Вафли баландсифати омехтаи кварц барои нимноқилҳо, замимаҳои оптикии фотоникӣ 2″4″6″8″12″
Диаграммаи муфассал
Баррасии шишаи кварц
Вафли кварцӣ асоси дастгоҳҳои бешумори муосирро ташкил медиҳанд, ки ҷаҳони рақамии имрӯзаро пеш мебаранд. Аз навигатсия дар смартфони худ то пояи пойгоҳҳои пойгоҳи 5G, кварц оромӣ, покӣ ва дақиқро, ки дар электроника ва фотоникаи баландсифат лозим аст, таъмин мекунад. Новобаста аз он ки дастгирии схемаҳои чандир, имкон додани сенсорҳои MEMS ё ташаккул додани асос барои ҳисоббарории квантӣ, хусусиятҳои беназири кварц онро дар тамоми соҳаҳо ногузиранд.
"Кремнийи обшуда" ё "Кварси омехта", ки марҳилаи аморфии кварц аст (SiO2). Ҳангоми муқоиса бо шишаи боросиликатӣ, кремнийи омехташуда ҳеҷ гуна иловаҳо надорад; аз ин рӯ, он дар шакли софи худ SiO2 мавҷуд аст. Силикаи омехта дар муқоиса бо шишаи муқаррарӣ дар спектри инфрасурх ва ултрабунафш интиқоли баландтар дорад. Кремнийи омехта бо роҳи гудохтан ва дубора мустаҳкам кардани SiO2-и ултрасаф истеҳсол мешавад. Аз тарафи дигар, кремнии омехтаи синтетикӣ аз прекурсорҳои кимиёвии аз кремний бой ба монанди SiCl4 сохта шудааст, ки газ карда мешаванд ва сипас дар атмосфераи H2 + O2 оксид мешаванд. Ғубори SiO2, ки дар ин ҳолат ба вуҷуд омадааст, дар субстрат ба кремний омехта мешавад. Блокҳои кремнийи омехта ба вафли бурида мешаванд, ки пас аз он вафлиҳо ниҳоят сайқал дода мешаванд.
Хусусиятҳои асосӣ ва манфиатҳои шишаи кварц вафли
-
Ультра-баланд покӣ (≥99,99% SiO2)
Идеалӣ барои равандҳои ултра тозаи нимноқилҳо ва фотоникҳо, ки ифлосшавии мавод бояд ба ҳадди ақал расонида шавад. -
Диапазони васеи амалиёти гармидиҳӣ
Якпорчагии сохторро аз ҳарорати криогенӣ то зиёда аз 1100 °C бидуни вайроншавӣ ё таназзул нигоҳ медорад. -
Интиқоли барҷастаи ултрабунафш ва IR
Шаффофияти аълои оптикиро аз ултрабунафши амиқ (DUV) тавассути наздик-инфрасурх (NIR) медиҳад ва барномаҳои дақиқи оптикиро дастгирӣ мекунад. -
Коэффисиенти васеъшавии гармии паст
Устувории андозагириро дар зери тағирёбии ҳарорат беҳтар мекунад, стрессро коҳиш медиҳад ва эътимоднокии равандро беҳтар мекунад. -
Муқовимати олии кимиёвӣ
Ба аксари кислотаҳо, сілтҳо ва ҳалкунандаҳо ғайрифаъол буда, онро барои муҳити аз ҷиҳати химиявӣ хашмгин хуб мувофиқ месозад. -
чандирии анҷоми рӯизаминӣ
Бо ороишоти ултра ҳамвор, яктарафа ё дуҷониба, ки бо талаботи фотоника ва MEMS мувофиқанд, дастрас аст.
Раванди истеҳсоли вафли шишаи кварц
Вафли кварцӣ бо як қатор қадамҳои назоратшаванда ва дақиқ истеҳсол карда мешавад:
-
Интихоби ашёи хом
Интихоби манбаъҳои кварси табиӣ ё синтетикии SiO₂. -
Обшавӣ ва Fusion
Кварц дар ~ 2000 ° C дар печҳои барқӣ дар зери атмосфераи назоратшаванда гудохта мешавад, то дохилшавӣ ва футурҳоро нест кунад. -
Ташаккули блок
Кремний гудохта ба блокҳои сахт ё зарфҳо хунук карда мешавад. -
Буридани вафли
Арраҳои дақиқи алмос ё симӣ барои буридани зарфҳо ба варақҳо истифода мешаванд. -
Лавозиш ва сайқал додан
Ҳарду сатҳ ҳамвор ва сайқал дода шудаанд, то ба мушаххасоти дақиқи оптикӣ, ғафсӣ ва ноҳамворӣ мувофиқат кунанд. -
Тозакунӣ ва санҷиш
Вафлиҳо дар утоқҳои тозакунии Синфи ISO 100/1000 тоза карда мешаванд ва барои камбудиҳо ва мутобиқати андозаҳо аз санҷиши ҷиддӣ гузаронида мешаванд.
