Субстратҳои таркибии навъи N SiC Dia6inch Монокристаллии баландсифат ва субстрати пастсифат
Субстратҳои таркибии навъи N SiC Ҷадвали параметрҳои умумӣ
| 项目Ашёҳо | 指标Мушаххасот | 项目Ашёҳо | 指标Мушаххасот |
| 直径Диаметр | 150±0.2мм | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Ноҳамвории пеш (рӯи Si) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
| 晶型Политип | 4H | Чип, харошидан, тарқиш (санҷиши визуалӣ) | Ҳеҷ |
| 电阻率Муқовимат | 0.015-0.025 ом ·см | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
| Ғафсии қабати интиқол | ≥0.4μm | 翘曲度Варп | ≤35μm |
| 空洞Беэътибор | ≤5ea/вафли (2мм>D>0.5мм) | 总厚度Ғафсӣ | 350±25μm |
Нишони "навъи N" ба намуди допинг, ки дар маводҳои SiC истифода мешавад, ишора мекунад. Дар физикаи нимноқилҳо, допинг ворид кардани қасдан ифлосҳоро ба нимноқил барои тағир додани хосиятҳои электрикии он дар бар мегирад. Допинги навъи N унсурҳоеро ворид мекунад, ки электронҳои озоди зиёдатиро таъмин мекунанд ва ба мавод консентратсияи интиқолдиҳандаи заряди манфӣ медиҳанд.
Бартариҳои субстратҳои композитии навъи N-SiC инҳоянд:
1. Иҷрои ҳарорати баланд: SiC дорои гузаронандагии гармии баланд аст ва метавонад дар ҳарорати баланд кор кунад, ки онро барои барномаҳои электронии баландқудрат ва басомади баланд мувофиқ мегардонад.
2. Шиддати баланди вайроншавӣ: Маводҳои SiC дорои шиддати баланди вайроншавӣ мебошанд, ки ба онҳо имкон медиҳад, ки майдонҳои баланди электрикиро бидуни вайроншавии барқӣ тоб оранд.
3. Муқовимати кимиёвӣ ва муҳити зист: SiC аз ҷиҳати кимиёвӣ тобовар аст ва метавонад ба шароити сахти муҳити зист тоб оварад, ки онро барои истифода дар барномаҳои душвор мувофиқ мегардонад.
4. Кам кардани талафоти нерӯ: Дар муқоиса бо маводҳои анъанавии кремний, субстратҳои SiC имкон медиҳанд, ки табдили самараноктари нерӯ ба амал ояд ва талафоти нерӯро дар дастгоҳҳои электронӣ кам кунанд.
5. Фосилаи васеи банд: SiC дорои фосилаи васеи банд аст, ки имкон медиҳад дастгоҳҳои электронӣ таҳия карда шаванд, ки метавонанд дар ҳарорати баландтар ва зичии баланди барқ кор кунанд.
Умуман, субстратҳои таркибии навъи N-SiC барои таҳияи дастгоҳҳои электронии баландсифат бартариҳои назаррас доранд, хусусан дар барномаҳое, ки кори ҳарорати баланд, зичии баланди қувва ва табдили самараноки қувва муҳиманд.