёд мешавад ва зичии схемаҳо афзоиш меёбад, усулҳои анъанавии буридани механикӣ барои қонеъ кардани талаботи дақиқ ва самараноки истеҳсоли муосири нимноқил мубориза мебаранд. Бо назардошти афзалиятҳои беназири худ, буридани лазерӣ дар ин соҳаҳо ҳалли афзалиятнок мегардад.
Гарчанде ки технологияи буридани лазерӣ то ҳол бо мушкилоте, аз қабили хароҷоти баланди таҷҳизот ва мураккабии равандҳо рӯ ба рӯ мешавад, бартариҳои беназири он дар дақиқии баланд ва осеби бидуни тамос онро як самти муҳими рушд дар истеҳсоли нимноқилҳо месозад. Азбаски технологияи лазерӣ ва системаҳои идоракунии интеллектуалӣ пешрафти худро идома медиҳанд, интизор меравад, ки буридани лазерӣ самаранокӣ ва сифати буридани вафлиро боз ҳам беҳтар созад ва ба рушди муттасили саноати нимноқилҳо мусоидат кунад.
2.3 Технологияи буридани плазма
Технологияи буридани плазма, ҳамчун як усули пайдошудаи буридани вафли, дар солҳои охир таваҷҷуҳи зиёд пайдо кардааст. Ин технология нурҳои плазмаи энергияи баландро барои дақиқ буридани вафлиҳо тавассути назорати энергия, суръат ва роҳи буридани чӯби плазма истифода мебарад ва ба натиҷаҳои беҳтарини буридан ноил мешавад.
Принсипи кор ва афзалиятҳо
Раванди буридани плазма ба нури плазмаи дорои ҳарорати баланд ва энергияи баланд, ки аз ҷониби таҷҳизот тавлид мешавад, такя мекунад. Ин чӯб метавонад маводи вафлиро то нуқтаи обшавӣ ё буғшавии он дар муддати хеле кӯтоҳ гарм кунад ва имкон медиҳад, ки зуд бурида шавад. Дар муқоиса бо буриши анъанавии механикӣ ё лазерӣ, буридани плазма тезтар аст ва минтақаи хурдтари гармиро ба вуҷуд меорад, ки пайдоиши тарқишҳо ва осебҳоро ҳангоми буридан самаранок коҳиш медиҳад.
Дар барномаҳои амалӣ, технологияи буридани плазма махсусан дар коркарди вафли дорои шаклҳои мураккаб моҳир аст. Нури плазмаи энергияи баланд ва танзимшавандаи он метавонад ба осонӣ вафли шаклаш номунтазамро бо дақиқии баланд бурад. Аз ин рӯ, дар истеҳсоли микроэлектроника, махсусан дар истеҳсоли фармоишӣ ва партияи хурди микросхемаҳои баландсифат, ин технология барои истифодаи васеъ ваъдаи бузург медиҳад.
Мушкилот ва маҳдудиятҳо
Сарфи назар аз бартариҳои зиёди технологияи буридани плазма, он инчунин ба баъзе мушкилот дучор мешавад.
• Раванди мураккаб: Раванди буридани плазма мураккаб аст ва барои таъмини он таҷҳизоти дақиқи баланд ва операторони ботаҷрибаро талаб мекунаддақиқ ва устуворӣ дар буридан.
• Назорати муҳити зист ва бехатарӣ: Харорати баланд ва энергияи баланди нури плазма назорати катъии экологй ва чорахои бехатариро талаб мекунад, ки ин мураккабй ва харочоти татбикро зиёд мекунад.
Самтҳои рушди оянда
Бо пешрафти технологӣ, интизор меравад, ки мушкилоти марбут ба буридани плазма тадриҷан бартараф карда шаванд. Тавассути таҳияи таҷҳизоти буриши оқилона ва устувортар, вобастагӣ аз амалиёти дастӣ метавонад кам карда шавад ва ба ин васила самаранокии истеҳсолот беҳтар карда шавад. Ҳамзамон, оптимизатсияи параметрҳои раванд ва муҳити буридан ба кам кардани хатарҳои бехатарӣ ва хароҷоти амалиётӣ мусоидат мекунад.
