Вафли истеҳсолии 8 дюймаи SiC, субстрати 4H-N SiC
Ҷадвали зерин хусусиятҳои вафлиҳои SiC-и 8 дюймаи моро нишон медиҳад:
| Мушаххасоти DSP-и навъи N-и 8 дюймаи SiC | |||||
| Рақам | Ашё | Воҳид | Истеҳсолот | Таҳқиқот | Манекен |
| 1: параметрҳо | |||||
| 1.1 | политип | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | самти сатҳ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Параметри барқӣ | |||||
| 2.1 | иловакунанда | -- | Нитрогени навъи n | Нитрогени навъи n | Нитрогени навъи n |
| 2.2 | муқовимат | ом ·см | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Параметри механикӣ | |||||
| 3.1 | диаметр | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ғафсӣ | мкм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Самти ночиз | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Чуқурии сӯрох | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | мкм | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤10 (10мм * 10мм) |
| 3.6 | TTV | мкм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Камон | мкм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Варп | мкм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Сохтор | |||||
| 4.1 | зичии микроқубур | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | таркиби металлӣ | атомҳо/см2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Сифати пешӣ | |||||
| 5.1 | пеш | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | анҷоми рӯйпӯш | -- | CMP-и рӯ ба рӯи Si | CMP-и рӯ ба рӯи Si | CMP-и рӯ ба рӯи Si |
| 5.3 | зарра | вафли | ≤100 (андоза≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | харошидан | вафли | ≤5, Дарозии умумӣ ≤200 мм | NA | NA |
| 5.5 | Канор пора-пора/дарунравӣ/тарқишҳо/доғҳо/ифлосшавӣ | -- | Ҳеҷ | Ҳеҷ | NA |
| 5.6 | Минтақаҳои политипӣ | -- | Ҳеҷ | Масоҳат ≤10% | Масоҳат ≤30% |
| 5.7 | аломатгузории пешӣ | -- | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ |
| 6: Сифати қафо | |||||
| 6.1 | анҷоми пушт | -- | MP-и шакли C-рӯй | MP-и шакли C-рӯй | MP-и шакли C-рӯй |
| 6.2 | харошидан | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Канори нуқсонҳои пушт чипҳо/дарунравҳо | -- | Ҳеҷ | Ҳеҷ | NA |
| 6.4 | Ноҳамвории пушт | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Аломатгузории пушт | -- | Нутч | Нутч | Нутч |
| 7: канор | |||||
| 7.1 | канор | -- | Пахм | Пахм | Пахм |
| 8: Баста | |||||
| 8.1 | бастабандӣ | -- | Эпи-тайёр бо вакуум бастабандӣ | Эпи-тайёр бо вакуум бастабандӣ | Эпи-тайёр бо вакуум бастабандӣ |
| 8.2 | бастабандӣ | -- | Вафли бисёрфунксионалӣ бастабандии кассетӣ | Вафли бисёрфунксионалӣ бастабандии кассетӣ | Вафли бисёрфунксионалӣ бастабандии кассетӣ |
Диаграммаи муфассал
Маҳсулоти марбут
Паёми худро дар ин ҷо нависед ва ба мо фиристед