Таҷҳизоти нимноқилҳои лазерии лифт дар тунуксозии зарб инқилоб мекунад

Таҷҳизоти нимноқили лазерии бардоштан инқилоби бориккунии ҷӯйборро тасвири пешниҳодшуда

Тавсифи кӯтоҳ:

Таҷҳизоти лазерии нимноқил як маҳлули хеле махсусгардонидашудаи саноатӣ мебошад, ки барои бориккунии дақиқ ва бидуни тамоси зарфҳои нимноқил тавассути усулҳои лазерӣ бардоштан таҳия шудааст. Ин системаи пешрафта дар равандҳои муосири вафли нимноқилҳо, махсусан дар истеҳсоли вафли ултра борик барои электроникаи пуриқтидори барқ, LEDҳо ва дастгоҳҳои РБ нақши муҳим мебозад. Таҷҳизоти лазерии нимноқилӣ бо имкон ҷудо кардани қабатҳои тунукро аз зарфҳои калон ё субстратҳои донорӣ тавассути рафъи қадамҳои арракунии механикӣ, суфтакунӣ ва коркарди кимиёвӣ дар бориккунии зарфҳо инқилоб мекунад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Маҳсулоти ҷорӣ намудани таҷҳизоти лазерии нимноқил бардоред

Рафтори анъанавии зарфҳои нимноқилҳо, аз қабили нитриди галлий (GaN), карбиди кремний (SiC) ва сапфир, аксар вақт меҳнатталаб, исрофкорӣ ва моил ба микрокрекҳо ё осеби рӯизаминӣ мебошад. Баръакси ин, Таҷҳизоти нимноқилҳои лазерии бардоштан алтернативаи харобнашаванда ва дақиқро пешниҳод мекунад, ки талафоти моддӣ ва фишори рӯизаминиро ҳангоми баланд бардоштани ҳосилнокӣ кам мекунад. Он навъҳои гуногуни маводи кристаллӣ ва мураккабро дастгирӣ мекунад ва метавонад ба хатҳои истеҳсолии нимноқилҳои пешрафта ё миёна бефосила ворид карда шавад.

Бо дарозии мавҷҳои лазерии танзимшаванда, системаҳои мутобиқшавандаи фокус ва чакҳои вакуумӣ мувофиқи вакуум, ин таҷҳизот махсусан барои буридани куйма, эҷоди ламелла ва ҷудо кардани филми ултра борик барои сохторҳои амудии дастгоҳ ё интиқоли қабати гетероэпитаксиалӣ мувофиқ аст.

Параметри таҷҳизоти лазерии нимноқил

Дарозии мавҷ	IR/SHG/THG/FHG
Паҳнои пулс	Наносония, Пикосония, Фемтосония
Системаи оптикӣ	Системаи оптикии собит ё системаи Galvano-оптикӣ
Марҳилаи XY	500 мм × 500 мм
Диапазони коркард	160 мм
Суръати ҳаракат	Макс 1000 мм/сек
Такрорпазирӣ	±1 мкм ё камтар
Дурустии мавқеъ:	±5 мкм ё камтар
Андозаи вафель	2-6 дюйм ё фармоишӣ
Назорат	Windows 10,11 ва PLC
Шиддати таъминоти барқ	AC 200 В ± 20 В, якфаза, 50/60 кГц
Андозаҳои беруна	2400 мм (Вт) × 1700 мм (D) × 2000 мм (Н)
Вазн	1000 кг

Принсипи кори таҷҳизоти лазерии нимноқил

Механизми асосии таҷҳизоти лазерии нимноқил ба таҷзияи фототермалии интихобӣ ё аблатсия дар интерфейси байни анбори донор ва қабати эпитаксиалӣ ё ҳадаф такя мекунад. Лазери баланд энергияи ултрабунафш (одатан KrF дар 248 нм ё лазерҳои ултрабунафш сахти ҳолати тақрибан 355 нм) тавассути маводи донории шаффоф ё нимшаффоф тамаркуз карда мешавад, ки дар он энергия интихобан дар чуқурии пешакӣ муайяншуда ҷаббида мешавад.

Ин азхудкунии локализатсияшудаи энергия дар интерфейс як марҳилаи гази фишори баланд ё қабати тавсеаи гармиро ба вуҷуд меорад, ки ба деламинатсияи тозаи вафли болоӣ ё қабати дастгоҳ аз пойгоҳи ингот оғоз мекунад. Раванд тавассути танзими параметрҳо ба монанди паҳнои набз, равшании лазер, суръати сканер ва умқи фокусии меҳвари Z ба таври дақиқ танзим карда мешавад. Дар натиҷа як буридаи ултра борик аст, ки аксар вақт дар диапазони 10 то 50 мкм - аз зарфи волидайн бе абрешими механикӣ тоза ҷудо карда мешавад.

Ин усули бардоштан лазерӣ барои борик кардани зарб аз талафоти канда ва осеби рӯизаминӣ, ки бо арра кардани сими алмосӣ ё лағзиши механикӣ алоқаманд аст, пешгирӣ мекунад. Он инчунин якпорчагии кристаллро нигоҳ медорад ва талаботи сайқалдиҳиро дар поёноб коҳиш медиҳад ва Таҷҳизоти нимноқилҳои лазерии бардоштанро ба воситаи тағир додани бозӣ барои истеҳсоли насли оянда вафли табдил медиҳад.

