4inch 6inch Lithium niobate филми ягона булӯр вафли LNOI
Раванди тайёр кардани маводи LNOI асосан ба чор марҳилаи зерин тақсим карда мешавад
(1) Вай ионҳо ба маводи ниобати литийи X-бурида бо энергияи муайян ворид карда шуданд ва ба қабати нуқсон дар чуқурии муайян дар зери қабати сатҳи ниобати литий ворид карда шуданд;
(2) Маводи ниобати литийи имплантатсияшуда ба субстрати кремний бо қабати оксид пайваст карда мешавад, то сохтори пайвандро ташкил кунад;
(3) Сохтори пайвастшавӣ барои таҳаввул кардани нуқсонҳое, ки тавассути имплантатсияи Ҳ ион ба вуҷуд омадаанд, таҳаввул карда шуд ва ҷамъ шуда, тарқишҳоро ташкил диҳад. Ниҳоят, ниобати литий дар баробари қабати нуқсон ҷудо карда шуд, то буридаи боқимондаи ниобати литий ва вафли LNOI ба вуҷуд омад.
Барномаҳо ва бартариҳои вафли LNOI
1--Плёнкаҳои пьезоэлектрикии литий ниобат (LNOI) дорои коэффисиенти баланди пьезоэлектрикӣ ва доимии диэлектрикӣ мебошанд, ки метавонанд энергияи механикиро ба энергияи барқ ё энергияи барқро ба энергияи механикӣ табдил диҳанд. Аз ин рӯ, он дар соҳаи сенсорҳо, ба монанди сенсорҳои фишор, сенсорҳои суръатбахшӣ, сенсорҳои ҳарорат ва ғайра васеъ истифода мешавад. Илова бар ин, филми пьезоэлектрикии литий ниобат инчунин метавонад дар дастгоҳҳои акустикӣ ва дастгоҳҳои ларзиш истифода шавад, ба монанди табдилдиҳандаи сафолии пьезоэлектрикии мураккаб филтри сафолии пьезоэлектрикӣ.
2-Суботи филми пьезоэлектрикии ниобатии литий низ яке аз бартариҳои он мебошад. Аз сабаби устувории сохтори кристаллӣ ва беэътиноии кимиёвӣ, филми пьезоэлектрикии литий ниобат метавонад дар ҳарорати баланд, намии баланд, кислотаи қавӣ, ишқори қавӣ ва дигар муҳити сахт бо муқовимат ба зангзании хуб ва устуворӣ кор кунад.
3-Плёнкаи пьезоэлектрикии литий ниобати як маводи нави пьезоэлектрикӣ бо иҷрои аъло ва устуворӣ мебошад ва дорои дурнамои васеи татбиқ мебошад. Бо рушди муттасили илм ва технология, филми пьезоэлектрикии литий ниобат дар бештари шаҳрҳо татбиқ карда мешавад ва ба ҳаёти одамон роҳати бештар ва навоварӣ меорад
Диаграммаи муфассал
