Вафли P-навъи SiC 4H/6H-P 3C-N 6 дюйм ғафсӣ 350 мкм бо самти ибтидоии ҳамвор
Мушаххасоти4H/6H-P Type SiC Substrates Composite Ҷадвали параметрҳои умумӣ
6 диаметри дюйм кремний карбиди (SiC) Substrate Мушаххасот
Синф | Истеҳсоли сифр MPDСинфи (З Синф) | Истеҳсоли стандартӣСинф (С Синф) | Дараҷаи мӯд (D Синф) | ||
Диаметр | 145,5 мм ~ 150,0 мм | ||||
Ғафсӣ | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
Самти вафли | -Offмеҳвар: 2,0°-4,0° ба сӯи [1120] ± 0,5° барои 4H/6H-P, Дар меҳвар:〈111〉± 0,5° барои 3C-N | ||||
Зичии микроқубур | 0 см-2 | ||||
Муқовимат | навъи p 4H/6H-P | ≤0,1 Омꞏсм | ≤0,3 Омꞏсм | ||
n-навъи 3C-N | ≤0,8 мΩꞏсм | ≤1 м Ωꞏсм | |||
Самти ибтидоии ҳамвор | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3С-Н | -{110} ± 5,0° | ||||
Дарозии ибтидоии ҳамвор | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
Дарозии дуюмдараҷаи ҳамвор | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
Самти дуюмдараҷаи ҳамвор | Силикон рӯ ба боло: 90° CW. аз Сарвазири ҳамвор ± 5,0 ° | ||||
Истиснои канор | 3 мм | 6 мм | |||
LTV / TTV / Камон / Warp | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
Ноҳамворӣ | Лаҳистон Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
Тарқишҳои Edge бо нури шиддатнокии баланд | Ҳеҷ | Дарозии ҷамъшуда ≤ 10 мм, дарозии ягона≤2 мм | |||
Плитаҳои шонздаҳӣ бо нури баландшиддат | Майдони ҷамъшуда ≤0,05% | Майдони ҷамъшуда ≤0,1% | |||
Майдонҳои политипӣ бо нури баландшиддат | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤3% | |||
Воситаҳои визуалии карбон | Майдони ҷамъшуда ≤0,05% | Майдони ҷамъшуда ≤3% | |||
Харошидани сатҳи кремний бо нури шадид | Ҳеҷ | Дарозии ҷамъшуда≤1 × диаметри вафли | |||
Микросхемаҳои Edge бо нури шиддати баланд | Ҳеҷ кадоме ба паҳнои ≥0,2 мм ва умқи иҷозат дода намешавад | 5 иҷозат дода шудааст, ҳар як ≤1 мм | |||
Олудашавии сатҳи кремний бо шиддатнокии баланд | Ҳеҷ | ||||
Бастабандӣ | Кассетаи бисёрвафли ё контейнери ягонаи вафли |
Эзоҳҳо:
※ Маҳдудияти нуқсонҳо ба тамоми сатҳи вафли, ба истиснои минтақаи истиснои канор, татбиқ мешаванд. # Харошидан бояд дар рӯи Si тафтиш карда шавад о
Вафли P-намуди SiC, 4H/6H-P 3C-N, бо андозаи 6 дюйм ва ғафсии он 350 мкм, дар истеҳсоли саноатии электроникаи пуриқтидори барқ нақши муҳим мебозад. Қобилияти аълои гармидиҳӣ ва шиддати баланди шикастани он онро барои истеҳсоли ҷузъҳо, аз қабили коммутаторҳои барқ, диодҳо ва транзисторҳо, ки дар муҳити ҳарорати баланд, ба монанди мошинҳои барқӣ, шабакаҳои барқ ва системаҳои барқароршавандаи энергия истифода мешаванд, беҳтарин месозад. Қобилияти самаранок кор кардани вафли дар шароити вазнин иҷрои боэътимодро дар барномаҳои саноатие, ки зичии баланди нерӯ ва самаранокии энергетикиро талаб мекунанд, таъмин мекунад. Илова бар ин, самти ибтидоии ҳамвории он ба ҳамоҳангсозии дақиқ ҳангоми сохтани дастгоҳ, баланд бардоштани самаранокии истеҳсолот ва мутобиқати маҳсулот мусоидат мекунад.
Бартариҳои субстратҳои таркибии N-навъи SiC иборатанд
- Гармигузаронии баланд: Вафли P-намуди SiC гармиро ба таври муассир пароканда мекунад ва онҳоро барои барномаҳои ҳарорати баланд беҳтарин мегардонад.
- Шиддати баланди шикаста: Қобилияти тоб додан ба шиддати баланд, таъмини эътимоднокии электроникаи барқ ва дастгоҳҳои баландшиддат.
- Муқовимат ба муҳити сахт: Муқовимати аъло дар шароити шадид, ба монанди ҳарорати баланд ва муҳити зангзананда.
- Табдили самараноки нерӯ: Допинги навъи P ба коркарди самараноки қувваи барқ мусоидат намуда, вафлиро барои системаҳои табдилдиҳии энергия мувофиқ месозад.
- Самти ибтидоии ҳамвор: Ҳамоҳангсозии дақиқро дар вақти истеҳсол таъмин мекунад, дақиқӣ ва мутобиқати дастгоҳро беҳтар мекунад.
- Сохтори борик (350 мкм): Ғафсии оптималии вафли ҳамгироиро ба дастгоҳҳои электронии пешрафта ва фазои маҳдуд дастгирӣ мекунад.
Дар маҷмӯъ, вафли P-tip SiC, 4H/6H-P 3C-N, як қатор бартариҳоро пешниҳод мекунад, ки онро барои барномаҳои саноатӣ ва электронӣ хеле мувофиқ мекунанд. Кобилияти баланди гармигузаронӣ ва шиддати шикастани он имкон медиҳад, ки кори боэътимод дар муҳитҳои ҳарорати баланд ва баландшиддат, дар ҳоле ки муқовимати он ба шароити сахт устувориро таъмин мекунад. Допинги навъи P ба табдили самараноки нерӯ имкон медиҳад, ки онро барои электроникаи энергетикӣ ва системаҳои энергетикӣ беҳтарин месозад. Илова бар ин, самти ибтидоии ҳамвори вафли ҳамворкунии дақиқро дар ҷараёни истеҳсолот таъмин намуда, мутобиқати истеҳсолотро беҳтар мекунад. Бо ғафсии 350 мкм, он барои ҳамгироӣ ба дастгоҳҳои пешрафта ва паймон мувофиқ аст.