4 дюймаи SiC Wafers 6H нимизолятсияи SiC Субстратҳои ибтидоӣ, тадқиқотӣ ва мукаммал

4 дюймаи SiC Wafers 6H нимизолятсияи SiC Субстратҳои ибтидоӣ, тадқиқотӣ ва dummy

Тавсифи кӯтоҳ:

Субстрати нимизолятсияи карбиди кремний тавассути буридан, дастос кардан, сайқал додан, тоза кардан ва дигар технологияи коркард пас аз афзоиши кристалл карбиди кремнийи нимизолятсия ташкил карда мешавад. Дар субстрат қабати кристаллӣ ё бисёрқабата парвариш карда мешавад, ки ба талаботи сифат ҳамчун эпитаксия мувофиқат мекунад ва пас аз он дастгоҳи печи RF тавассути омезиши тарҳи схема ва бастабандӣ сохта мешавад. Ҳамчун субстратҳои монокристалии карбиди кремнийи нимизолятсияи дараҷаи саноатӣ, тадқиқотӣ ва санҷишӣ 2 дюйм 3 дюйм 4 дюйм 6 дюйм 8 дюйм дастрас аст.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Мушаххасоти маҳсулот

Синф			Синфи истеҳсолии MPD (Синфи Z)			Синфи стандартии истеҳсолӣ (Синфи P)		Синфи думи (Синфи D)
Диаметр			99,5 мм ~ 100,0 мм
	4H-SI		500 мкм ± 20 мкм			500 мкм±25 мкм
Самти вафли			Меҳвари хомӯш: 4,0° ба сӯи<1120> ±0,5° барои 4H-N, Дар меҳвар: <0001>±0,5° барои 4H-SI
	4H-SI		≤1см^-2			≤5 см^-2		≤15 см^-2
	4H-SI		≥1E9 Ом·см					≥1E5 Ом·см
Самти ибтидоии ҳамвор		{10-10} ±5,0°
Дарозии ибтидоии ҳамвор		32,5 мм ± 2,0 мм
Дарозии дуюмдараҷаи ҳамвор		18,0 мм ± 2,0 мм
Самти дуюмдараҷаи ҳамвор		Силикон рӯ ба боло: 90° CW. аз Prime flat ±5,0°
Истиснои канор		3 мм
LTV / TTV / Камон / Warp		≤3 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм						≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм
Ноҳамворӣ			C рӯи				полякӣ		Ra≤1 нм
			Си чеҳра	CMP	Ra≤0,2 нм					Ra≤0,5 нм
Тарқишҳои Edge бо нури шиддатнокии баланд		Ҳеҷ						Дарозии ҷамъшуда ≤ 10 мм, ягона дарозӣ ≤ 2 мм
Плитаҳои шонздаҳӣ бо нури баландшиддат		Майдони ҷамъшуда ≤0,05%						Майдони ҷамъшуда ≤0,1%
Майдонҳои политипӣ бо нури баландшиддат		Ҳеҷ						Майдони ҷамъшуда≤3%
Воситаҳои визуалии карбон		Майдони ҷамъшуда ≤0,05%						Майдони ҷамъшуда ≤3%
Харошидани сатҳи кремний бо нури шадид		Ҳеҷ						Дарозии ҷамъшуда≤1＊диаметри вафли
Микросхемаҳои Edge бо нури шиддати баланд		Ба ҳеҷ кадоме иҷозат дода намешавад, ки паҳно ва чуқурии ≥0,2 мм						5 иҷозат дода шудааст, ҳар як ≤1 мм
Олудашавии сатҳи кремний бо шиддатнокии баланд		Ҳеҷ
Бастабандӣ		Кассетаи бисёрвафли ё контейнери ягонаи вафли