2дюймаи сиҷҷилӣ Dia50.8mmx10mmt 4H-N монокристалл

Технологияи афзоиши Crystal SiC

Хусусиятҳои SiC парвариши монокристалҳоро душвор мегардонанд. Ин асосан аз он иборат аст, ки фазаи моеъ бо таносуби стехиометрии Si : C = 1 : 1 дар фишори атмосфера вуҷуд надорад ва парвариши SiC бо усулҳои баркамолтар, ба монанди усули кашидани мустақим ва усули афтидани тигель, ки такьягохи асосии саноати нимнокил мебошанд. Аз ҷиҳати назариявӣ, маҳлули таносуби стехиометрии Si: C = 1 : 1 -ро танҳо вақте ба даст овардан мумкин аст, ки фишор аз 10E5 атм ва ҳарорат аз 3200 ℃ зиёд бошад. Дар айни замон, усулҳои асосӣ усули PVT, усули марҳилаи моеъ ва усули таҳшинсозии кимиёвии буғ дар ҳарорати баландро дар бар мегиранд.

Вафли SiC ва кристаллҳое, ки мо пешниҳод мекунем, асосан тавассути интиқоли буғи ҷисмонӣ (PVT) парвариш карда мешаванд ва дар зер муқаддимаи мухтасари PVT оварда шудааст:

Усули интиқоли буғи физикӣ (PVT) аз техникаи сублиматсияи марҳилаи газ, ки аз ҷониби Лели дар соли 1955 ихтироъ шудааст, пайдо шудааст, ки дар он хокаи SiC дар найчаи графитӣ ҷойгир карда мешавад ва то ҳарорати баланд гарм карда мешавад, то хокаи SiC пусида ва сублиматсия кунад ва сипас графит. найча хунук карда мешавад ва ҷузъҳои гази фазавии пусидаи хокаи SiC ҳамчун кристаллҳои SiC ҷойгир ва кристалл мешаванд. дар гирду атрофи найчаи графитй. Гарчанде ки ин усул ба даст овардани як кристаллҳои калонҳаҷми SiC душвор аст ва раванди таҳшиншавӣ дар дохили найчаи графитӣ назорат кардан душвор аст, он барои муҳаққиқони минбаъда идеяҳо медиҳад.

ЯМ Таиров ва дигарон. дар Русия мафҳуми кристалл тухмиро дар ин замина ҷорӣ намуд, ки масъалаи шакли кристаллҳои идоранашаванда ва мавқеи ядроии кристаллҳои SiC-ро ҳал кард. Муҳаққиқони минбаъда такмил додани усули интиқоли буғи физикиро (PVT), ки имрӯз дар саноат истифода мешаванд, идома доданд.

Ҳамчун аввалин усули афзоиши кристаллҳои SiC, PVT дар айни замон усули асосии афзоиш барои кристаллҳои SiC мебошад. Дар муқоиса бо усулҳои дигар, ин усул дорои талаботи пасти таҷҳизоти афзоиш, раванди оддии афзоиш, назорати қавӣ, таҳия ва таҳқиқоти ҳамаҷониба мебошад ва аллакай саноатӣ шудааст.