SiC бозуи сафолӣ / Эффектори ниҳоӣ - Муносибати пешрафтаи дақиқ барои истеҳсоли нимноқилҳо

SiC керамикӣ бозуи / End Effector - Муносибати дақиқ барои истеҳсоли нимноқилҳо тасвири тавсифшуда

Тавсифи кӯтоҳ:

Дасти SiC Ceramic Fork, ки одатан ҳамчун Effector End Ceramic номида мешавад, як ҷузъи коркарди дақиқи баландсифат мебошад, ки махсус барои интиқоли вафли, ҳамворкунӣ ва ҷойгиркунӣ дар соҳаҳои технологияҳои баланд, махсусан дар истеҳсоли нимноқилҳо ва фотоэлектрикҳо таҳия шудааст. Ин ҷузъ бо истифода аз сафолҳои карбиди кремнийи баландсифат сохта шудааст, ки қувваи истисноии механикӣ, тавсеаи гармии ултра паст ва муқовимати олиро ба зарбаи гармӣ ва зангзанӣ муттаҳид мекунад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Шарҳи маҳсулот

Баръакси эффекторҳои охири анъанавии аз алюминий, пӯлоди зангногир ё ҳатто кварц сохташуда, эффекторҳои ниҳоии сафолии SiC дар камераҳои вакуумӣ, утоқҳои тоза ва муҳити сахти коркард иҷрои беҳамторо пешниҳод мекунанд ва онҳоро як ҷузъи калидии роботҳои насли оянда коркард мекунанд. Бо афзоиши талабот ба истеҳсоли ифлосшавӣ ва таҳаммулпазирии сахттар дар чипсозӣ, истифодаи эффекторҳои ниҳоии сафолӣ зуд ба стандарти саноат табдил меёбад.

Принсипи истеҳсолӣ

СохториSiC Effectors End Ceramicяк катор процессхои дакик ва тозагии баландро дар бар мегирад, ки хам корношоямй ва хам устувориро таъмин мекунанд. Ду раванди асосӣ маъмулан истифода мешаванд:

Карбиди кремнийи бо реаксия пайвастшуда (RB-SiC)

Дар ин раванд, преформае, ки аз хокаи карбиди кремний ва пайвандкунанда сохта шудааст, бо кремнийи гудохта дар ҳарорати баланд (~ 1500 ° C) ворид карда мешавад, ки бо карбон боқимонда реаксия карда, таркиби зиччи сахти SiC-Si ташкил медиҳад. Ин усул назорати аълои андозагириро пешниҳод мекунад ва барои истеҳсоли миқёси калон камхарҷ аст.

Карбиди кремнийи бефишоршуда (SSiC)

SSiC тавассути агломератсияи хокаи ултра-назиқи SiC-и баландсифат дар ҳарорати хеле баланд (> 2000 ° C) бидуни истифодаи иловаҳо ё марҳилаи ҳатмӣ сохта мешавад. Дар натиҷа маҳсулот бо зичии тақрибан 100% ва хосиятҳои баландтарини механикӣ ва гармӣ дар байни маводи SiC мавҷуд аст. Он барои барномаҳои хеле муҳими коркарди вафли беҳтарин аст.

Пас аз коркард

Коркарди дақиқи CNC: Ба хамворй ва параллелизми баланд ноил мегардад.
Пардохти рӯизаминӣ: Пардохти алмос ноҳамвории рӯи заминро то <0,02 микрон коҳиш медиҳад.
Тафтиш: Интерферометрияи оптикӣ, CMM ва озмоиши вайроннашаванда барои тафтиши ҳар як порча истифода мешавад.

Ин қадамҳо кафолат медиҳанд, киЭффектори ниҳоии SiCдақиқии пайваста ҷойгиркунии вафли, ҳамвории аъло ва тавлиди ҳадди ақали зарраҳоро таъмин мекунад.

Хусусиятҳо ва манфиатҳои асосӣ

Хусусият	Тавсифи
Сахтии ултра-баланд	Сахтии Vickers > 2500 HV, муқовимат ба фарсудашавӣ ва шикаста.
Тавсеаи гармии паст	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, имкон медиҳад, ки устувории андоза дар велосипедронии гармӣ.
Инертсияи химиявӣ	Ба HF, HCl, газҳои плазма ва дигар агентҳои зангзананда тобовар аст.
Муқовимати аълои зарбаи гармӣ	Муносиб барои гармидиҳӣ/хунуккунии зуд дар системаҳои вакуумӣ ва печӣ.
Қувват ва устувории баланд	Дастҳои мустаҳками дарозро бидуни каҷ дастгирӣ мекунад.
Истеъмоли пасти газ	Идеалӣ барои муҳитҳои ултра-баланд вакууми (UHV).
Синфи ISO 1 Хонаи тоза омода	Амали безарраҳо тамомияти вафлиро таъмин мекунад.

