Субстратҳои таркибии N-Type SiC Dia6inch монокристалии баландсифат ва субстрати пастсифат
Substrates Composite N-Type SiC Ҷадвали параметрҳои умумӣ
项目Ададҳо | 指标Мушаххасот | 项目Ададҳо | 指标Мушаххасот |
直径Диаметр | 150±0,2мм | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Ноҳамвории пеши (Si-чеҳра). | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
晶型Политип | 4H | Edge Chip, Scratch, Crack (санҷиши визуалӣ) | Ҳеҷ |
电阻率Муқовимат | 0,015-0,025 Ом ·см | 总厚度变化TTV | ≤3мкм |
Ғафсии қабати интиқол | ≥0,4мкм | 翘曲度Варп | ≤35мкм |
空洞Бекор | ≤5ea / вафли (2мм>D>0,5мм) | 总厚度Ғафсӣ | 350±25мкм |
Нишони "намуди N" ба навъи допинг дар маводи SiC истифода мешавад. Дар физикаи нимноқилҳо допинг қасдан ворид кардани ифлосҳоро ба нимноқил барои тағир додани хосиятҳои электрикии он дар бар мегирад. Допинги навъи N унсурҳоеро ҷорӣ мекунад, ки зиёдатии электронҳои озодро таъмин мекунанд ва ба мавод консентратсияи интиқолдиҳандаи заряди манфӣ медиҳанд.
Бартариҳои субстратҳои таркибии N-навъи SiC иборатанд аз:
1. Иҷрои ҳарорати баланд: SiC дорои гузариши гармии баланд аст ва метавонад дар ҳарорати баланд кор кунад, ки онро барои барномаҳои электронии баланд-қудрат ва басомади баланд мувофиқ созад.
2. Шиддати баланди вайроншавӣ: Маводҳои SiC дорои шиддати баланди шикаста мебошанд, ки ба онҳо имкон медиҳад, ки ба майдонҳои баланди электрикӣ бидуни шикасти барқ тоб оранд.
3. Муқовимат ба кимиёвӣ ва муҳити зист: SiC аз ҷиҳати кимиёвӣ тобовар аст ва метавонад ба шароити сахти муҳити зист тоб оварда, онро барои истифода дар барномаҳои душвор мувофиқ созад.
4. Камшавии талафоти барқ: Дар муқоиса бо маводҳои анъанавии бар кремний асосёфта, субстратҳои SiC табдили самараноки нерӯи барқро имкон медиҳанд ва талафоти нерӯи барқро дар дастгоҳҳои электронӣ кам мекунанд.
5. Фосилаи васеъ: SiC дорои фосилаи васеъ мебошад, ки имкон медиҳад, ки дастгоҳҳои электроние, ки метавонанд дар ҳарорати баландтар ва зичии баландтар кор кунанд.
Дар маҷмӯъ, субстратҳои таркибии навъи N SiC барои таҳияи дастгоҳҳои электронии баландсифат бартариҳои назаррас пешкаш мекунанд, махсусан дар барномаҳое, ки амалиёти ҳарорати баланд, зичии баланди нерӯ ва табдили самараноки нерӯ муҳиманд.