Дар саноати нимноқилҳо навовариҳо дар технологияи буридани вафли ва кӯза барои пешбурди рушди ин соҳа аҳамияти ҳалкунанда доранд. Технологияи буриши плазма бо дақиқии баланд, самаранокӣ ва қобилияти коркарди шаклҳои мураккаби вафли он ҳамчун як бозигари нави муҳим дар ин соҳа пайдо шуд. Гарчанде ки баъзе мушкилот боқӣ мондаанд, ин масъалаҳо тадриҷан бо идомаи навовариҳои технологӣ ҳал карда мешаванд ва ба истеҳсоли нимноқилҳо имконот ва имкониятҳои бештар меорад.
Дурнамои татбиқи технологияи буридани плазма васеъ аст ва интизор меравад, ки он дар оянда дар истеҳсоли нимноқилҳо нақши муҳимтар бозад. Тавассути навовариҳои пайвастаи технологӣ ва оптимизатсия, буридани плазма на танҳо мушкилоти мавҷударо ҳал хоҳад кард, балки як муҳаррики тавонои рушди саноати нимноқилҳо мегардад.
2.4 Буридани сифат ва омилҳои таъсиркунанда
Сифати буридани вафли барои бастабандии минбаъдаи чипҳо, озмоиш ва иҷрои умумӣ ва эътимоднокии маҳсулоти ниҳоӣ муҳим аст. Мушкилоти маъмуле, ки ҳангоми буридан дучор мешаванд, тарқишҳо, чипҳо ва буришҳо мебошанд. Ба ин мушкилот якчанд омилҳо таъсир мерасонанд, ки якҷоя кор мекунанд.
| Категория | Мундариҷа | Таъсир |
| Параметрҳои раванд | Суръати буриш, суръати ғизодиҳӣ ва чуқурии буридан бевосита ба устуворӣ ва дақиқии раванди буридан таъсир мерасонад. Танзимоти номувофиқ метавонад ба консентратсияи стресс ва минтақаи аз ҳад зиёди гармӣ таъсир расонад, ки боиси тарқишҳо ва чипҳо мегардад. Танзими дурусти параметрҳо дар асоси маводи вафли, ғафсӣ ва талаботи буриш калиди ноил шудан ба натиҷаҳои дилхоҳи буридан мебошад. | Параметрҳои дурусти раванд буридани дақиқро таъмин мекунанд ва хатари нуқсонҳо ба монанди тарқишҳо ва чипҳоро коҳиш медиҳанд. |
| Таҷҳизот ва омилҳои моддӣ | -Сифати пиёз: Мавод, сахтӣ ва муқовимат ба фарсудашавии майса ба ҳамвор будани раванди буридан ва ҳамвории сатҳи буриш таъсир мерасонад. Майдонҳои пастсифат соиш ва фишори гармиро зиёд мекунанд, ки эҳтимолан ба тарқишҳо ё чип шудан оварда мерасонанд. Интихоби маводи дурусти чӯб муҳим аст. -Фаъолияти яхдон: Модҳои хунуккунӣ барои паст кардани ҳарорати буридан, кам кардани соиш ва тоза кардани хошок кӯмак мекунанд. Моди хунуккунии бесамар метавонад ба ҳарорати баланд ва ҷамъшавии хошок оварда расонад, ки ба сифат ва самаранокии буридан таъсир мерасонад. Интихоби яхдонҳои самаранок ва аз ҷиҳати экологӣ тоза муҳим аст. | Сифати майса ба дақиқ ва ҳамвор будани буриш таъсир мерасонад. Моддаи хунуккунандаи бесамар метавонад боиси паст шудани сифат ва самаранокии буриш гардад, ки зарурати истифодаи оптималии сардкунандаи сардро таъкид мекунад. |
| Назорати раванд ва санҷиши сифат | -Назорати раванд: Мониторинги воқеӣ ва танзими параметрҳои асосии буриш барои таъмини субот ва мувофиқат дар раванди буридан. -Санҷиши сифат: Санҷиши намуди зоҳирии пас аз буридан, андозагирии андоза ва санҷиши кори электрикӣ барои зуд муайян ва ҳалли мушкилоти сифат, беҳтар кардани дақиқӣ ва пайвастагии буриш кӯмак мекунад. | Назорати дурусти раванд ва санҷиши сифат ба таъмини натиҷаҳои пайваста, босифати баланд ва ошкор кардани барвақти мушкилоти эҳтимолӣ мусоидат мекунад. |
Баланд бардоштани сифати буриш
Баланд бардоштани сифати буриш муносибати ҳамаҷонибаро талаб мекунад, ки параметрҳои раванд, интихоби таҷҳизот ва мавод, назорати раванд ва санҷишро ба назар мегирад. Тавассути пайваста такмил додани технологияҳои буридан ва оптимизатсияи усулҳои раванд, дақиқ ва устувории буридани вафлиро метавон боз ҳам баланд бардошта, дастгирии боэътимоди техникии саноати истеҳсоли нимноқилҳоро таъмин кард.
