Таҷҳизоти технологияи лазерии Microjet буридани вафли коркарди маводи SiC
Принсипи корӣ:
1. Пайвасткунии лазерӣ: лазери импулсӣ (ултрабунафш/сабз/инфрасурх) дар дохили ҷараёни моеъ барои ташкили канали устувори интиқоли энергия равона карда шудааст.
2. Роҳнамоии моеъ: ҷараёни баландсуръат (суръати ҷараён 50-200 м/с) минтақаи коркардро хунук мекунад ва партовҳоро тоза мекунад, то аз ҷамъшавии гармӣ ва ифлосшавӣ пешгирӣ карда шавад.
3. Тозакунии мавод: Энергияи лазерӣ дар моеъ таъсири кавитатсияро ба вуҷуд меорад, то коркарди хунуки маводро ба даст орад (минтақаи таъсири гармӣ <1μm).
4. Идоракунии динамикӣ: танзими параметрҳои лазер (қувва, басомад) ва фишори реактивӣ дар вақти воқеӣ барои қонеъ кардани ниёзҳои маводҳо ва сохторҳои гуногун.
Параметрҳои асосӣ:
1. Қувваи лазерӣ: 10-500W (танзимшаванда)
2. Диаметри ҷараён: 50-300μm
3. Дақиқии коркард: ±0.5μm (буридан), таносуби умқ ба паҳно 10:1 (пармакунӣ)
Бартариҳои техникӣ:
(1) Қариб сифр зарари гармӣ
- Хунуккунии моеъ минтақаи таъсири гармиро (HAZ) то **<1μm** назорат мекунад ва аз тарқишҳои хурд, ки дар натиҷаи коркарди анъанавии лазерӣ ба вуҷуд меоянд (HAZ одатан >10μm аст), пешгирӣ мекунад.
(2) Коркарди дақиқи ултра баланд
- Дақиқии буриш/пармакунӣ то **±0.5μm**, ноҳамвории канор Ra <0.2μm, ниёз ба сайқалдиҳии минбаъдаро кам мекунад.
- Дастгирии коркарди мураккаби сохтори сеченака (ба монанди сӯрохиҳои конусӣ, слотҳои шаклдор).
(3) Мутобиқати васеи мавод
- Маводҳои сахт ва шикананда: SiC, ёқут, шиша, сафол (усулҳои анъанавӣ ба осонӣ шикаста мешаванд).
- Маводҳои ба гармӣ ҳассос: полимерҳо, бофтаҳои биологӣ (хатари денатуратсияи гармӣ вуҷуд надорад).
(4) Ҳифзи муҳити зист ва самаранокӣ
- Ифлосшавии чанг вуҷуд надорад, моеъро коркард ва филтр кардан мумкин аст.
- Афзоиши 30%-50% суръати коркард (нисбат ба коркарди мошинҳо).
(5) Назорати интеллектуалӣ
- Мавқеъгирии визуалии ҳамгирошуда ва беҳсозии параметрҳои зеҳни сунъӣ, ғафсӣ ва нуқсонҳои мавод бо мутобиқшавӣ.
Хусусиятҳои техникӣ:
| Садои рӯи миз | 300*300*150 | 400*400*200 |
| Меҳвари хаттии XY | Моторӣ хаттӣ. Моторӣ хаттӣ | Моторӣ хаттӣ. Моторӣ хаттӣ |
| Меҳвари хаттии Z | 150 | 200 |
| Дақиқии ҷойгиркунӣ мкм | +/-5 | +/-5 |
| Дақиқии такрории ҷойгиркунӣ мкм | +/-2 | +/-2 |
| Шитоби G | 1 | 0.29 |
| Назорати рақамӣ | 3 меҳвар /3+1 меҳвар /3+2 меҳвар | 3 меҳвар /3+1 меҳвар /3+2 меҳвар |
| Навъи назорати рақамӣ | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
| Дарозии мавҷ nm | 532/1064 | 532/1064 |
| Қувваи номиналӣ W | 50/100/200 | 50/100/200 |
| Ҷараёни об | 40-100 | 40-100 |
| Фишори сатри сопло | 50-100 | 50-600 |
| Андозаҳо (асбоби дастгоҳ) (паҳно * дарозӣ * баландӣ) мм | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
| Андоза (қуттии идоракунӣ) (П * Л * Баландӣ) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
| Вазн (таҷҳизот) Т | 2.5 | 3 |
| Вазн (қуттии идоракунӣ) KG | 800 | 800 |
| Қобилияти коркард | Ноҳамвории сатҳӣ Ra≤1.6um Суръати кушодан ≥1.25мм/с Буридани доира ≥6мм/с Суръати буриши хаттӣ ≥50мм/с | Ноҳамвории сатҳӣ Ra≤1.2um Суръати кушодан ≥1.25мм/с Буридани доира ≥6мм/с Суръати буриши хаттӣ ≥50мм/с |
| Барои кристаллҳои нитриди галлий, маводҳои нимноқилҳои ултра васеъ бо фосилаи банд (оксиди алмос/галлий), маводҳои махсуси аэрокосмӣ, субстрати керамикии карбонии LTCC, фотоэлектрикӣ, кристаллҳои сцинтилляторӣ ва дигар маводҳои коркардшаванда. Эзоҳ: Иқтидори коркард вобаста ба хусусиятҳои мавод фарқ мекунад
| ||
Парвандаи коркард:
Хизматрасониҳои XKH:
XKH барои таҷҳизоти технологияи лазерии микроҷетӣ маҷмӯи пурраи хидматрасонии давраи ҳаётро пешниҳод мекунад, аз таҳияи равандҳои барвақт ва машварати интихоби таҷҳизот то ҳамгироии системаҳои фармоишии миёнамӯҳлат (аз ҷумла мувофиқати махсуси манбаи лазерӣ, системаи реактивӣ ва модули автоматизатсия) то омӯзиши амалиёт ва нигоҳдории баъдӣ ва беҳсозии пайвастаи раванд, тамоми раванд бо дастгирии дастаи касбии техникӣ муҷаҳҳаз аст; Бар асоси 20 соли таҷрибаи дақиқи коркард, мо метавонем роҳҳои ҳалли якдафъаина, аз ҷумла санҷиши таҷҳизот, ҷорӣ намудани истеҳсоли оммавӣ ва вокуниши фаврии пас аз фурӯш (24 соат дастгирии техникӣ + захираи қисмҳои эҳтиётии калидӣ)-ро барои соҳаҳои гуногун, ба монанди нимноқилҳо ва тиб, пешниҳод кунем ва кафолати 12-моҳа ва хидматрасонии якумрии нигоҳдорӣ ва навсозиро ваъда диҳем. Боварӣ ҳосил кунед, ки таҷҳизоти муштариён ҳамеша самаранокии коркард ва устувории пешбари соҳаро нигоҳ медорад.
Диаграммаи муфассал









