Ғафсии диаметри 300x1.0 ммт Вафли ёқутӣ C-Plane SSP/DSP
Муаррифии қуттии вафли
| Маводҳои булӯрӣ | 99,999% аз Al2O3, покии баланд, монокристаллӣ, Al2O3 | |||
| Сифати булӯрӣ | Иловаҳо, аломатҳои блокӣ, дугоникҳо, ранг, микроҳубобчаҳо ва марказҳои парокандагӣ вуҷуд надоранд. | |||
| Диаметр | 2 дюйм | 3 дюйм | 4 дюйм | 6 дюйм ~ 12 дюйм |
| 50.8± 0.1мм | 76.2±0.2мм | 100±0.3мм | Мувофиқи муқаррароти истеҳсоли стандартӣ | |
| Ғафсӣ | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Аз ҷониби муштарӣ танзим карда мешавад |
| Самтгирӣ | Ҳамвории C (0001) ба ҳамвории M (1-100) ё ҳамвории A (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, ҳамвории R (1-1 0 2), ҳамвории A (1 1-2 0), ҳамвории M (1-1 0 0), Ҳар гуна самт, Ҳар гуна кунҷ | |||
| Дарозии ҳамвори ибтидоӣ | 16.0±1мм | 22.0±1.0мм | 32.5±1.5 мм | Мувофиқи муқаррароти истеҳсоли стандартӣ |
| Самти ҳамвории асосӣ | Ҳамвории А-шакл (1 1-2 0 ) ± 0.2° | |||
| TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| КАМОН | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Варп | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Сатҳи пешӣ | Эпи-сайқалёфта (Ra <0.2nm) | |||
*Кам: Инҳирофи нуқтаи марказии сатҳи миёнаи пластинаи озод ва бефишор аз сатҳи истинодӣ, ки дар он сатҳи истинодӣ бо се кунҷи секунҷаи баробарпаҳлӯ муайян карда мешавад.
*Вайрангӣ: Фарқи байни масофаҳои максималӣ ва минималии сатҳи миёнаи пластинаи озод ва бефишор аз сатҳи истинодии дар боло муайяншуда.
Маҳсулот ва хидматҳои баландсифат барои дастгоҳҳои нимноқилҳои насли оянда ва афзоиши эпитаксиалӣ:
Дараҷаи баланди ҳамворӣ (TTV-и назоратшаванда, камон, каҷ ва ғайра)
Тозакунии босифат (ифлосшавии ками зарраҳо, ифлосшавии ками металл)
Пармакунӣ, чуқурча кардан, буридан ва сайқал додани қисми поёнӣ
Замимаи маълумот ба монанди тозагӣ ва шакли субстрат (ихтиёрӣ)
Агар ба шумо субстратҳои ёқутӣ лозим бошанд, лутфан бо мо тамос гиред:
почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Мо ҳарчи зудтар ба шумо бармегардем!
Диаграммаи муфассал
