Таҷҳизоти бардорандаи лазерии нимноқилӣ дар тунуккунии чинор инқилоб мекунад
Диаграммаи муфассал
Муаррифии маҳсулот аз таҷҳизоти бардорандаи лазерии нимноқилӣ
Таҷҳизоти нимноқилҳои лазерӣ, ки барои тунук кардани дақиқ ва бетамоси пораҳои нимноқил тавассути усулҳои бардорандаи лазерӣ тарҳрезӣ шудааст, як роҳи ҳалли саноатии хеле махсусгардонидашуда мебошад. Ин системаи пешрафта дар равандҳои муосири пластинасозии нимноқилҳо, махсусан дар истеҳсоли пластинаҳои ултра тунук барои электроникаи пуриқтидори баландсифат, LED ва дастгоҳҳои RF нақши муҳим мебозад. Бо имкон додани ҷудо кардани қабатҳои тунук аз пораҳои калон ё субстратҳои донор, Таҷҳизоти нимноқилҳои лазерӣ, тунук кардани пораҳои пораро бо роҳи аз байн бурдани қадамҳои арракунии механикӣ, суфтакунӣ ва кандакории кимиёвӣ инқилоб мекунад.
Тунуккунии анъанавии пораҳои нимноқил, ба монанди нитриди галлий (GaN), карбиди кремний (SiC) ва сапфир, аксар вақт меҳнатталаб, исрофкор ва ба микрошикофҳо ё осеби сатҳӣ майл дорад. Баръакс, таҷҳизоти нимноқилии лазерӣ як алтернативаи дақиқ ва ғайривайронкунандаро пешниҳод мекунад, ки талафоти мавод ва фишори сатҳро ба ҳадди ақал мерасонад ва ҳамзамон ҳосилнокиро афзоиш медиҳад. Он доираи васеи маводҳои кристаллӣ ва мураккабро дастгирӣ мекунад ва метавонад ба хатҳои истеҳсоли нимноқилҳои пеш ё миёна бефосила муттаҳид карда шавад.
Бо дарозии мавҷҳои лазерии танзимшаванда, системаҳои фокуси мутобиқшаванда ва патрони ваферии мувофиқ бо вакуум, ин таҷҳизот барои буридани пораҳои металлӣ, эҷоди ламелла ва ҷудо кардани плёнкаи ултра тунук барои сохторҳои амудии дастгоҳҳо ё интиқоли қабати гетероэпитаксиалӣ махсусан мувофиқ аст.
Параметри таҷҳизоти бардорандаи лазерии нимноқилӣ
| Дарозии мавҷ | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| Паҳнои импулс | Наносония, Пикосония, Фемтосония |
| Системаи оптикӣ | Системаи оптикии собит ё системаи галвано-оптикӣ |
| Марҳилаи XY | 500 мм × 500 мм |
| Диапазони коркард | 160 мм |
| Суръати ҳаракат | Ҳадди аксар 1000 мм/сония |
| Такрорпазирӣ | ±1 мкм ё камтар |
| Дақиқии мутлақи мавқеъ: | ±5 мкм ё камтар |
| Андозаи вафл | 2–6 дюйм ё фармоишӣ |
| Назорат | Windows 10, 11 ва PLC |
| Шиддати таъминоти барқ | AC 200 В ±20 В, якфаза, 50/60 кГц |
| Андозаҳои беруна | 2400 мм (паҳноӣ) × 1700 мм (тӯлонӣ) × 2000 мм (баландӣ) |
| Вазн | 1000 кг |
Принсипи кори таҷҳизоти бардорандаи лазерии нимноқилӣ
Механизми асосии таҷҳизоти лазерии нимноқилӣ ба таҷзияи фототермалӣ ё аблятсияи интихобӣ дар сатҳи байни порчаи донор ва қабати эпитаксиалӣ ё мақсаднок такя мекунад. Лазери ултрабунафши дорои энергияи баланд (одатан KrF дар 248 нм ё лазерҳои ултрабунафши ҳолати сахт дар атрофи 355 нм) тавассути маводи донори шаффоф ё нимшаффоф фокус карда мешавад, ки дар он энергия дар чуқурии муайян интихобан ҷаббида мешавад.
Ин ҷабби маҳаллии энергия дар сатҳи байнисатҳӣ қабати фазаи газии фишори баланд ё васеъшавии гармиро эҷод мекунад, ки деламинатсияи тозаи пластинаи болоӣ ё қабати дастгоҳро аз пойгоҳи сӯзанак оғоз мекунад. Раванд бо танзими параметрҳо ба монанди паҳнои импулс, флюенси лазерӣ, суръати сканкунӣ ва умқи фокусии меҳвари z бодиққат танзим карда мешавад. Натиҷа як буридаи ултра тунук аст, ки аксар вақт дар диапазони 10 то 50 мкм аст ва аз сӯзанаки аслӣ бе фарсудашавии механикӣ тоза ҷудо карда шудааст.
Ин усули аз байн бурдани лазер барои тунук кардани пораҳои металлӣ аз талафоти чӯб ва осеби сатҳӣ, ки бо арра кардани сими алмосӣ ё лағжиши механикӣ алоқаманд аст, пешгирӣ мекунад. Он инчунин якпорчагии кристаллро нигоҳ медорад ва талаботи сайқалдиҳии минбаъдаро коҳиш медиҳад, ки таҷҳизоти нимноқилии аз байн бурдани лазерро ба як абзори тағйирдиҳандаи бозӣ барои истеҳсоли пластинаҳои насли оянда табдил медиҳад.
