Вафли сапфирии 156мм 159мм 6 дюйм барои интиқолдиҳандаи C-Plane DSP TTV
Мушаххасот
| Ашё | Вафлиҳои ёқутии 6-дюймаи C-планшет (0001) | |
| Маводҳои булӯрӣ | 99,999%, покии баланд, Al2O3 монокристаллӣ | |
| Синф | Prime, Epi-Ready | |
| Самти сатҳӣ | Ҳавопаймои C (0001) | |
| кунҷи ҳамвори C нисбат ба меҳвари M 0.2 +/- 0.1° | ||
| Диаметр | 100.0 мм +/- 0.1 мм | |
| Ғафсӣ | 650 мкм +/- 25 мкм | |
| Самти ҳамвории ибтидоӣ | Ҳамвории C(00-01) +/- 0.2° | |
| Яктарафа сайқал дода шудааст | Сатҳи пешӣ | Эпи-сайқалёфта, Ra < 0.2 нм (аз ҷониби AFM) |
| (SSP) | Сатҳи қафо | Хоки майда, Ra = 0.8 μm то 1.2 μm |
| Тарафи дутарафа сайқалёфта | Сатҳи пешӣ | Эпи-сайқалёфта, Ra < 0.2 нм (аз ҷониби AFM) |
| (DSP) | Сатҳи қафо | Эпи-сайқалёфта, Ra < 0.2 нм (аз ҷониби AFM) |
| TTV | <20 мкм | |
| КАМОН | <20 мкм | |
| ВАҲШ | <20 мкм | |
| Тозакунӣ / Бастабандӣ | Тозакунии утоқи тозакунии синфи 100 ва бастабандии чангкашакӣ, | |
| 25 дона дар як бастабандии кассетӣ ё бастабандии якпорча. | ||
Усули Килопулос (усули KY) айни замон аз ҷониби бисёр ширкатҳо дар Чин барои истеҳсоли кристаллҳои сапфир барои истифода дар соҳаҳои электроника ва оптика истифода мешавад.
Дар ин раванд, оксиди алюминийи тозаи баланд дар як тигель дар ҳарорати болотар аз 2100 дараҷа гармӣ гудохта мешавад. Одатан, тигель аз волфрам ё молибден сохта мешавад. Кристалли тухмии дақиқ нигаронидашуда дар алюминийи гудохта ғӯтонида мешавад. Кристалли тухмӣ оҳиста ба боло кашида мешавад ва метавонад ҳамзамон гардиш кунад. Бо назорати дақиқи градиенти ҳарорат, суръати кашидан ва суръати хунуккунӣ, аз гудохта як резачаи калони як кристаллӣ, қариб силиндрӣ истеҳсол кардан мумкин аст.
Пас аз парвариши пораҳои сапфири яккристаллӣ, онҳо ба чӯбҳои силиндрӣ сӯрох карда мешаванд, ки сипас ба ғафсии тирезаи дилхоҳ бурида мешаванд ва дар ниҳоят то сатҳи дилхоҳ сайқал дода мешаванд.
Диаграммаи муфассал





