Вафли 4дюймаи SiC Epi барои MOS ё SBD

Тавсифи кӯтоҳ:

SiCC дорои хати мукаммали истеҳсоли субстрат вафли SiC (Cilicon Carbide) мебошад, ки афзоиши кристалл, коркарди вафли, истеҳсоли вафли, сайқал додан, тозакунӣ ва озмоишро муттаҳид мекунад.Дар айни замон, мо метавонем пластинкаҳои нимноқили меҳварӣ ё берун аз меҳвар ва нимноқилҳои 4H ва 6H SiC-ро бо андозаи 5x5mm2, 10x10mm2, 2 ″, 3″, 4″ ва 6″, шикастани рафъи камбудиҳо, коркарди тухмии булӯр таъмин кунем. ва афзоиши босуръат ва дигар Он тавассути технологияҳои калидӣ, аз қабили рафъи камбудиҳо, коркарди тухмии кристалл ва афзоиши босуръат шикастааст ва ба тадқиқоти асосӣ ва рушди эпитаксияи карбиди кремний, дастгоҳҳо ва дигар таҳқиқоти асосии марбут мусоидат кард.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Эпитаксия ба афзоиши қабати маводи монокристалии баландсифат дар сатҳи субстрати карбиди кремний дахл дорад.Дар байни онҳо афзоиши қабати эпитаксиалии нитриди галлий дар субстрати нимизолятсияи карбиди кремнийро эпитаксияҳои гетерогенӣ меноманд;нашъунамои қабати эпитаксиалии карбиди кремний дар рӯи субстрати карбиди кремнийи ноқилӣ эпитаксияи якхела номида мешавад.

Epitaxial мувофиқи талаботи тарҳи дастгоҳ афзоиши қабати функсионалии асосии аст,, асосан муайян иҷрои чип ва дастгоҳ, арзиши 23%.Усулҳои асосии эпитаксияи филми тунуки SiC дар ин марҳила иборатанд аз: пошидани буғи кимиёвӣ (CVD), эпитаксияи чӯби молекулавӣ (MBE), эпитаксияи фазаи моеъ (LPE) ва таҳшин ва сублиматсияи лазерии импулсӣ (PLD).

Epitaxy як пайванди хеле муҳим дар тамоми саноат аст.Бо афзоиши қабатҳои эпитаксиалии GaN дар субстратҳои нимизолятсияи карбиди кремний, вафли эпитаксиалии GaN дар асоси карбиди кремний истеҳсол карда мешаванд, ки минбаъд онҳоро ба дастгоҳҳои GaN RF, ба монанди транзисторҳои электронии баланд ҳаракат кардан (HEMTs) сохтан мумкин аст;

Тавассути парвариши қабати эпитаксиалии кремний карбиди дар субстрати гузаронанда ба даст овардани пластинкаҳои кремний карбиди эпитаксиалӣ ва дар қабати эпитаксиалӣ оид ба истеҳсоли диодҳои Шоттки, транзисторҳои эффекти тиллоӣ-оксигенӣ, транзисторҳои изолятсияи биполярии дарвоза ва дигар дастгоҳҳои энергетикӣ, бинобар ин сифати эпитаксиалй ба кори дастгох таъсири хеле калон мерасонад, ба тараккиёти саноат низ роли хеле мухим мебозад.