4H/6H-P 6inch SiC вафли Zero MPD Синфи истеҳсолӣ Дараҷаи Dummy
4H/6H-P Type SiC Substrates Composite Ҷадвали параметрҳои умумӣ
6 диаметри дюйм кремний карбиди (SiC) Substrate Мушаххасот
| Синф | Истеҳсоли сифр MPDСинфи (З Синф) | Истеҳсоли стандартӣСинф (С Синф) | Дараҷаи мӯд (D Синф) | ||
| Диаметр | 145,5 мм ~ 150,0 мм | ||||
| Ғафсӣ | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Самти вафли | -Offмеҳвар: 2,0°-4,0° ба сӯи [1120] ± 0,5° барои 4H/6H-P, Дар меҳвар:〈111〉± 0,5° барои 3C-N | ||||
| Зичии микроқубур | 0 см-2 | ||||
| Муқовимат | навъи p 4H/6H-P | ≤0,1 Омꞏсм | ≤0,3 Омꞏсм | ||
| n-навъи 3C-N | ≤0,8 мΩꞏсм | ≤1 м Ωꞏсм | |||
| Самти ибтидоии ҳамвор | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
| 3С-Н | -{110} ± 5,0° | ||||
| Дарозии ибтидоии ҳамвор | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Дарозии дуюмдараҷаи ҳамвор | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Самти дуюмдараҷаи ҳамвор | Силикон рӯ ба боло: 90° CW. аз Сарвазири ҳамвор ± 5,0 ° | ||||
| Истиснои канор | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV / TTV / Камон / Warp | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
| Ноҳамворӣ | Лаҳистон Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
| Тарқишҳои Edge бо нури шиддатнокии баланд | Ҳеҷ | Дарозии ҷамъшуда ≤ 10 мм, дарозии ягона≤2 мм | |||
| Плитаҳои шонздаҳӣ бо нури баландшиддат | Майдони ҷамъшуда ≤0,05% | Майдони ҷамъшуда ≤0,1% | |||
| Майдонҳои политипӣ бо нури баландшиддат | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤3% | |||
| Воситаҳои визуалии карбон | Майдони ҷамъшуда ≤0,05% | Майдони ҷамъшуда ≤3% | |||
| Харошидани сатҳи кремний бо нури шадид | Ҳеҷ | Дарозии ҷамъшуда≤1 × диаметри вафли | |||
| Микросхемаҳои Edge бо нури шиддати баланд | Ҳеҷ кадоме ба паҳнои ≥0,2 мм ва умқи иҷозат дода намешавад | 5 иҷозат дода шудааст, ҳар як ≤1 мм | |||
| Олудашавии сатҳи кремний бо шиддатнокии баланд | Ҳеҷ | ||||
| Бастабандӣ | Кассетаи бисёрвафли ё контейнери ягонаи вафли | ||||
Эзоҳҳо:
※ Маҳдудияти нуқсонҳо ба тамоми сатҳи вафли, ба истиснои минтақаи истиснои канор, татбиқ мешаванд. # Харошидан бояд дар рӯи Si тафтиш карда шавад о
Вафли навъи 4H/6H-P 6-дюймаи SiC бо дараҷаи Zero MPD ва дараҷаи истеҳсолӣ ё dummy дар барномаҳои пешрафтаи электронӣ ба таври васеъ истифода мешавад. Кобилияти аълои гармидиҳӣ, шиддати баланди вайроншавӣ ва муқовимат ба муҳити сахт онро барои электроникаи энергетикӣ, аз қабили коммутаторҳои баландшиддат ва инвертерҳо беҳтарин месозад. Синфи Zero MPD камбудиҳои ҳадди ақалро таъмин мекунад, ки барои дастгоҳҳои боэътимоди баланд муҳим аст. Вафли дараҷаи истеҳсолӣ дар истеҳсоли миқёси васеъи дастгоҳҳои энергетикӣ ва барномаҳои РБ истифода мешавад, ки дар он кор ва дақиқ муҳим аст. Аз тарафи дигар, пластинкаҳои дараҷаи мукаммал барои калибрченкунии равандҳо, санҷиши таҷҳизот ва прототипсозӣ истифода мешаванд, ки имкон медиҳанд назорати пайвастаи сифат дар муҳити истеҳсоли нимноқилҳо.
Бартариҳои субстратҳои таркибии N-навъи SiC иборатанд
- Гармигузаронии баланд: Вафли 4H/6H-P SiC гармиро ба таври муассир пароканда мекунад ва онро барои барномаҳои электронии дорои ҳарорати баланд ва пурқудрат мувофиқ мекунад.
- Шиддати баланди шикаста: Қобилияти он барои идора кардани шиддатҳои баланд бидуни нокомӣ онро барои электроникаи барқ ва барномаҳои коммутатсионӣ бо баландшиддат беҳтарин мекунад.
- Дараҷаи сифр MPD (Нақси қубурҳои хурд).: Зичии камтарини нуқсонҳо эътимоднокӣ ва иҷрои бештарро таъмин мекунад, ки барои дастгоҳҳои электронии серталаб муҳим аст.
- Сатҳи истеҳсолӣ барои истеҳсоли оммавӣ: Барои истеҳсоли васеъмиқёси дастгоҳҳои нимноқилҳои сермахсул бо стандартҳои қатъии сифат мувофиқ аст.
- Дараҷаи Dummy барои санҷиш ва калибрченкунӣ: Оптимизатсияи равандҳо, санҷиши таҷҳизот ва прототипсозӣ бидуни истифодаи пластинҳои дараҷаи баланди истеҳсолиро имкон медиҳад.
Дар маҷмӯъ, вафлиҳои 4H/6H-P 6-дюймаи SiC бо дараҷаи Zero MPD, дараҷаи истеҳсолӣ ва дараҷаи dummy барои таҳияи дастгоҳҳои электронии баландсифат бартариҳои назаррас пешкаш мекунанд. Ин вафлиҳо махсусан дар барномаҳое муфиданд, ки амалиёти ҳарорати баланд, зичии баланди нерӯ ва табдили самараноки нерӯро талаб мекунанд. Синфи Zero MPD барои кори боэътимод ва устувори дастгоҳ камбудиҳои ҳадди ақалро таъмин мекунад, дар ҳоле ки вафли дараҷаи истеҳсолӣ истеҳсоли миқёси калонро бо назорати қатъии сифат дастгирӣ мекунад. Вафли дараҷаи мукаммал ҳалли камхарҷро барои оптимизатсияи раванд ва калибркунии таҷҳизот таъмин намуда, онҳоро барои истеҳсоли нимноқилҳои дақиқи баланд ҳатмӣ месозад.
Диаграммаи муфассал