# 03 Мубориза ва санҷиши пас аз буридан
3.1 Тоза кардан ва хушк кардан
Қадамҳои тозакунӣ ва хушккунӣ пас аз буридани вафли барои таъмини сифати чип ва пешрафти ҳамвори равандҳои минбаъда муҳиманд. Дар ин марҳила, бояд бодиққат тоза кардани партовҳои кремний, пасмондаҳои хунуккунӣ ва дигар ифлоскунандаҳои ҳангоми буридан тавлидшуда муҳим аст. Боварӣ ҳосил кардан лозим аст, ки микросхемаҳо дар ҷараёни тозакунӣ осеб набинанд ва пас аз хушк кардан, боварӣ ҳосил кунед, ки намӣ дар сатҳи чип боқӣ намонад, то мушкилот ба монанди зангзанӣ ё разряди электростатикиро пешгирӣ кунад.
Муомилоти пас аз буридан: Раванди тозакунӣ ва хушккунӣ
| Қадами раванд | Мундариҷа | Таъсир |
| Раванди тозакунӣ | -Усул: Барои тоза кардан аз воситаҳои махсуси тозакунӣ ва оби соф, ки бо усулҳои ултрасадоӣ ё механикии шустушӯй истифода мешаванд, истифода баред. | Тозакунии ҳамаҷонибаи ифлоскунандаҳоро таъмин мекунад ва ҳангоми тозакунӣ аз вайроншавии микросхемаҳо пешгирӣ мекунад. |
| -Интихоби агенти тозакунӣ: Аз рӯи маводи вафли ва навъи ифлоскунанда интихоб кунед, то тозакунии муассир бидуни осеб ба чип таъмин карда шавад. | Интихоби дурусти агент калиди тозакунии самаранок ва муҳофизати чип мебошад. | |
| -Назорати параметр: Ҳарорати тозакунӣ, вақт ва консентратсияи маҳлули тозакуниро ба таври қатъӣ назорат кунед, то мушкилоти сифатро, ки аз тозакунии нодуруст ба вуҷуд омадааст, пешгирӣ кунед. | Назоратҳо барои пешгирӣ кардани осеб расонидан ба вафель ё тарк кардани ифлоскунандаҳо кӯмак мекунанд, ки сифати пайвастаро таъмин мекунанд. | |
| Раванди хушккунӣ | -Усулҳои анъанавӣ: Хушккунии ҳавои табиӣ ва хушккунии ҳавои гарм, ки самаранокии паст доранд ва метавонанд ба ҷамъшавии нерӯи статикӣ оварда расонанд. | Ин метавонад боиси суст шудани вақтҳои хушкшавӣ ва мушкилоти эҳтимолии статикӣ гардад. |
| -Технологияҳои муосир: Аз технологияҳои пешрафта, аз қабили хушккунии вакуумӣ ва хушккунии инфрасурх истифода баред, то чипҳо зуд хушк шаванд ва аз таъсири зараровар канорагирӣ кунанд. | Раванди хушккунӣ зудтар ва муассиртар, коҳиш додани хатари партовҳои статикӣ ё масъалаҳои марбут ба маводи моеъ. | |
| Интихоб ва нигоҳдории таҷҳизот | -Интихоби таҷҳизот: Мошинҳои тозакунӣ ва хушккунии баландсифат самаранокии коркардро беҳтар мекунанд ва мушкилоти эҳтимолиро ҳангоми коркард ба таври дақиқ назорат мекунанд. | Мошинҳои баландсифат коркарди беҳтарро таъмин мекунанд ва эҳтимолияти хатогиҳоро ҳангоми тоза кардан ва хушк кардан кам мекунанд. |
| -Нигоҳдории таҷҳизот: Санҷиши мунтазам ва нигоҳдории таҷҳизот кафолат медиҳад, ки он дар ҳолати беҳтарини корӣ боқӣ мемонад ва сифати чипҳоро кафолат медиҳад. | Нигоҳубини дуруст аз вайроншавии таҷҳизот пешгирӣ карда, коркарди боэътимод ва баландсифатро таъмин мекунад. |
Тозакунӣ ва хушк кардани пас аз буридан
Марҳилаҳои тозакунӣ ва хушккунӣ пас аз буридани вафель равандҳои мураккаб ва нозук мебошанд, ки баррасии дақиқи омилҳои сершуморро барои таъмини натиҷаи ниҳоии коркард талаб мекунанд. Бо истифода аз усулҳои илмӣ ва расмиёти қатъӣ, метавон кафолат дод, ки ҳар як чип ба марҳилаҳои минбаъдаи бастабандӣ ва озмоиш дар ҳолати беҳтарин ворид шавад.
