LNOI Wafer (литий ниобат дар изолятор) Телекоммуникатсионӣ, ки электрооптикии баландсифати ҳассос дорад
Диаграммаи муфассал
Шарҳи умумӣ
Дар дохили қуттии вафл чуқурчаҳои симметрӣ мавҷуданд, ки андозаҳои онҳо барои дастгирии ду тарафи вафл якхелаанд. Қуттии булӯрӣ одатан аз маводи PP-и пластикии шаффоф сохта шудааст, ки ба ҳарорат, фарсудашавӣ ва барқи статикӣ тобовар аст. Барои фарқ кардани сегментҳои раванди металлӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо рангҳои гуногуни иловаҳо истифода мешаванд. Аз сабаби андозаи хурди калидии нимноқилҳо, нақшҳои зич ва талаботи хеле қатъии андозаи зарраҳо дар истеҳсолот, қуттии вафл бояд муҳити тоза барои пайваст шудан ба ковокии реаксияи қуттии муҳити микромуҳити мошинҳои гуногуни истеҳсолӣ кафолат дода шавад.
Усули истеҳсолот
Истеҳсоли лавҳаҳои LNOI аз якчанд марҳилаҳои мушаххас иборат аст:
Қадами 1: Имплантатсияи иони гелийИонҳои гелий бо истифода аз имплантатсияи ион ба кристалли LN-и калон ворид карда мешаванд. Ин ионҳо дар чуқурии муайян ҷойгир шуда, сатҳи сустшударо ташкил медиҳанд, ки дар ниҳоят ҷудошавии плёнкаро осон мекунад.
Қадами 2: Ташаккули зеризаминии асосӣЯк лавҳаи алоҳидаи кремний ё LN бо истифода аз PECVD ё оксиди термикӣ бо SiO2 оксид ё қабат карда мешавад. Сатҳи болоии он барои пайвастшавии оптималӣ ҳамвор карда шудааст.
Қадами 3: Пайваст кардани LN ба субстратКристали LN-и бо ион имплантатсияшуда гардонида шуда, бо истифода аз пайванди мустақими ваферӣ ба вафли асосӣ пайваст карда мешавад. Дар шароити тадқиқотӣ, бензоциклобутен (BCB) метавонад ҳамчун часпанда барои содда кардани пайванд дар шароити камтар сахт истифода шавад.
Қадами 4: Коркарди гармӣ ва ҷудо кардани плёнкаТафсондан ташаккули ҳубобчаҳоро дар чуқурии ҷойгиршуда фаъол мекунад ва имкон медиҳад, ки плёнкаи тунук (қабати болоии LN) аз ҳаҷми асосӣ ҷудо карда шавад. Барои анҷом додани эксфолиатсия қувваи механикӣ истифода мешавад.
Қадами 5: Сайқал додани сатҳСайқалдиҳии механикии кимиёвӣ (CMP) барои ҳамвор кардани сатҳи болоии LN истифода мешавад, ки сифати оптикӣ ва ҳосилнокии дастгоҳро беҳтар мекунад.
Параметрҳои техникӣ
| Мавод | Оптикӣ Синф LiNbO3 вафлҳо (сафед) or Сиёҳ) | |
| Кюри Ҳарорат | 1142±0.7℃ | |
| Буридан кунҷ | X/Y/Z ва ғайра | |
| Диаметр/андоза | 2”/3”/4” ±0.03мм | |
| Тол(±) | <0.20 мм ±0.005 мм | |
| Ғафсӣ | 0.18 ~ 0.5 мм ё бештар | |
| Ибтидоӣ Ҳамвор | 16мм/22мм/32мм | |
| TTV | <3μm | |
| Камон | -30 | |
| Варп | <40μm | |
| Самтгирӣ Ҳамвор | Ҳама дастрасанд | |
| Рӯйпӯш Навъ | Яктарафа сайқалёфта (SSP) / Дутарафа сайқалёфта (DSP) | |
| Сайқалёфта тараф Ra | <0.5нм | |
| С/Д | 20/10 | |
| Канор Меъёрҳо | R=0.2мм Навъи C or Буғум | |
| Сифат | Ройгон of тарқиш (ҳубобчаҳо) ва дохилкуниҳо) | |
| Оптикӣ донадоршуда | Mg/Fe/Zn/MgO ва ғайра барои оптикӣ синф ЛН вафлиҳо ба дархостшуда | |
| Вафли Рӯйпӯш Меъёрҳо | Нишондиҳандаи шикаст | Усули пайвасткунандаи дарозии мавҷ/призма бо истифода аз No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm. |
| Олудашавӣ, | Ҳеҷ | |
| Зарраҳо c>0.3μ m | <=30 | |
| Харошидан, пора шудан | Ҳеҷ | |
| Камбудӣ | Бе тарқишҳои канорӣ, харошиданҳо, нишонаҳои арра ва доғҳо | |
| Бастабандӣ | Миқдор/қуттии вафлӣ | 25 дона дар як қуттӣ |
Ҳолатҳои истифода
Аз сабаби чандирӣ ва самаранокии худ, LNOI дар бисёр соҳаҳо истифода мешавад:
Фотоника:Модуляторҳои компактӣ, мултиплексорҳо ва схемаҳои фотонӣ.
Радио/Акустика:Модуляторҳои акустооптикӣ, филтрҳои RF.
Ҳисоббарории квантӣ:Миксерҳои басомади ғайрихаттӣ ва генераторҳои ҷуфти фотонҳо.
Мудофиа ва аэрокосмос:Гиросҳои оптикии камталотум, дастгоҳҳои тағйирдиҳандаи басомад.
Дастгоҳҳои тиббӣ:Биосенсорҳои оптикӣ ва зондҳои сигнали басомади баланд.
Саволҳои зиёд такрормешуда
С: Чаро дар системаҳои оптикӣ LNOI нисбат ба SOI афзалтар аст?
A:LNOI дорои коэффисиентҳои олии электрооптикӣ ва диапазони васеътари шаффофият мебошад, ки имкон медиҳад, ки дар схемаҳои фотонӣ самаранокии баландтар ба даст оварда шавад.
С: Оё CMP пас аз тақсимшавӣ ҳатмист?
A:Бале. Сатҳи LN-и фошшуда пас аз буридани ион ноҳамвор аст ва барои мувофиқат ба хусусиятҳои дараҷаи оптикӣ бояд сайқал дода шавад.
С: Андозаи ҳадди аксари вафли мавҷудбуда кадом аст?
A:Вафлиҳои тиҷоратии LNOI асосан 3 дюйм ва 4 дюйм мебошанд, гарчанде ки баъзе таъминкунандагон вариантҳои 6 дюймаро таҳия мекунанд.
С: Оё қабати LN-ро пас аз тақсимкунӣ дубора истифода бурдан мумкин аст?
A:Кристалли асосӣ метавонад якчанд маротиба дубора сайқал дода ва дубора истифода шавад, гарчанде ки сифат пас аз якчанд давра метавонад паст шавад.
С: Оё вафлиҳои LNOI бо коркарди CMOS мувофиқанд?
A:Бале, онҳо барои мутобиқ шудан бо равандҳои анъанавии истеҳсоли нимноқилҳо тарҳрезӣ шудаанд, хусусан вақте ки субстратҳои кремний истифода мешаванд.
