6 дюймаи 150 мм кремний карбиди SiC вафли 4H-N барои таҳқиқоти истеҳсолии MOS ё SBD ва дараҷаи dummy
Майдонҳои дархост
Субстрати монокристалии карбиди 6-дюймаи кремний дар бисёр соҳаҳо нақши муҳим мебозад. Аввалан, он дар саноати нимноқилҳо барои истеҳсоли дастгоҳҳои электронии пуриқтидор ба монанди транзисторҳои барқӣ, схемаҳои интегралӣ ва модулҳои энергетикӣ васеъ истифода мешавад. Қобилияти гармидиҳии баланд ва муқовимати баланд ба ҳарорат имкон медиҳад, ки гармиро беҳтар паҳн кунад, ки дар натиҷа самаранокӣ ва эътимоднокӣ беҳтар мешавад. Дуюм, вафли карбиди кремний дар соҳаҳои тадқиқотӣ барои таҳияи мавод ва дастгоҳҳои нав муҳим аст. Илова бар ин, вафли карбиди кремний барномаҳои васеъро дар соҳаи оптоэлектроника, аз ҷумла истеҳсоли LEDҳо ва диодҳои лазерӣ пайдо мекунад.
Мушаххасоти маҳсулот
Субстрати монокристалии карбиди 6 дюймӣ диаметри 6 дюйм (тақрибан 152,4 мм) дорад. Ноҳамвории сатҳ Ra < 0,5 нм ва ғафсӣ 600 ± 25 мкм аст. Субстратро метавон бо гузарониши навъи N ё навъи P, дар асоси талаботи муштарӣ танзим кард. Ғайр аз он, он устувории махсуси механикиро нишон медиҳад, ки қодир ба фишор ва ларзиш тоб оварда метавонад.
Диаметр | 150±2,0мм (6 инч) | ||||
Ғафсӣ | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
Ориентация | Дар меҳвар: <0001>±0,5° | Меҳвари хомӯш: 4,0 ° то 1120 ± 0,5 ° | |||
Политип | 4H | ||||
Муқовимат (Ω·см) | 4Н-Н | 0.015~0.028 Ом·см/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6Н-СИ | >1Э5 | ||||
Самти ибтидоии ҳамвор | {10-10}±5,0° | ||||
Дарозии ҳамвор (мм) | 47,5 мм ± 2,5 мм | ||||
Edge | Чамфер | ||||
TTV/Камон/Варп (ум) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
Фронти AFM (Si-чеҳра) | Лаҳистон Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,5 нм | |||||
LTV | ≤3мкм (10мм*10мм) | ≤5мкм (10мм*10мм) | ≤10мкм (10мм*10мм) | ||
TTV | ≤5мкм | ≤10мкм | ≤15мкм | ||
Пӯсти афлесун / чоҳҳо / тарқишҳо / олудашавӣ / доғҳо / рахҳо | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ | ||
бандҳо | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ |
Субстрати монокристалии карбиди 6 дюймаи кремний як маводи баландсифатест, ки дар саноати нимноқилҳо, тадқиқотӣ ва оптоэлектроника васеъ истифода мешавад. Он гузариши аълои гармӣ, устувории механикӣ ва муқовимат ба ҳарорати баландро пешниҳод мекунад, ки онро барои сохтани дастгоҳҳои электронии пуриқтидор ва таҳқиқоти нави мавод мувофиқ мекунад. Мо барои қонеъ кардани талаботҳои гуногуни муштариён мушаххасот ва имконоти мутобиқсозӣ пешниҳод менамоем.Барои тафсилоти бештар дар бораи вафли карбиди кремний бо мо тамос гиред!