Санҷиш ва санҷиши пас аз буридан
| Қадам | Мундариҷа | Таъсир |
| Қадами санҷиш | 1.Санҷиши визуалӣ: Таҷҳизоти бозрасии визуалӣ ё автоматиро барои тафтиш кардани камбудиҳои намоён, ба монанди тарқишҳо, чипҳо ё олудашавӣ дар сатҳи чип истифода баред. Барои пешгирӣ кардани партов микросхемаҳои аз ҷиҳати ҷисмонӣ осебдида зуд муайян кунед. | Дар муайян кардан ва бартараф кардани микросхемаҳои ноқис дар аввали раванд, кам кардани талафоти моддӣ кӯмак мекунад. |
| 2.Андозаи андоза: Дастгоҳҳои дақиқи ченкуниро истифода баред, то андозаҳои чипҳоро дақиқ чен кунед, андозаи буриш ба хусусиятҳои тарроҳӣ мувофиқат кунад ва мушкилоти иҷроиш ё мушкилоти бастабандиро пешгирӣ кунед. | Боварӣ ҳосил кунед, ки микросхемаҳо дар ҳудуди андозаи зарурӣ қарор доранд ва аз таназзули кор ё мушкилоти васлкунӣ пешгирӣ мекунанд. | |
| 3.Санҷиши самаранокии барқ: Параметрҳои асосии электрикиро ба монанди муқовимат, зарфият ва индуктсия арзёбӣ кунед, то микросхемаҳои номувофиқро муайян кунед ва кафолат диҳед, ки танҳо микросхемаҳои босифат ба марҳилаи оянда мегузаранд. | Фақат микросхемаҳои функсионалӣ ва аз рӯи кор санҷидашуда дар раванд пеш рафтанро кафолат медиҳад ва хатари нокомиро дар марҳилаҳои баъдӣ коҳиш медиҳад. | |
| Қадами санҷиш | 1.Санҷиши функсионалӣ: Тасдиқ кунед, ки вазифаи асосии чип мувофиқи таъиншуда кор мекунад, микросхемаҳои дорои нуқсонҳои функсионалӣ муайян ва нест карда мешавад. | Пеш аз гузаштан ба марҳилаҳои баъдӣ чипҳо ба талаботи асосии амалиётӣ мувофиқат мекунанд. |
| 2.Санҷиши эътимоднокӣ: Баҳодиҳии устувории кори чипҳо дар шароити истифодаи тӯлонӣ ё муҳити сахт, ки маъмулан пиршавии ҳарорати баланд, санҷиши ҳарорати паст ва озмоиши намӣ барои тақлид кардани шароити шадиди воқеиро дар бар мегирад. | Кафолат медиҳад, ки чипҳо метавонанд дар як қатор шароити муҳити зист боэътимод кор кунанд, умри дароз ва устувории маҳсулотро беҳтар созанд. | |
| 3.Санҷиши мутобиқат: Тасдиқ кунед, ки чип бо дигар ҷузъҳо ё системаҳо дуруст кор мекунад, то боварӣ ҳосил кунед, ки аз сабаби номувофиқатӣ ягон хатогӣ ё таназзули кор вуҷуд надорад. | Бо роҳи пешгирии масъалаҳои мутобиқат кори ҳамворро дар барномаҳои воқеии ҷаҳон таъмин мекунад. |
3.3 Бастабандӣ ва нигоҳдорӣ
Пас аз буридани вафли, микросхемаҳои муҳими раванди истеҳсоли нимноқилҳо мебошанд ва марҳилаҳои бастабандӣ ва нигоҳдории онҳо яксон муҳиманд. Андешидани чораҳои дурусти бастабандӣ ва нигоҳдории он на танҳо барои таъмини бехатарӣ ва устувории микросхемаҳои ҳангоми интиқол ва нигоҳдорӣ, балки барои дастгирии қавӣ барои марҳилаҳои минбаъдаи истеҳсол, озмоиш ва бастабандӣ муҳим аст.