Истифодаи таҷҳизоти бардорандаи лазерии нимноқилӣ
Таҷҳизоти бардорандаи лазерии нимноқилӣ дар тунуккунии чӯбча дар як қатор маводҳо ва намудҳои пешрафтаи дастгоҳҳо, аз ҷумла:, татбиқи васеъ пайдо мекунад.
-
Тунуккунии резаҳои GaN ва GaAs барои дастгоҳҳои барқӣ
Имкон медиҳад, ки транзисторҳо ва диодҳои қувваи баландсифат ва пастмуқовимат эҷод карда шаванд.
-
Рекулятори зеризаминии SiC ва ҷудокунии ламелла
Барои сохторҳои амудии дастгоҳ ва истифодаи такрории вафлҳо, аз субстратҳои SiC-и калонҳаҷм бардоштанро дар миқёси вафл имкон медиҳад.
-
Буридани вафли LED
Бардоштани қабатҳои GaN-ро аз пораҳои ғафси сафир барои истеҳсоли субстратҳои ултра тунуки LED осон мекунад.
-
Истеҳсоли дастгоҳҳои радиорелегӣ ва печи микроволновка
Сохторҳои транзистори ултра тунуки дорои ҳаракати электронии баландсифат (HEMT)-ро, ки дар системаҳои 5G ва радарӣ заруранд, дастгирӣ мекунад.
-
Интиқоли қабати эпитаксиалӣ
Қабатҳои эпитаксиалиро аз селҳои кристаллӣ барои истифодаи такрорӣ ё ҳамгироӣ ба гетеросохторҳо дақиқ ҷудо мекунад.
-
Ҳуҷайраҳои офтобии тунукпленка ва фотоэлектрикҳо
Барои ҷудо кардани қабатҳои тунуки ҷаббанда барои батареяҳои офтобии чандир ё баландсифат истифода мешавад.
Дар ҳар яке аз ин соҳаҳо, таҷҳизоти нимноқилӣ барои бардорандаи лазерӣ назорати беҳамторо аз болои якрангии ғафсӣ, сифати сатҳ ва якпорчагии қабат таъмин мекунад.
Бартариҳои тунуккунии чӯбӣ дар асоси лазер
-
Талафоти маводи сифрӣ
Дар муқоиса бо усулҳои анъанавии буридани вафл, раванди лазерӣ қариб 100% истифодаи маводро таъмин мекунад.
-
Стресси ҳадди ақал ва каҷшавӣ
Бардоштани бетамос ларзиши механикиро аз байн мебарад ва пайдоиши камони вафли ва пайдоиши микрошикофҳоро кам мекунад.
-
Нигоҳдории сифати сатҳ
Дар бисёр мавридҳо пас аз тунуккунӣ, пӯшонидан ё сайқал додан лозим нест, зеро кандани лазер якпорчагии сатҳи болоиро нигоҳ медорад.
-
Омодагии баландсифат ва автоматикунонӣ
Қодир аст, ки садҳо субстратро дар як баст бо боркунӣ/борфарории худкор коркард кунад.
-
Мутобиқшаванда ба маводҳои гуногун
Мутобиқ бо GaN, SiC, сапфир, GaAs ва маводҳои навбунёди III-V.
-
Аз ҷиҳати экологӣ бехатартар
Истифодаи абразивҳо ва маводи кимиёвии сахтро, ки дар равандҳои тунуккунии суспензия хосанд, кам мекунад.
-
Истифодаи такрории субстрат
Сахтаҳои донорро метавон барои якчанд давраҳои бардоштан дубора коркард кард, ки хароҷоти маводро ба таври назаррас коҳиш медиҳад.
Саволҳои зуд-зуд додашаванда (FAQ) дар бораи таҷҳизоти бардорандаи лазерии нимноқилӣ
-
С1: Таҷҳизоти нимноқилӣ барои буридаҳои вафлӣ ба кадом диапазони ғафсӣ ноил шуда метавонад?
A1:Ғафсии маъмулии буриш вобаста ба мавод ва конфигуратсия аз 10 мкм то 100 мкм аст.С2: Оё ин таҷҳизотро барои тунук кардани пораҳои аз маводҳои ношаффоф ба монанди SiC сохташуда истифода бурдан мумкин аст?
A2:Бале. Бо танзими дарозии мавҷи лазер ва беҳсозии муҳандисии интерфейс (масалан, қабатҳои байнишабакавии қурбонӣ), ҳатто маводҳои қисман ношаффофро коркард кардан мумкин аст.С3: Субстрати донор пеш аз бардоштани лазер чӣ гуна ҷойгир карда мешавад?
A3:Система модулҳои ҳамоҳангсозии биноии зермикронро бо фикру мулоҳизаҳо аз нишонаҳои фидусиалӣ ва сканҳои инъикоси сатҳ истифода мебарад.С4: Вақти интизории давра барои як амалиёти бардоштани лазер чанд аст?
А4:Вобаста аз андоза ва ғафсии вафл, давраҳои маъмулӣ аз 2 то 10 дақиқа давом мекунанд.С5: Оё ин раванд муҳити тозаи утоқро талаб мекунад?
A5:Гарчанде ки ин ҳатмӣ нест, ҳамгироии утоқи тоза барои нигоҳ доштани тозагии субстрат ва ҳосилнокии дастгоҳ ҳангоми амалиётҳои дақиқи баланд тавсия дода мешавад.
Дар бораи мо
Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.
