3 дюймаи тозагии баланд (нест) Вафли кремнийи карбиди субстратҳои нимизолятсияи Sic (HPSl)
Хосиятҳо
1. Хусусиятҳои физикӣ ва сохторӣ
●Намуди моддӣ: тозагии баланд (тозанашуда) карбиди кремний (SiC)
●Диаметр: 3 инч (76,2 мм)
● Ғафсӣ: 0,33-0,5 мм, мутобиқи талаботи барнома.
●Сохтори кристалл: политипи 4H-SiC бо торчаи шашкунҷа, ки бо ҳаракатнокии баланди электронҳо ва устувории гармӣ маълум аст.
● Самт:
oStandard: [0001] (C-ҳавопаймо), мувофиқ барои доираи васеи барномаҳо.
oИхтиёрӣ: берун аз меҳвар (4° ё 8° тамға) барои афзоиши мукаммали эпитаксиалии қабатҳои дастгоҳ.
●Ҳамворӣ: Тағйирёбии умумии ғафсӣ (TTV) ●Сифати сатҳи:
oPished то зичии пасти камбудиҳо (зичии микроқубурҳои <10/см²). 2. Хусусиятҳои электрикӣ ●Муқовимат: >109^99 Ω·cm, ки бо бартараф кардани иловаҳои барқӣ нигоҳ дошта мешавад.
●Қувваи диэлектрикӣ: Муқовимати шиддати баланд бо талафоти ҳадди ақали диэлектрикӣ, ки барои барномаҳои пуриқтидор беҳтарин аст.
●Кобилияти гармидиҳӣ: 3,5-4,9 Вт/см·К, ки имкон медиҳад, ки гармиро дар дастгоҳҳои баландсифат паҳн кунад.
3. Хусусиятҳои гармидиҳӣ ва механикӣ
●Банди васеъ: 3,26 eV, дастгирӣ кор дар зери шиддати баланд, ҳарорати баланд ва шароити радиатсионӣ баланд.
●Сахтӣ: Миқёси Mohs 9, устувориро аз фарсудашавии механикӣ ҳангоми коркард таъмин мекунад.
●Коэффисиенти васеъшавии гармӣ: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, таъмини устувории андоза дар зери тағийрёбии ҳарорат.
Параметр | Дараҷаи истеҳсолӣ | Дараҷаи тадқиқотӣ | Дараҷаи мӯд | Воҳиди |
Синф | Дараҷаи истеҳсолӣ | Дараҷаи тадқиқотӣ | Дараҷаи мӯд | |
Диаметр | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Ғафсӣ | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | мкм |
Самти вафли | Дар меҳвар: <0001> ± 0,5° | Дар меҳвар: <0001> ± 2,0° | Дар меҳвар: <0001> ± 2,0° | дараҷа |
Зичии микроқубурҳо (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | см−2^-2−2 |
Муқовимати барқ | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·см |
Допант | Набудани | Набудани | Набудани | |
Самти ибтидоии ҳамвор | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | дараҷа |
Дарозии ибтидоии ҳамвор | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Дарозии дуюмдараҷаи ҳамвор | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Самти дуюмдараҷаи ҳамвор | 90 ° CW аз ҳамвори ибтидоӣ ± 5,0 ° | 90 ° CW аз ҳамвори ибтидоӣ ± 5,0 ° | 90 ° CW аз ҳамвори ибтидоӣ ± 5,0 ° | дараҷа |
Истиснои канор | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV / TTV / Камон / Варп | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5/15/±40/45 | мкм |
Ноҳамвории рӯизаминӣ | Си-чеҳраи: CMP, C-чеҳраи: Polished | Си-чеҳраи: CMP, C-чеҳраи: Polished | Си-чеҳраи: CMP, C-чеҳраи: Polished | |
Тарқишҳо (Равшании баландшиддат) | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ | |
Плитаҳои шонздаҳӣ (Равшании баландшиддат) | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Масоҳати ҷамъшуда 10% | % |
Минтақаҳои политипӣ (нури баландшиддат) | Масоҳати ҷамъшуда 5% | Масоҳати ҷамъшуда 20% | Масоҳати ҷамъшуда 30% | % |
Харошидан (нури баландшиддат) | ≤ 5 харошидан, дарозии ҷамъшуда ≤ 150 | ≤ 10 харошидан, дарозии ҷамъшуда ≤ 200 | ≤ 10 харошидан, дарозии ҷамъшуда ≤ 200 | mm |
Chipping Edge | Ягон ≥ 0,5 мм паҳно/умқ | 2 иҷозат дода мешавад ≤ 1 мм паҳнои / умқ | 5 иҷозат дода мешавад ≤ 5 мм паҳнои / умқ | mm |
Ифлосшавии сатҳи | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ |
Барномаҳо
1. Электроникаи барқ
Фосилаи васеъ ва гузариши гармии баланди субстратҳои HPSI SiC онҳоро барои дастгоҳҳои пурқувват дар шароити шадид кор мекунанд, ба монанди:
●Таҷҳизоти баландшиддат: Аз ҷумла MOSFETs, IGBTs ва Diodes Schottky Barrier (SBDs) барои табдили самараноки нерӯ.