Хулосаи марҳилаҳои санҷиш ва санҷиш:
Қадамҳои санҷиш ва санҷиши микросхемаҳои пас аз буридани вафли як қатор ҷанбаҳоро дар бар мегиранд, аз ҷумла санҷиши визуалӣ, андозагирии андоза, санҷиши самаранокии барқ, санҷиши функсионалӣ, санҷиши эътимоднокӣ ва санҷиши мутобиқат. Ин қадамҳо бо ҳам алоқаманд ва пурракунанда буда, барои таъмини сифат ва эътимоднокии маҳсулот монеаи мустаҳкам ташкил медиҳанд. Тавассути расмиёти қатъии санҷиш ва санҷиш, мушкилоти эҳтимолиро метавон фавран муайян ва ҳал кард, то маҳсулоти ниҳоӣ ба талабот ва интизориҳои муштариён мувофиқат кунад.
| Аспект | Мундариҷа |
| Тадбирҳои бастабандӣ | 1.Антистатикӣ: Маводҳои бастабандӣ бояд хосиятҳои аълои зидди статикӣ дошта бошанд, то нерӯи статикӣ аз осеб дидани дастгоҳҳо ё таъсир расонидан ба кори онҳо пешгирӣ кунад. |
| 2.Ба намнокӣ тобовар: Маводҳои бастабандӣ бояд муқовимати хуби намӣ дошта бошанд, то зангзанӣ ва бад шудани кори барқро, ки аз намӣ ба вуҷуд омадаанд, пешгирӣ кунанд. | |
| 3.Ба зарба тобовар: Маводҳои бастабандӣ бояд ҷабби самарабахши зарбаро барои муҳофизат кардани микросхемаҳои аз ларзиш ва таъсир ҳангоми интиқол таъмин кунанд. | |
| Муҳити нигоҳдорӣ | 1.Назорати намӣ: Рутубатро дар доираи мувофиқ ба таври қатъӣ назорат кунед, то ҷабби намӣ ва зангзании дар натиҷаи намии аз ҳад зиёд ё мушкилоти статикие, ки дар натиҷаи намии паст ба вуҷуд омадааст, пешгирӣ кунед. |
| 2.тозагӣ: Муҳити нигоҳдории тозаро нигоҳ доред, то ки чипҳо аз чанг ва ифлосиҳо олуда нашаванд. | |
| 3.Назорати ҳарорат: Диапазони мувофиқи ҳароратро таъин кунед ва устувории ҳароратро нигоҳ доред, то пиршавии босуръати сабаби гармии аз ҳад зиёд ё мушкилоти конденсатсия, ки дар натиҷаи ҳарорати паст ба вуҷуд омадааст, пешгирӣ кунед. | |
| Санҷиши мунтазам | Микросхемаҳои захирашударо мунтазам тафтиш ва арзёбӣ кунед, бо истифода аз санҷишҳои визуалӣ, андозагирии андоза ва санҷишҳои кори электрикӣ барои муайян ва ҳалли мушкилоти эҳтимолӣ сари вақт. Дар асоси вақт ва шароити нигоҳдорӣ, истифодаи чипҳоро ба нақша гиред, то ки онҳо дар ҳолати беҳтарин истифода шаванд. |
Масъалаи микрокрекҳо ва вайроншавӣ дар ҷараёни буридани вафли як мушкили ҷиддӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо мебошад. Стресси буриш сабаби асосии ин падида аст, зеро он дар сатҳи вафли тарқишҳо ва осебҳои ночиз ба вуҷуд меорад, ки боиси афзоиши хароҷоти истеҳсолӣ ва паст шудани сифати маҳсулот мегардад.
Барои ҳалли ин мушкилот, кам кардани фишори буриш ва татбиқи усулҳои оптимизатсияи буридан, асбобҳо ва шароитҳо муҳим аст. Таваҷҷуҳи бодиққат ба омилҳо ба монанди маводи корд, суръати буридан, фишор ва усулҳои хунуккунӣ метавонад ба коҳиш додани ташаккули микрокракҳо ва баланд бардоштани ҳосили умумии раванд мусоидат кунад. Илова бар ин, таҳқиқоти давомдор оид ба технологияҳои пешрафтаи буриш, ба монанди буридани лазерӣ, роҳҳои коҳиш додани ин мушкилотро меомӯзанд.
