4H-ним HPSI 2inch SiC субстрат вафли Истеҳсоли Dummy дараҷаи тадқиқотӣ

Субстрати карбиди кремний асосан ба навъи ноқилӣ ва нимизолятсия тақсим мешавад, субстрати карбиди кремний ба субстрати навъи n асосан барои LED-и эпитаксиалии GaN ва дигар дастгоҳҳои оптоэлектронӣ, дастгоҳҳои электронии барқии SiC ва ғайра истифода мешавад. Субстрати изолятсияи карбиди кремнийи SiC асосан барои истеҳсоли эпитаксиалии дастгоҳҳои радиобасомади баланди GaN истифода мешавад. Илова бар ин, HPSI ним изолятсияҳои баландсифати изолятсия ва SI изолятсия фарқ мекунанд, консентратсияи интиқолдиҳандаи нимпайкараи изолятсия аз 3,5 * 1013 ~ 8 * 1015 / см3, бо мобилии электронии баланд; ним изолятсия як маводи муқовимати баланд аст, муқовимат хеле баланд аст, одатан барои субстратҳои дастгоҳи печи микроволновка истифода мешавад, ноқил.

Варақаи субстрати кремнийи карбиди нимизолятсияи вафли SiC

Сохтори булӯрии SiC физикии онро нисбат ба Si ва GaAs муайян мекунад, SiC барои хосиятҳои физикӣ дорад; паҳнои банд мамнӯъ калон аст, наздик ба 3 маротиба аз Si, барои таъмини он, ки дастгоҳ дар ҳарорати баланд дар зери эътимоди дарозмуддат кор; қувваи майдони шикаста баланд аст, 1O маротиба аз Si аст, барои таъмини иқтидори шиддати дастгоҳ, беҳтар кардани арзиши шиддати дастгоҳ; Сатҳи электронии сершавӣ калон аст, 2 маротиба аз Si, барои баланд бардоштани басомад ва зичии қувваи дастгоҳ; гармигузаронй баланд, аз Si зиёд аст, гармигузаронй баланд аст, гармигузаронй баланд аст. Қобилияти гармидиҳии баланд, зиёда аз 3 маротиба аз Si, баланд бардоштани иқтидори гармии дастгоҳ ва амалӣ кардани миниатюризатсияи дастгоҳ.