Вафли SiC 4H/6H-P 6inch Сифати MPD Сифати истеҳсолӣ Синфи думми
Субстратҳои таркибии SiC навъи 4H/6H-P Ҷадвали параметрҳои умумӣ
6 Субстрати карбиди кремний (SiC) бо диаметри дюйм Мушаххасот
| Синф | Истеҳсоли MPD сифрСинф (Z) Синф) | Истеҳсоли стандартӣСинф (P) Синф) | Синфи қалбакӣ (D Синф) | ||
| Диаметр | 145.5 мм~150.0 мм | ||||
| Ғафсӣ | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Самти вафл | -Offмеҳвар: 2.0°-4.0° ба самти [1120] ± 0.5° барои 4H/6H-P, Дар меҳвар: 〈111〉± 0.5° барои 3C-N | ||||
| Зичии микроқубур | 0 см-2 | ||||
| Муқовимат | навъи p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏсм | ≤0.3 Ωꞏсм | ||
| навъи n 3C-N | ≤0.8 мΩꞏсм | ≤1 м Ωꞏсм | |||
| Самти ҳамвории ибтидоӣ | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| Дарозии ҳамвори ибтидоӣ | 32.5 мм ± 2.0 мм | ||||
| Дарозии ҳамвори дуюмдараҷа | 18.0 мм ± 2.0 мм | ||||
| Самти ҳамвории дуюмдараҷа | Рӯи силикон ба боло: 90° CW. аз сатҳи ҳамвори Prime ± 5.0° | ||||
| Истиснои канорӣ | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Bow /Warp | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
| Ноҳамворӣ | Лаҳистон Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0.2 нм | Ra≤0.5 нм | ||||
| Шикастани канорҳо бо нури баландшиддат | Ҳеҷ | Дарозии ҷамъшуда ≤ 10 мм, дарозии ягона ≤ 2 мм | |||
| Табақҳои шашкунҷа бо нури баландшиддат | Масоҳати ҷамъшуда ≤0.05% | Масоҳати ҷамъшуда ≤0.1% | |||
| Минтақаҳои политипӣ бо нури баландшиддат | Ҳеҷ | Масоҳати ҷамъшуда ≤3% | |||
| Иловаҳои карбони визуалӣ | Масоҳати ҷамъшуда ≤0.05% | Масоҳати ҷамъшуда ≤3% | |||
| Харошида шудани сатҳи силикон бо нури баландшиддат | Ҳеҷ | Дарозии ҷамъшуда ≤1 × диаметри вафл | |||
| Чипҳои канори баланд бо шиддати рӯшноӣ | Паҳно ва чуқурии ≥0.2 мм иҷозат дода намешавад | 5 иҷозат дода шудааст, ҳар кадоме ≤1 мм | |||
| Ифлосшавии сатҳи кремний аз сабаби шиддати баланд | Ҳеҷ | ||||
| Бастабандӣ | Кассетаи бисёрвафлиӣ ё зарфи яквафлиӣ | ||||
Эзоҳҳо:
※ Маҳдудиятҳои нуқсонҳо ба тамоми сатҳи вафл, ба истиснои минтақаи истисноии канор, татбиқ мешаванд. # Харошиданҳо бояд дар рӯи Si тафтиш карда шаванд
Вафли 6-дюймаи SiC навъи 4H/6H-P бо дараҷаи Zero MPD ва дараҷаи истеҳсолӣ ё сохташуда дар барномаҳои пешрафтаи электронӣ васеъ истифода мешавад. Гузаронандагии аълои гармӣ, шиддати баланди вайроншавӣ ва муқовимат ба муҳитҳои сахт онро барои электроникаи барқӣ, ба монанди коммутаторҳо ва инверторҳои баландшиддат, беҳтарин мегардонад. Сатҳи Zero MPD камбудиҳои ҳадди ақалро таъмин мекунад, ки барои дастгоҳҳои боэътимоди баланд муҳиманд. Вафлиҳои дараҷаи истеҳсолӣ дар истеҳсоли миқёси калони дастгоҳҳои барқӣ ва барномаҳои RF истифода мешаванд, ки дар онҳо самаранокӣ ва дақиқӣ муҳиманд. Аз тарафи дигар, вафлиҳои дараҷаи сохташуда барои калибрченкунии равандҳо, санҷиши таҷҳизот ва прототипсозӣ истифода мешаванд, ки назорати пайвастаи сифатро дар муҳитҳои истеҳсолии нимноқилҳо имконпазир мегардонанд.
Афзалиятҳои субстратҳои композитии навъи N-SiC инҳоянд:
- Гузаронандагии гармии баландПластинаи 4H/6H-P SiC гармиро самаранок пароканда мекунад ва онро барои барномаҳои электронии ҳарорати баланд ва қувваи баланд мувофиқ мегардонад.
- Шиддати баланди вайроншавӣҚобилияти он барои кор бо шиддатҳои баланд бидуни қатъ, онро барои электроникаи барқӣ ва барномаҳои коммутатсионии шиддати баланд беҳтарин мегардонад.
- Дараҷаи нуқсони қубурҳои хурд (MPD сифр)Зичии ками нуқсонҳо эътимоднокӣ ва самаранокии баландтарро таъмин мекунад, ки барои дастгоҳҳои электронии серталаб муҳим аст.
- Сатҳи истеҳсолӣ барои истеҳсоли оммавӣ: Барои истеҳсоли миқёси калони дастгоҳҳои нимноқилҳои баландсифат бо стандартҳои қатъии сифат мувофиқ аст.
- Синфи абстрактӣ барои санҷиш ва калибрченкунӣ: Бе истифодаи пластинаҳои истеҳсолии гаронбаҳо, беҳсозии равандҳо, санҷиши таҷҳизот ва прототипсозӣ имкон медиҳад.
Умуман, пластинаҳои SiC-и 6-дюймаи 4H/6H-P бо дараҷаи сифрии MPD, дараҷаи истеҳсолӣ ва дараҷаи сохташуда барои таҳияи дастгоҳҳои электронии баландсифат бартариҳои назаррас доранд. Ин пластинаҳо махсусан дар барномаҳое муфиданд, ки кори ҳарорати баланд, зичии баланди қувва ва табдили самараноки қувваро талаб мекунанд. Сатҳи сифрии MPD камбудиҳои ҳадди ақалро барои кори боэътимод ва устувори дастгоҳ таъмин мекунад, дар ҳоле ки пластинаҳои дараҷаи истеҳсолӣ истеҳсоли миқёси калонро бо назорати қатъии сифат дастгирӣ мекунанд. Пластинаҳои дараҷаи сохташуда барои беҳсозии равандҳо ва калибрченкунии таҷҳизот роҳи ҳалли камхарҷро пешниҳод мекунанд, ки онҳоро барои истеҳсоли нимноқилҳои дақиқи баланд ҳатмӣ мегардонад.
Диаграммаи муфассал
