8дюймаи SiC Истеҳсоли вафли 4H-N субстрати SiC

8дюймаи SiC истеҳсоли вафли дараҷаи 4H-N SiC субстрат Тасвири тавсифшуда

Тавсифи кӯтоҳ:

Субстратҳои 8-дюймаи SiC дар дастгоҳҳои электронии пуриқтидор, ба монанди MOSFETs (Tranzistors Field Oxide Seminoductor Field Effect), диодҳои Schottky ва дигар дастгоҳҳои нимноқили барқ истифода мешаванд.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Дар ҷадвали зерин тавсифи лавҳаҳои 8 дюймаи SiC мо нишон дода шудааст:

8дюймаи N-навъи SiC DSP Мушаххасоти
Шумораи	Адад	Воҳиди	Истехсолот	Тадқиқот	Думё
1: параметрҳо
1.1	политип	--	4H	4H	4H
1.2	самти рӯизаминӣ	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Параметри барқ
2.1	допант	--	Нитроген навъи n	Нитроген навъи n	Нитроген навъи n
2.2	муқовимат	ом ·см	0,015 ~ 0,025	0,01 ~ 0,03	NA
3: Параметри механикӣ
3.1	диаметр	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	ғафсӣ	мкм	500±25	500±25	500±25
3.3	Самти ченак	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Амиқӣ	mm	1 ~ 1,5	1 ~ 1,5	1 ~ 1,5
3.5	LTV	мкм	≤5(10мм*10мм)	≤5(10мм*10мм)	≤10(10мм*10мм)
3.6	TTV	мкм	≤10	≤10	≤15
3.7	камон	мкм	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Варп	мкм	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Сохтор
4.1	зичии микротруба	д/см2	≤2	≤10	≤50
4.2	таркиби металл	атом/см2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	д/см2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	д/см2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	д/см2	≤7000	≤10000	NA
5. Сифати пеш
5.1	пеш	--	Si	Si	Si
5.2	анҷом додани сатҳи	--	Си-чеҳраи CMP	Си-чеҳраи CMP	Си-чеҳраи CMP
5.3	зарра	ea/wafer	≤100 (андоза≥0.3μm)	NA	NA
5.4	харошидан	ea/wafer	≤5, Дарозии умумӣ≤200мм	NA	NA
5.5	Edge микросхемаҳои / indents / тарқишҳо / некӯтар / олудашавӣ	--	Ҳеҷ	Ҳеҷ	NA
5.6	Минтақаҳои политипӣ	--	Ҳеҷ	Майдон ≤10%	Майдон ≤30%
5.7	аломати пеши	--	Ҳеҷ	Ҳеҷ	Ҳеҷ
6: Сифати бозгашт
6.1	ба охир расидани бозгашт	--	C-чеҳраи депутат	C-чеҳраи депутат	C-чеҳраи депутат
6.2	харошидан	mm	NA	NA	NA
6.3	Камбудиҳои пушти сар микросхемаҳои / бандҳо	--	Ҳеҷ	Ҳеҷ	NA
6.4	Ноҳамвории пушти сар	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Нишони бозгашт	--	Ноч	Ноч	Ноч
7: канор
7.1	канор	--	Чамфер	Чамфер	Чамфер
8: Баста
8.1	бастабандӣ	--	Эпи-тайёр бо вакуум бастабандӣ	Эпи-тайёр бо вакуум бастабандӣ	Эпи-тайёр бо вакуум бастабандӣ
8.2	бастабандӣ	--	Мулти вафли бастаи кассета	Мулти вафли бастаи кассета	Мулти вафли бастаи кассета