●Системаҳои энергияи барқароршаванда: Ба монанди инвертерҳои офтобӣ ва контроллерҳои турбинаи бодӣ.
●Мошинҳои барқӣ (EVs): Дар инвертерҳо, пуркунандаи барқ ва системаҳои интиқоли барқ барои баланд бардоштани самаранокӣ ва кам кардани андоза истифода мешаванд.
2. Барномаҳои РБ ва печи печи
Муқовимати баланд ва талафоти ками диэлектрикии пластинкаҳои HPSI барои системаҳои радиобасомад (RF) ва печи печӣ муҳиманд, аз ҷумла:
●Инфрасохтори телекоммуникатсионӣ: Пойгоҳҳои асосӣ барои шабакаҳои 5G ва алоқаи моҳвораӣ.
●Ҳавоӣ ва мудофиа: Системаҳои радарӣ, мавҷгирҳои марҳилавӣ ва ҷузъҳои авионика.
3. Оптоэлектроника
Шаффофият ва фарогирии васеъи 4H-SiC имкон медиҳад, ки он дар дастгоҳҳои оптоэлектронӣ истифода шавад, ба монанди:
●Фотодетекторҳои ултрабунафш: Барои мониторинги муҳити зист ва ташхиси тиббӣ.
● LED-ҳои баландқувват: Дастгирии системаҳои равшании сахт.
●Диодҳои лазерӣ: Барои барномаҳои саноатӣ ва тиббӣ.
4. Тадқиқот ва рушд
Субстратҳои HPSI SiC дар лабораторияҳои илмӣ ва саноатӣ барои омӯхтани хосиятҳои пешрафтаи моддӣ ва истеҳсоли дастгоҳ ба таври васеъ истифода мешаванд, аз ҷумла:
● Афзоиши қабати эпитаксиалӣ: Таҳқиқот оид ба кам кардани камбудиҳо ва оптимизатсияи қабат.
●Омӯзиши ҳаракати интиқолдиҳанда: Тадқиқоти интиқоли электронҳо ва сӯрохҳо дар маводи тозагӣ.
●Прототипсозӣ: Таҳияи ибтидоии дастгоҳҳо ва схемаҳои нав.
Афзалиятҳо
Сифати олӣ:
Позагии баланд ва зичии пасти камбудиҳо платформаи боэътимодро барои барномаҳои пешрафта таъмин мекунанд.
Устувории гармӣ:
Хусусиятҳои аълои паҳншавии гармӣ ба дастгоҳҳо имкон медиҳанд, ки дар шароити қувваи баланд ва ҳарорат самаранок кор кунанд.
Мутобиқати васеъ:
Самтҳои дастрас ва имконоти ғафсии фармоишӣ мутобиқшавӣ ба талаботҳои гуногуни дастгоҳро таъмин мекунанд.
Давомнокӣ:
Сахтии истисноӣ ва устувории сохторӣ фарсудашавӣ ва деформатсияро ҳангоми коркард ва истифода кам мекунад.
Имконият:
Муносиб барои доираи васеи соҳаҳо, аз энергияи барқароршаванда то аэрокосмос ва телекоммуникатсия.
Хулоса
Вафли 3-дюймаи баландсифати нимизолятсияи кремний карбиди баландтарин технологияи субстратро барои дастгоҳҳои пуриқтидор, басомади баланд ва оптоэлектроникӣ муаррифӣ мекунад. Маҷмӯи хосиятҳои аълои гармӣ, электрикӣ ва механикии он иҷрои боэътимодро дар муҳитҳои душвор таъмин мекунад. Аз электроникаи энергетикӣ ва системаҳои RF то оптоэлектроника ва R&D пешрафта, ин субстратҳои HPSI барои навовариҳои фардо замина фароҳам меоранд.
Барои маълумоти иловагӣ ё фармоиш, лутфан бо мо тамос гиред. Дастаи техникии мо барои пешниҳоди роҳнамо ва имконоти мутобиқсозӣ, ки ба эҳтиёҷоти шумо мутобиқ карда шудааст, дастрас аст.