Таҷҳизоти нимноқилҳои лазерии бардоранда дар револютсияи тунуккунии ингот 2

Таҷҳизоти нимноқилҳои лазерӣ бардоштан

Таҷҳизоти нимноқилҳои лазерӣ барои лоғар кардани зарфҳо дар як қатор маводҳо ва намудҳои пешрафтаи дастгоҳҳо, аз ҷумла:

Thinning GaN ва GaAs Ingot барои дастгоҳҳои барқ
Эҷоди вафли борикро барои транзисторҳо ва диодҳои пуриқтидори баланд, муқовимати паст имкон медиҳад.

Мелиоратсияи субстратҳои SiC ва ҷудокунии ламелла
Имкон медиҳад, ки аз субстратҳои бузурги SiC барои сохторҳои амудии дастгоҳ бардошта шавад ва аз нав истифода барад.

Буридани вафли LED
Барои баровардани қабатҳои GaN аз зарфҳои ғафси сапфир барои тавлиди субстратҳои ултра борик LED мусоидат мекунад.

Истеҳсоли дастгоҳи RF ва микроволновка
Сохторҳои ултра борик транзистори баланд-электронӣ-мобилӣ (HEMT) -ро дастгирӣ мекунад, ки дар системаҳои 5G ва радар заруранд.

Интиқоли қабати эпитаксиалӣ
Қабатҳои эпитаксиалиро аз зарфҳои кристаллӣ барои истифодаи дубора ё ҳамгироӣ ба гетероструктураҳо дақиқ ҷудо мекунад.

Элементҳои офтобии тунук ва фотоэлектрикҳо
Барои ҷудо кардани қабатҳои тунуки абсорбер барои ҳуҷайраҳои офтобии чандир ё самаранок истифода мешавад.

Дар ҳар яке аз ин доменҳо, Таҷҳизоти нимноқилҳои лазерии бардоранда назорати беҳамторо аз болои якрангии ғафсӣ, сифати рӯи замин ва якпорчагии қабат таъмин мекунад.

Афзалиятҳои тунуккунии ингот дар асоси лазерӣ

Талафоти моддии сифр-Керф
Дар муқоиса бо усулҳои анъанавии буридани вафли, раванди лазерӣ тақрибан 100% истифодаи маводро медиҳад.

Стресси минималӣ ва вайроншавӣ
Баровардани бидуни тамос ларзиши механикиро аз байн мебарад, камони вафли ва пайдоиши микрокрекҳоро коҳиш медиҳад.

Ҳифзи сифати рӯизаминӣ
Дар бисёр мавридҳо пас аз бориккунӣ лағзиш ё сайқал додан лозим нест, зеро бардоштан лазерӣ тамомияти сатҳи болоиро нигоҳ медорад.

Маҳсулоти баланд ва автоматизатсия омода
Қобилияти коркарди садҳо субстрат дар як смена бо автоматии боркунӣ/борфарорӣ.

Мутобиқ шудан ба маводҳои гуногун
Бо GaN, SiC, сапфир, GaAs ва маводҳои пайдошавандаи III-V мувофиқ аст.

Аз ҷиҳати экологӣ бехатартар
Истифодаи абразивҳо ва моддаҳои кимиёвии сахтро, ки дар равандҳои лоғаркунонӣ дар асоси slurry хосанд, коҳиш медиҳад.

Истифодаи такрории субстрат
Зарфҳои донориро метавон барои давраҳои сершумори бардоштан дубора коркард кард, ки ин хароҷоти моддиро хеле кам мекунад.

Саволҳои зуд-зуд пурсидашаванда (FAQ) дар бораи таҷҳизоти лазерии нимноқил

Саволи 1: Таҷҳизоти лазерии нимноқил барои буридани вафли ба кадом диапазони ғафсӣ расида метавонад?
A1:Ғафсии маъмулии буридаи вобаста ба мавод ва конфигуратсия аз 10 микрон то 100 микрон аст.

Саволи 2: Оё ин таҷҳизотро барои борик кардани зарфҳои аз маводи ношаффоф ба мисли SiC истифода бурдан мумкин аст?
A2:Бале. Тавассути танзими дарозии мавҷи лазерӣ ва оптимизатсияи муҳандисии интерфейс (масалан, байни қабатҳои қурбонӣ), ҳатто маводи қисман ношаффофро коркард кардан мумкин аст.

Саволи 3: Чӣ тавр субстрати донор пеш аз бардоштани лазер мувофиқат карда мешавад?
A3:Система модулҳои ҳамоҳангсозии зер-микронӣ дар асоси бинишро бо фикру мулоҳизаҳо аз аломатҳои боваринок ва сканҳои инъикоси рӯизаминӣ истифода мебарад.

Саволи 4: Давраи интизории давраи як амалиёти лазерӣ чанд аст?
A4:Вобаста аз андоза ва ғафсӣ вафли, давраҳои маъмулӣ аз 2 то 10 дақиқа давом мекунанд.

Саволи 5: Оё ин раванд муҳити тозаи ҳуҷраро талаб мекунад?
A5:Гарчанде ки ҳатмӣ нест, ҳамгироии ҳуҷраи тоза барои нигоҳ доштани тозагии субстрат ва ҳосилнокии дастгоҳ ҳангоми амалиёти дақиқ тавсия дода мешавад.

Дар бораи мо

XKH ба коркарди технологияҳои баланд, истеҳсол ва фурӯши шишаи махсуси оптикӣ ва маводи нави булӯр тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва ҳарбӣ хизмат мекунанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, сарпӯши линзаҳои телефони мобилӣ, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Кварц ва пластинкаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи ботаҷриба ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва мақсад дорем, ки як корхонаи пешрафтаи технологӣ бо маводи оптоэлектронӣ бошем.