Ҳамчун маводи нозук, вафлиҳо ҳангоми дучор шудан ба фишори механикӣ, гармӣ ё химиявӣ ба тағйироти дохилии сохторӣ майл доранд, ки боиси пайдоиши микрокрекҳо мешаванд. Гарчанде ки ин тарқишҳо дарҳол ба назар намерасанд, онҳо метавонанд васеъ шаванд ва ҳангоми пешрафти раванди истеҳсолӣ зарари ҷиддӣ расонанд. Ин масъала махсусан дар марҳилаҳои минбаъдаи бастабандӣ ва озмоиш мушкил мегардад, ки дар он ҷо тағйирёбии ҳарорат ва фишорҳои иловагии механикӣ метавонанд боиси таҳаввулоти ин микрокракҳо ба шикастани намоён гарданд ва эҳтимолан ба шикасти чип оварда расонанд.
Барои кам кардани ин хатар, назорат кардани раванди буридан тавассути оптимизатсияи параметрҳо ба монанди суръати буридан, фишор ва ҳарорат муҳим аст. Истифодаи усулҳои буридани камтар хашмгин, аз қабили буридани лазерӣ, метавонад фишори механикиро дар вафли кам кунад ва ташаккули микрокрекҳоро кам кунад. Илова бар ин, татбиқи усулҳои пешрафтаи санҷиш, ба монанди сканеркунии инфрасурх ё тасвири рентгенӣ дар ҷараёни буридани вафли метавонад ба ошкор кардани ин тарқишҳои марҳилаи ибтидоӣ пеш аз расонидани зарари минбаъда кӯмак расонад.
Зарар ба сатҳи вафли дар раванди буридан нигаронии ҷиддӣ аст, зеро он метавонад ба кор ва эътимоднокии чип таъсири мустақим расонад. Чунин зарар метавонад дар натиҷаи истифодаи нодурусти асбобҳои буридан, параметрҳои нодурусти буридан ё нуқсонҳои моддӣ, ки ба худи вафель хос аст, оварда расонад. Новобаста аз сабаб, ин осебҳо метавонанд ба тағирёбии муқовимати барқӣ ё зарфияти занҷир оварда расонанд, ки ба кори умумӣ таъсир расонанд.
Барои ҳалли ин мушкилот, ду стратегияи асосӣ омӯхта мешаванд:
1.Оптимизатсияи асбобҳо ва параметрҳои буридан: Бо истифода аз теғҳои тезтар, танзими суръати буридан ва тағир додани умқи буриш, консентратсияи стрессро дар ҷараёни буридан ба ҳадди ақал расондан мумкин аст ва аз ин рӯ эҳтимолияти зарарро коҳиш медиҳад.
2.Омӯзиши технологияҳои нави буридан: Усулҳои пешрафта ба монанди буридани лазерӣ ва буридани плазма дақиқии беҳтарро пешниҳод мекунанд ва эҳтимолан сатҳи зарари ба вафли расидаро коҳиш медиҳанд. Ин технологияҳо барои дарёфти роҳҳои ба даст овардани дақиқии баланди буридан ҳангоми кам кардани фишори гармӣ ва механикӣ дар вафли омӯхта мешаванд.
Майдони таъсири гармидиҳӣ ва таъсири он ба иҷроиш
Дар равандҳои буриши гармӣ, аз қабили буридани лазерӣ ва плазма, ҳарорати баланд ногузир минтақаи таъсири гармиро дар сатҳи вафли ба вуҷуд меорад. Ин минтақа, ки дар он градиенти ҳарорат назаррас аст, метавонад хосиятҳои маводро тағир диҳад ва ба кори ниҳоии чип таъсир расонад.
Таъсири Минтақаи таъсири гармидиҳӣ (ТАЗ):
Тағйироти сохтори кристалл: Дар зери ҳарорати баланд атомҳо дар дохили маводи вафли метавонанд аз нав ҷойгир шаванд ва боиси таҳриф дар сохтори кристалл шаванд. Ин таҳриф маводро суст карда, қувваи механикӣ ва устувории онро коҳиш медиҳад, ки хатари аз кор рафтани чипҳоро ҳангоми истифода зиёд мекунад.
Тағйирот дар хосиятҳои электрикӣ: Ҳарорати баланд метавонад консентратсияи интиқолдиҳанда ва ҳаракат дар маводи нимноқилро тағйир дода, ба гузарониши барқи чип ва самаранокии интиқоли ҷорӣ таъсир расонад. Ин тағиротҳо метавонанд ба паст шудани иҷрои чип оварда расонанд ва эҳтимолан онро барои ҳадафи пешбинишуда номуносиб гардонанд.