Хусусиятҳои вафли шишаи кварц
| мушаххас | воҳиди | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Диаметр / андоза (ё мураббаъ) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Таҳаммулпазирӣ (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Ғафсӣ | mm | 0,10 ё бештар | 0,30 ё бештар | 0,40 ё бештар | 0,50 ё бештар | 0,50 ё бештар |
| Квартираи ибтидоӣ | mm | 32.5 | 57.5 | Нимчунин | Нимчунин | Нимчунин |
| LTV (5мм × 5мм) | мкм | <0,5 | <0,5 | <0,5 | <0,5 | <0,5 |
| TTV | мкм | < 2 | < 3 | < 3 | <5 | <5 |
| камон | мкм | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Варп | мкм | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5мм×5мм) <0,4мкм | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Яклухткунии канор | mm | Бо стандарти SEMI M1.2 мувофиқ аст / ба IEC62276 муроҷиат кунед | ||||
| Навъи рӯизаминӣ | Ҷониби ягонаи Polished / Тарафҳои дукарата polished | |||||
| Тарафи сайқалёфта Ра | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Меъёрҳои паҳлӯ | мкм | умумӣ 0,2-0,7 ё фармоишгари | ||||
Кварц ва дигар маводҳои шаффоф
| Амвол | Шишаи кварц | Шишаи боросиликат | Сафир | Шишаи стандартӣ |
|---|---|---|---|---|
| Ҳарорати максималии амалиёт | ~1100°С | ~500°С | ~2000°С | ~200°С |
| Интиқоли ултрабунафш | Аъло (JGS1) | Бечора | Хуб | Хеле камбизоат |
| Муқовимати кимиёвӣ | Аъло | Муътадил | Аъло | Бечора |
| Покӣ | Хеле баланд | Кам то миёна | Баланд | Кам |
| Тавсеаи гармидиҳӣ | Хеле паст | Муътадил | Кам | Баланд |
| Арзиш | Миёна то баланд | Кам | Баланд | Хеле паст |
Саволҳо оид ба Кварц Glass Wafer
Саволи 1: Фарқи байни кварси омехта ва кремнийи омехта чӣ гуна аст?
Гарчанде ки ҳарду шаклҳои аморфии SiO₂ мебошанд, кварси омехта одатан аз манбаъҳои табиии кварц сарчашма мегирад, дар ҳоле ки кремнийи омехта ба таври синтетикӣ истеҳсол карда мешавад. Аз ҷиҳати функсионалӣ, онҳо иҷрои якхеларо пешниҳод мекунанд, аммо кремнийи омехта метавонад покӣ ва якхеларо каме баландтар дошта бошад.
Саволи 2: Оё вафли кварси омехташударо дар муҳитҳои вакууми баланд истифода бурдан мумкин аст?
Бале. Аз сабаби хосиятҳои пасти газбарорӣ ва муқовимати баланди гармӣ, вафли кварцӣ барои системаҳои вакуумӣ ва барномаҳои аэрокосмосӣ аъло мебошанд.
Саволи 3: Оё ин вафлиҳо барои барномаҳои лазерии ултрабунафш мувофиқанд?
Комилан. Кварси омехта дорои гузариши баланд то ~ 185 нм буда, онро барои оптикаи DUV, ниқобҳои литографӣ ва системаҳои лазерии эксимерӣ беҳтарин месозад.
Саволи 4: Оё шумо сохтани вафли фармоиширо дастгирӣ мекунед?
Бале. Мо мутобиқсозии пурраро пешниҳод менамоем, аз ҷумла диаметр, ғафсӣ, сифати рӯизаминӣ, ҳамворҳо/чархҳо ва намунаи лазерӣ, дар асоси талаботи мушаххаси дархости шумо.
Дар бораи мо
XKH ба коркарди технологияҳои баланд, истеҳсол ва фурӯши шишаи махсуси оптикӣ ва маводи нави булӯр тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва ҳарбӣ хизмат мекунанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, сарпӯши линзаҳои телефони мобилӣ, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Кварц ва пластинкаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи ботаҷриба ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва мақсад дорем, ки як корхонаи пешрафтаи технологӣ бо маводи оптоэлектронӣ бошем.
