12дюймаи Sapphire Wafer C-Plane SSP / DSP
Муаррифии қуттии вафли
Истехсоли вафли 12-дюймаи сапфир процесси мураккаб ва махсус мебошад. Инҳоянд чанд қадамҳои калидӣ дар истеҳсоли вафли 12-дюймаи сапфир:
Омода кардани кристаллҳои тухмӣ: Қадами аввал омода кардани кристалли тухмист, ки ҳамчун қолаб барои парвариши як кристалл сапфир амал мекунад. Кристали тухмӣ бодиққат шакл дода шудааст ва сайқал дода мешавад, то ҳамоҳангии дуруст ва ҳамвории рӯи заминро таъмин кунад.
Обшавии оксиди алюминий: Оксиди алюминийи тозагии баланд (Al2O3) дар тигел гудохта мешавад. Тигель маъмулан аз платина ё дигар маводи ғайрифаъол сохта мешавад, ки ба ҳарорати баланд тоб оварда метавонанд.
Рушди кристалл: Оксиди алюминии гудохта баъдан бо кристали тухмии омодашуда кишт карда мешавад ва ҳангоми нигоҳ доштани фазои назоратшаванда оҳиста сард мешавад. Ин раванд имкон медиҳад, ки кристали сапфир қабат ба қабат афзоиш ёбад ва як кристаллро ташкил диҳад.
Ташаккули ингот: Пас аз он ки кристалл ба андозаи дилхоҳ калон шуд, он аз тигел хориҷ карда мешавад ва ба як булӯри силиндрӣ шакл дода мешавад. Пас аз он, булка бодиққат ба вафли борик бурида мешавад.
Коркарди вафли: Вафли буридашуда барои ноил шудан ба ғафсӣ, сатҳи рӯизаминӣ ва сифати дилхоҳ ба равандҳои гуногун дучор мешаванд. Ин лопинг, сайқал додан ва планаризатсияи кимиёвӣ-механикӣ (CMP) барои бартараф кардани нуқсонҳои рӯизаминӣ ва ноил шудан ба ҳамворӣ ва ҳамвории заруриро дар бар мегирад.
Тоза ва санҷиш: Вафли коркардшуда барои тоза кардани ҳама гуна ифлоскунандаҳо тоза карда мешаванд. Сипас онҳо барои камбудиҳо ба монанди тарқишҳо, харошидан ва ифлосиҳо тафтиш карда мешаванд.
Бастабандӣ ва интиқол: Ниҳоят, вафлиҳои тафтишшуда бастабандӣ ва барои интиқол ба мизоҷон омода карда мешаванд, одатан дар боркашонҳои вафли, ки ҳангоми интиқол муҳофизатро таъмин мекунанд.
Бояд қайд кард, ки истеҳсоли вафли 12-дюймаи сапфир дар муқоиса бо андозаи хурдтари вафли метавонад таҷҳизоти махсус ва иншоотро талаб кунад. Раванд инчунин метавонад усулҳои пешрафтаро, аз қабили истиснои канор ва идоракунии стрессро барои таъмини якпорчагӣ ва сифати вафлиҳои калонтар дар бар гирад.
Агар шумо ба субстратҳои сапфир эҳтиёҷ дошта бошед, лутфан озодона тамос гиред:
почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Мо ҳарчи зудтар ба шумо бармегардем!
Диаграммаи муфассал
