Табақи сафолии SiC барои интиқолдиҳандаи вафли бо муқовимати баланд ба ҳарорат
Табақи сафолии кремний карбиди (SiC Tray)
Ҷузъи серамикии баландсифат дар асоси маводи карбиди кремний (SiC), барои барномаҳои пешрафтаи саноатӣ, аз қабили истеҳсоли нимноқилҳо ва истеҳсоли LED таҳия шудааст. Функсияҳои асосии он иборатанд аз хидмат ба сифати интиқолдиҳандаи вафли, платформаи коркарди коркард ё дастгирии равандҳои ҳарорати баланд, истифода аз гузаронандагии истисноии гармӣ, муқовимат ба ҳарорат ва устувории кимиёвӣ барои таъмини якрангии раванд ва ҳосили маҳсулот.
Хусусиятҳои асосӣ
1. Фаъолияти гармидиҳӣ
- Қобилияти гармидиҳии баланд: 140–300 Вт/м·К, аз графити анъанавӣ (85 Вт/м·К) ба таври қобили мулоҳиза болотар аст, ки имкон медиҳад, ки зуд паҳншавии гармӣ ва коҳиши фишори гармиро таъмин кунад.
- Коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃), кремний (2.6×10⁻⁶/℃) мувофиқат мекунад, хатари деформатсияи гармиро кам мекунад.
2. Хусусиятҳои механикӣ
- Қувваи баланд: Қувваи печидан ≥320 МПа (20 ℃), ба фишурдан ва таъсир тобовар аст.
- Сахтии баланд: сахтии Mohs 9,5, танҳо пас аз алмос дуюм аст, ки муқовимати олӣ ба фарсудашавӣ пешниҳод мекунад.
3. Устувории кимиёвӣ
- Муқовимат ба зангзанӣ: Муқовимат ба кислотаҳои қавӣ (масалан, HF, H₂SO₄), мувофиқ барои муҳитҳои раванди коркард.
- Гайримагнитӣ: Ҳассосияти магнитии дохилии <1×10⁻⁶ emu/g, пешгирӣ аз дахолат ба асбобҳои дақиқ.
4. Таҳаммулпазирии шадид ба муҳити зист
- Давомнокии ҳарорати баланд: Ҳарорати дарозмуддати корӣ то 1600-1900 ℃; муқовимати кӯтоҳмуддат то 2200 ℃ (муҳити бидуни оксиген).
- Муқовимат ба зарбаи гармӣ: Ба тағирёбии ногаҳонии ҳарорат (ΔT > 1000 ℃) бидуни кафидан тоб меорад.
Барномаