6дюймаи N-Type ё P-навъи кремнийи вафли CZ Si
Муаррифии қуттии вафли
Мушаххасоти вафли кремний:
Афзоиши вафли 6 дюймаи кремний: CZ, MCZ, FZ.
6 Синфи вафли кремний: Prime, Test, Dummy ва ғайра
Диаметри вафли 6 дюймаи кремний: 6 дюйм/150мм.
Ғафсӣ вафли 6 дюймаи кремний: 200 ~ 3000um.
Вафли 6 дюймаи кремнийӣ: Ҳамчун буридан, печонидашуда, кашидашуда, SSP, DSP ва ғайра.
Самти 6 дюймаи вафли кремний: (100) (111) (110) (531) (553) ва ғайра.
Вафли 6 дюймаи кремнийи бурида: то 4 дараҷа.
Навъи силикон вафли 6 дюйм/Допант: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic.
Муқовимати вафли кремнийи 6inch: CZ/MCZ: Аз 0,001 то 1000 Ом-см. FZ: то 20к Ом-см.
Плёнкаҳои тунуки 6дюймаи кремнийӣ: (а)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. ғ. Ғафсӣ пӯшиш то 20.000A/5%.
(б) LPCVD/PECVD: Оксид, Нитрид, siC ва ғ. Ғафсии рӯйпӯш то 200.000А/3%.
(в) Вафли эпитаксиалии кремний ва хидматҳои эпитаксиалӣ (SOS, GaN, GOI ва ғ.).
Равандҳои вафли 6 дюймаи кремний: a.DSP, ултра лоғар, ултра ҳамвор ва ғайра.
б.Коҳиш додан, дастос кардан, буридан ва ғ. MEMS.
Аз соли 2010, Шанхай XKH Material Tech. Co., Ltd ӯҳдадор шудааст, ки ба мизоҷон ҳалли ҳамаҷонибаи вафли 4-дюймаи Silicon Wafer, аз вафли сатҳи ислоҳи Dummy Wafer, вафли санҷишии тестӣ, то вафли сатҳи маҳсулот Prime Wafer, инчунин вафли махсус, вафли оксиди оксиди, Вафли нитридӣ Si3N4, Вафли алюминийи бофташуда, Вафли кремнийии мисӣ, SOI Wafer, MEMS Glass, пластинкаҳои фармоишии ултра ғафс ва ултра ҳамвор ва ғайра, ки андозаашон аз 50мм-300мм мебошанд ва мо метавонем вафли нимноқилро бо сайқал додани яктарафа / дуҷониба, тунуксозӣ, буридан, MEMS ва ғайра таъмин кунем. хизматрасониҳои коркард ва мутобиқсозӣ.
Диаграммаи муфассал