Барои кам кардани ин таъсирот, назорати ҳарорат ҳангоми буридан, оптимизатсия кардани параметрҳои буридан ва омӯхтани усулҳо ба монанди ҳавопаймоҳои хунуккунӣ ё коркарди пас аз коркард стратегияҳои муҳим барои кам кардани дараҷаи таъсири гармӣ ва нигоҳ доштани якпорчагии моддӣ мебошанд.
Дар маҷмӯъ, ҳам микрокракҳо ва ҳам минтақаҳои таъсири гармӣ мушкилоти ҳалкунанда дар технологияи буридани вафель мебошанд. Тадқиқоти давомдор дар баробари пешрафти технологӣ ва чораҳои назорати сифат барои беҳтар кардани сифати маҳсулоти нимноқилҳо ва баланд бардоштани рақобатпазирии онҳо дар бозор зарур аст.
Тадбирҳо оид ба назорати минтақаи таъсири гармӣ:
Оптимизатсияи Параметрҳои раванди буриш: Паст кардани суръат ва қувваи буриш метавонад андозаи минтақаи таъсири гармиро (ТАЗ) ба таври муассир кам кунад. Ин барои назорат кардани миқдори гармии ҳангоми буридан тавлидшуда кӯмак мекунад, ки бевосита ба хосиятҳои моддии вафли таъсир мерасонад.
Технологияҳои пешрафтаи хунуккунӣ: Истифодаи технологияҳо ба монанди хунуккунии нитрогени моеъ ва хунуккунии микромоеъ метавонад доираи минтақаи таъсири гармиро ба таври назаррас маҳдуд кунад. Ин усулҳои хунуккунӣ барои пароканда кардани гармӣ ба таври муассир кӯмак мекунанд ва ба ин васила хосиятҳои моддии вафлиро нигоҳ медоранд ва зарари гармиро кам мекунанд.
Интихоби мавод: Тадқиқотчиён маводҳои нав, аз қабили нанотубаҳои карбон ва графенро кашф мекунанд, ки дорои қобилияти хуби гармӣ ва қувваи механикӣ мебошанд. Ин маводҳо метавонанд минтақаи таъсири гармиро коҳиш диҳанд ва ҳангоми беҳтар кардани кори умумии микросхемаҳои.
Хулоса, гарчанде ки минтақаи таъсири гармидиҳӣ натиҷаи ногузири технологияҳои буридани гармӣ аст, онро метавон тавассути усулҳои оптимизатсияи коркард ва интихоби мавод самаранок назорат кард. Тадқиқоти оянда эҳтимолан ба танзими дақиқ ва автоматикунонии равандҳои буриши гармӣ барои ноил шудан ба буридани вафли муассиртар ва дақиқ равона хоҳад шуд.
Стратегияи тавозуни:
Ба даст овардани мувозинати оптималии байни ҳосили вафли ва самаранокии истеҳсолот як мушкили доимӣ дар технологияи буридани вафель мебошад. Истеҳсолкунандагон бояд як қатор омилҳоро, аз қабили талаботи бозор, арзиши истеҳсолот ва сифати маҳсулотро ба назар гиранд, то стратегияи оқилонаи истеҳсолот ва параметрҳои равандро таҳия кунанд. Дар баробари ин чорй намудани тачхизоти пешкадами бур-ранда, такмил додани малакаи операторхо ва пурзур намудани назорати сифати ашьёи хом барои нигох доштан ва хатто баланд бардоштани хосил дар баробари зиёд кардани самараи истехсолот ахамияти калон дорад.
Мушкилот ва имкониятҳои оянда:
Бо пешрафти технологияи нимноқилҳо буридани вафли бо мушкилот ва имкониятҳои нав рӯ ба рӯ мешавад. Вақте ки андозаи чипҳо хурд мешаванд ва ҳамгироӣ афзоиш меёбад, талабот ба дақиқ ва сифат буридан ба таври назаррас меафзояд. Ҳамзамон, технологияҳои пайдошаванда ғояҳои навро барои рушди техникаи буридани вафель таъмин мекунанд. Истеҳсолкунандагон бояд ба динамикаи бозор ва тамоюлҳои технологӣ мутобиқат кунанд, стратегияҳои истеҳсолӣ ва параметрҳои равандро барои қонеъ кардани тағйироти бозор ва талаботи технологӣ пайваста танзим ва оптимизатсия кунанд.
