Вафери шишагини кварц JGS1 JGS2 BF33 вафли 8 дюйм 12 дюйм 725 ± 25 um ё фармоишӣ
Мушаххасот
Spec | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
Диаметр | 100мм | 150мм | 200мм | 250мм | 300мм |
Ғафсӣ | 0,10мм | 0,30мм | 0,40мм | 0,50мм | 0,50мм |
Квартираи ибтидоӣ | 32,5мм | 47,5мм / 57,5мм / Ноч | Ноч | Ноч | Ноч |
LTV (5ммх5мм) | <0,5ум | <0,5ум | <0,5ум | <0,5ум | <0,5ум |
TTV | <2ум | <3ум | <3ум | <10ум | <10ум |
камон | ±20ум | ±30ум | ±40ум | ±40ум | ±40ум |
Варп | ≤ 30ум | ≤ 40ум | ≤ 70ум | ≤ 80ум | ≤ 80ум |
Якчандкунии канор | Бо стандарти SEMI M1.2 мувофиқ аст/ба IEC62276 муроҷиат кунед | ||||
Навъи рӯизаминӣ | Ҷониби ягонаи Polished / Тарафҳои дукарата polished | ||||
Тарафи сайқалёфта Ра | Ра≤1нм | ||||
Меъёрҳои тарафи қафо | Ra 0.2-0.7um ё фармоишӣ |
Кварц Glass Wafer JGS1 JGS2 BF33 Ҷадвали параметри Wafer
Ариза
Вафли шишаи кварцӣ, ки аз JGS1, JGS2 ва BF33 сохта шудаанд, дар соҳаҳои гуногуни саноати дақиқ истифода мешаванд. Ин вафлиҳо барои истеҳсоли нимноқилҳо, аз ҷумла субстратҳои фотомаск ва оптикаи сатҳи вафли беҳтарин мебошанд. Онҳо инчунин барои ҷузъҳои оптикӣ, лазерҳо ва сенсорҳо дар соҳаҳо ба монанди телекоммуникатсия, аэрокосмос ва дастгоҳҳои тиббӣ мувофиқанд. Устувории баланди гармидиҳӣ ва муқовимат ба зарбаи гармӣ онҳоро барои муҳити шадиди ҳарорат комил месозад, дар ҳоле ки интиқоли истисноии онҳо барои оптикаи ултрабунафш (УВ) ва инфрасурх (IR) муҳим аст.
Хосиятҳо
Намудҳои мавод:
JGS1: Интиқоли баланди ултрабунафш, аъло барои барномаҳои нури ултрабунафш.
JGS2: Интиқоли мутавозин дар диапазони ултрабунафш, намоён ва инфрасурх, ки барои истифодаи умумии оптикӣ мувофиқ аст.
BF33: Шишаи боросиликатӣ бо муқовимати баланди кимиёвӣ ва устувории гармӣ. Имконоти андоза:
Дар андозаҳои стандартии вафли 8-дюйма ва 12-дюйма дастрасанд.
Андозаҳои фармоишӣ метавонанд дар асоси талаботи мушаххас истеҳсол карда шаванд. Ғафсӣ:
Ғафсии стандартӣ 725 ± 25 мкм аст.
Ғафсии фармоишӣ барои қонеъ кардани ниёзҳои гуногуни саноатӣ дастрас аст.
Хусусиятҳои гармидиҳӣ:
Устувории аълои гармӣ, барои истифода дар муҳити ҳарорати баланд мувофиқ аст.
Муқовимати баланд ба зарбаи гармӣ.
Муқовимати кимиёвӣ:
Муқовимати қавӣ ба зангзанӣ аз кислотаҳо, сілтҳо ва аксари моддаҳои кимиёвӣ, махсусан дар BF33.
Хусусиятҳои оптикӣ:
Вафли JGS1 ва JGS2 гузариши баланди оптикиро дар диапазонҳои ултрабунафш (УВ), намоён ва инфрасурх (IR) пешниҳод мекунанд.
Беҳтарин барои ҷузъҳои оптикии дақиқ, фотоника ва барномаҳои лазерӣ.
Сифати рӯи:
Ҳамворӣ ва ҳамвории сатҳи баланд, дақиқиро дар истеҳсоли нимноқилҳо ва дастгоҳҳои оптикӣ таъмин мекунад.
Ин хосиятҳо вафли JGS1, JGS2 ва BF33-ро барои барномаҳои баландсифат дар соҳаҳои монанди оптика, электроника ва нимноқилҳо гуногунранг ва боэътимод мегардонанд.
Умуман
Вафли шишагини кварцӣ, ки аз JGS1, JGS2 ва BF33 сохта шудаанд, иҷрои истисноиро дар як қатор барномаҳои серталаб пешкаш мекунанд. Дар андозаҳои стандартии 8-дюйма ва 12-дюйма бо ғафсии 725 ± 25 мкм дастрасанд, ин вафлиҳо инчунин барои қонеъ кардани талаботи мушаххас танзим карда мешаванд. JGS1 ва JGS2 гузариши баланди оптикиро дар диапазони ултрабунафш, намоён ва IR таъмин мекунанд, дар ҳоле ки BF33 муқовимати аълои кимиёвӣ ва устувории гармиро пешниҳод мекунад. Бо ҳамворӣ ва ҳамвор будани сатҳи баланд, ин вафлиҳо барои соҳаҳои дақиқ ба монанди нимноқилҳо, оптика ва фотоника беҳтаринанд ва эътимоднокӣ ва устувориро дар муҳитҳои шадид ва барномаҳои муҳим таъмин мекунанд.