Барномаҳо

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector ба таври васеъ дар соҳаҳое истифода мешавад, ки дақиқӣ, тозагӣ ва муқовимати кимиёвиро талаб мекунанд. Сенарияҳои асосии барнома иборатанд аз:

Истеҳсоли нимноқилҳо

Боркунӣ/борфарорӣ вафли дар таҳшин (CVD, PVD), etching (RIE, DRIE) ва системаҳои тозакунӣ.
Интиқоли вафли роботӣ байни FOUPҳо, кассетаҳо ва асбобҳои коркард.
Муносибати гармии баланд ҳангоми коркарди термикӣ ё гармкунӣ.

Истеҳсоли ҳуҷайраҳои фотоэлектрикӣ

Интиқоли нозуки вафли кремнийи нозук ё субстратҳои офтобӣ дар хатҳои автоматӣ.

Намоиши панели ҳамвор (FPD) саноат

Гузаронидани панелҳои шишагии калон ё субстратҳо дар муҳити истеҳсоли OLED/LCD.

Нимноқилҳои мураккаб / MEMS

Дар хатҳои истеҳсоли GaN, SiC ва MEMS истифода мешавад, ки дар он назорати ифлосшавӣ ва дақиқии ҷойгиршавӣ муҳим аст.

Нақши эффектори ниҳоии он дар таъмини коркарди бенуксон ва устувор ҳангоми амалиёти ҳассос муҳим аст.

Имкониятҳои мутобиқсозӣ

Мо мутобиқсозии васеъро барои қонеъ кардани талаботҳои гуногуни таҷҳизот ва раванд пешниҳод менамоем:

Тарҳрезии Форк: Тарҳҳои дупаҳлӯ, бисёрангушт ё тақсими сатҳи.
Мутобиқати андозаи вафли: Аз 2" то 12" вафли.
Интерфейсҳои васлкунӣ: Бо дастҳои роботии OEM мувофиқ аст.
Ғафсӣ ва таҳаммулпазирии рӯизаминӣ: Ҳамворӣ дар сатҳи микрон ва яклухткунии канор дастрас аст.
Хусусиятҳои зиддилағзиш: Текстураҳои рӯизаминӣ ё пӯшишҳои ихтиёрӣ барои чанголи боэътимоди вафли.

Хар якэффекти ниҳоии сафолӣбо муштариён тарҳрезӣ шудааст, то мувофиқати дақиқро бо тағироти ҳадди ақали асбоб таъмин кунад.

Саволҳои зуд-зуд пурсидашаванда (FAQ)

Саволи 1: Чӣ тавр SiC аз кварц барои татбиқи эффектори ниҳоӣ беҳтар аст?
A1:Дар ҳоле ки кварц одатан барои тозагии худ истифода мешавад, он сахтии механикӣ надорад ва дар зери сарборӣ ё зарбаи ҳарорат шикаста мешавад. SiC қувваи олӣ, муқовимат ба фарсудашавӣ ва устувории гармиро пешниҳод мекунад, ки хатари бекорӣ ва осеби вафлиро ба таври назаррас коҳиш медиҳад.

Саволи 2: Оё ин бозуи чанголи сафолӣ бо ҳама коркардкунандагони вафли роботӣ мувофиқ аст?
A2:Бале, эффекторҳои ниҳоии сафолии мо бо аксари системаҳои асосии коркарди вафли мувофиқанд ва метавонанд ба моделҳои махсуси роботии шумо бо нақшаҳои дақиқи муҳандисӣ мутобиқ карда шаванд.

Саволи 3: Оё он метавонад вафли 300-мм-ро бидуни дегатсия коркард кунад?
A3:Комилан. Сахтии баланди SiC имкон медиҳад, ки ҳатто дастҳои лоғар ва дарози вафли 300 мм бе коғаз ё каҷшавӣ ҳангоми ҳаракат бехатар нигоҳ доранд.

Саволи 4: Мӯҳлати маъмулии эффектори ниҳоии сафолии SiC чанд аст?
A4:Бо истифодаи дуруст, эффектори ниҳоии SiC ба туфайли муқовимати аълои худ ба фишори гармӣ ва механикӣ метавонад аз 5 то 10 маротиба зиёдтар аз моделҳои кварц ё алюминий дарозтар бошад.

Саволи 5: Оё шумо хидматҳои ивазкунанда ё прототипсозии зудро пешниҳод мекунед?
A5:Бале, мо истеҳсоли босуръати намунаҳоро дастгирӣ мекунем ва хидматҳои ивазкуниро дар асоси нақшаҳои CAD ё қисмҳои баръакси муҳандисии таҷҳизоти мавҷуда пешниҳод менамоем.

Дар бораи мо

XKH ба коркарди технологияҳои баланд, истеҳсол ва фурӯши шишаи махсуси оптикӣ ва маводи нави булӯр тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва ҳарбӣ хизмат мекунанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, сарпӯши линзаҳои телефони мобилӣ, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Кварц ва пластинкаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи ботаҷриба ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва мақсад дорем, ки як корхонаи пешрафтаи технологӣ бо маводи оптоэлектронӣ бошем.