Хулоса, истеҳсолкунандагон бо роҳи муттаҳид кардани талаботи бозор, арзиши истеҳсолот ва сифати маҳсулот ва ҷорӣ намудани таҷҳизот ва технологияи пешрафта, баланд бардоштани малакаи оператор ва пурзӯр намудани назорати ашёи хом, истеҳсолкунандагон метавонанд ба беҳтарин тавозуни байни ҳосили вафли ва самаранокии истеҳсолот ҳангоми буридани вафли ноил шаванд. , ки боиси самарабахш ва хушсифат истехсол намудани махсулоти нимнокил мегардад.
Дурнамои оянда:
Бо пешрафти босуръати технологӣ, технологияи нимноқилҳо бо суръати бесобиқа пеш меравад. Ҳамчун як қадами муҳим дар истеҳсоли нимноқилҳо, технологияи буридани вафли барои пешрафтҳои ҷолиби нав омода аст. Интизор меравад, ки технологияи буридани вафли ба пеш гузошташуда дар дақиқӣ, самаранокӣ ва арзиш ба беҳбудиҳои назаррас ноил шавад ва ба рушди минбаъдаи саноати нимноқилҳо қувваи нав ворид кунад.
Баланд бардоштани дақиқӣ:
Дар ҷустуҷӯи дақиқии баландтар, технологияи буридани вафли пайваста ҳудуди равандҳои мавҷударо тела медиҳад. Тавассути амиқ омӯхтани механизмҳои физикӣ ва химиявии раванди буридан ва дақиқ назорат кардани параметрҳои буридан, натиҷаҳои дақиқтари буридан барои қонеъ кардани талаботҳои мураккаби тарҳрезии схемаҳо ба даст оварда мешаванд. Илова бар ин, кашфи маводи нав ва усулҳои буридан ҳосил ва сифати онро хеле беҳтар мекунад.
Баланд бардоштани самаранокӣ:
Таҷҳизоти нави буридани вафли ба тарҳрезии интеллектуалӣ ва автоматӣ тамаркуз хоҳад кард. Ҷорӣ кардани системаҳо ва алгоритмҳои пешрафтаи идоракунӣ ба таҷҳизот имкон медиҳад, ки параметрҳои буришро ба таври худкор мутобиқ созанд, то ба маводҳои гуногун ва талаботи тарҳрезӣ мувофиқат кунанд ва ба ин васила самаранокии истеҳсолотро ба таври назаррас беҳтар созанд. Навовариҳо ба монанди технологияи буридани бисёрқабата ва системаҳои ивазкунии тези майса дар баланд бардоштани самаранокӣ нақши муҳим мебозанд.
Кам кардани хароҷот:
Кам кардани харочот самти асосии инкишофи технологияи буридани вафель мебошад. Ҳангоми таҳияи маводҳо ва усулҳои буридани нав, интизор меравад, ки хароҷоти таҷҳизот ва хароҷоти нигоҳдорӣ самаранок назорат карда шаванд. Илова бар ин, оптимизатсияи равандҳои истеҳсолӣ ва кам кардани суръати партовҳо дар вақти истеҳсол партовҳоро боз ҳам кам карда, боиси кам шудани хароҷоти умумии истеҳсолот мегардад.
Истеҳсоли интеллектуалӣ ва IoT:
Интегратсияи истеҳсолоти интеллектуалӣ ва технологияҳои Интернети ашё (IoT) ба технологияи буридани вафли тағирёбанда тағирот меорад. Тавассути пайвастшавӣ ва мубодилаи маълумот байни дастгоҳҳо, ҳар як қадами раванди истеҳсолиро метавон дар вақти воқеӣ назорат ва оптимизатсия кард. Ин на танҳо самаранокии истеҳсолот ва сифати маҳсулотро беҳтар мекунад, балки инчунин ба ширкатҳо пешгӯии дақиқи бозор ва дастгирии қабули қарорҳоро медиҳад.
Дар оянда, технологияи буридани пластинка дар дақиқӣ, самаранокӣ ва арзиш ба пешрафтҳои назаррас ноил хоҳад шуд. Ин пешрафтҳо ба рушди минбаъдаи саноати нимноқилҳо мусоидат намуда, ба ҷомеаи инсонӣ навовариҳои бештари технологӣ ва бароҳатӣ меорад.
Вақти фиристодан: Ноябр-19-2024