LNOI Wafer (Ниобати литий дар изолятор) телекоммуникатсионӣ ҳискунандаи баланди электро-оптикӣ
Диаграммаи муфассал
Барраси
Дар дохили қуттии пластинка чуқуриҳои симметрӣ мавҷуданд, ки андозаҳои онҳо ба таври қатъӣ якхелаанд, то ду тарафи вафлиро дастгирӣ кунанд. Қуттии булӯр одатан аз маводи пластикии шаффоф PP сохта шудааст, ки ба ҳарорат, фарсудашавӣ ва қувваи статикӣ тобовар аст. Барои фарқ кардани сегментҳои коркарди металлӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо рангҳои гуногуни иловаҳо истифода мешаванд. Аз сабаби андозаи хурди калиди нимноқилҳо, намунаҳои зиччи ва талаботҳои хеле сахти андозаи зарраҳо дар истеҳсолот, қуттии вафли бояд муҳити тоза барои пайвастшавӣ ба қуттии реаксияи микромуҳитҳои мошинҳои гуногуни истеҳсолӣ кафолат дода шавад.
Методологияи истеҳсолӣ
Истеҳсоли вафли LNOI аз якчанд марҳилаҳои дақиқ иборат аст:
Қадами 1: Имплантатсияи ионҳои гелийИонҳои гелий ба кристаллҳои бузурги LN бо истифода аз имплантери ион ворид карда мешаванд. Ин ионҳо дар чуқурии мушаххас ҷойгир шуда, як ҳавопаймои заифро ташкил медиҳанд, ки дар ниҳоят ҷудошавии филмро осон мекунанд.
Қадами 2: Ташаккули субстратЯк кремнийи алоҳида ё вафли LN оксид карда мешавад ё бо SiO2 бо истифода аз PECVD ё оксидшавии гармӣ қабати карда мешавад. Сатҳи болоии он барои пайвастани оптималӣ ба нақша гирифта шудааст.
Қадами 3: Пайвасткунии LN ба субстратКристали бо ион имплантатсияшуда LN бо истифода аз пайванди мустақими вафли парпеч карда мешавад ва ба вафли асосӣ часпонида мешавад. Дар муҳити тадқиқот, бензоциклобутен (BCB) метавонад ҳамчун часпак барои содда кардани пайвастшавӣ дар шароити камтар сахт истифода шавад.
Қадами 4: Табобати гармидиҳӣ ва ҷудо кардани филмТабобат ташаккули ҳубобчаро дар умқи имплантатсия фаъол мекунад ва имкон медиҳад, ки плёнкаи тунук (қабати болоии LN) аз массаи калон ҷудо шавад. Барои ба охир расондани эксфолиация кувваи механикй ба кор бурда мешавад.
Қадами 5: Парвариши рӯизаминӣПолиши механикии химиявӣ (CMP) барои ҳамвор кардани сатҳи болоии LN, беҳтар кардани сифати оптикӣ ва ҳосили дастгоҳ истифода мешавад.
Параметрҳои техникӣ
| Материал | Оптикӣ Синф LiNbO3 вафс (Сафед or сиёҳ) | |
| Кюри Ҳарорат | 1142±0,7℃ | |
| Буридан Кунҷ | X/Y/Z ва ғайра | |
| Диаметр / андоза | 2"/3"/4" ±0,03мм | |
| Тол(±) | <0,20 мм ±0,005 мм | |
| Ғафсӣ | 0,18 ~ 0,5 мм ё бештар | |
| ибтидоӣ Ҳамвор | 16мм/22мм/32мм | |
| TTV | <3мкм | |
| камон | -30 | |
| Варп | <40мкм | |
| Ориентация Ҳамвор | Ҳама дастрас | |
| Сатҳи Навъи | Якҷонибаи сайқалёфта (SSP)/Ҷонибҳои дукарата (DSP) | |
| Сайёрдашуда тараф Ra | <0,5нм | |
| С/Д | 20/10 | |
| Edge Меъёрҳо | R = 0,2мм навъи C or Булносе | |
| Сифат | Озод of тарқиш (ҳубобҳо ва дохилшавӣ) | |
| Оптикӣ допинг | Mg/Fe/Zn/MgO ва ғайра барои оптикӣ синф Л.Н вафельхо пер дархост кард | |
| Вафель Сатҳи Меъёрҳо | Индекси рефрактивӣ | Не = 2.2878 / Ne = 2.2033 @ 632nm дарозии мавҷ / усули пайвасткунаки призма. |
| ифлосшавӣ, | Ҳеҷ | |
| Зарраҳо c>0,3μ m | <=30 | |
| Харошидан, чипта кардан | Ҳеҷ | |
| Камбудӣ | Ҳеҷ гуна тарқишҳо, харошидан, аломатҳои арра, доғҳо вуҷуд надорад | |
| Бастабандӣ | Қуттии миқдор/Вафель | 25 дона дар як қуттӣ |
Ҳолатҳои истифода
Аз сабаби универсалӣ ва иҷрои он, LNOI дар бисёр соҳаҳои саноат истифода мешавад:
Фотоника:Модуляторҳои паймон, мултиплексорҳо ва схемаҳои фотоникӣ.
РФ/Акустика:Модуляторҳои акусто-оптикӣ, филтрҳои RF.
Ҳисобкунии квантӣ:Миксерҳои басомади ғайрихаттӣ ва генераторҳои фотон-ҷуфт.
Мудофиа ва аэрокосмос:Гиросҳои оптикии камтараф, дастгоҳҳои ивазкунандаи басомад.
Таҷҳизоти тиббӣ:Биосенсорҳои оптикӣ ва зондҳои сигнали басомади баланд.
Саволҳои зиёд такрормешуда
Савол: Чаро LNOI дар системаҳои оптикӣ аз SOI бартарӣ дорад?
A:LNOI дорои коэффисиентҳои олии электро-оптикӣ ва диапазони васеътари шаффофият мебошад, ки имкон медиҳад иҷрои баландтар дар схемаҳои фотоникӣ.
Савол: Оё CMP пас аз тақсимшавӣ ҳатмӣ аст?
A:Бале. Сатҳи фошшудаи LN пас аз буридани ион ноҳамвор аст ва бояд барои қонеъ кардани мушаххасоти оптикӣ сайқал дода шавад.
Савол: Андозаи максималии вафли дастрас чанд аст?
A:Вафли тиҷоратии LNOI асосан 3" ва 4" мебошанд, гарчанде ки баъзе таъминкунандагон вариантҳои 6"-ро таҳия мекунанд.
Савол: Оё қабати LN-ро пас аз тақсимшавӣ дубора истифода бурдан мумкин аст?
A:Кристали асосиро чанд маротиба дубора сайқал додан ва аз нав истифода бурдан мумкин аст, гарчанде ки сифат пас аз давраҳои сершумор метавонад паст шавад.
Савол: Оё вафли LNOI бо коркарди CMOS мувофиқ аст?
A:Бале, онҳо барои мутобиқ шудан бо равандҳои анъанавии истеҳсоли нимноқилҳо тарҳрезӣ шудаанд, хусусан вақте ки субстратҳои кремний истифода мешаванд.
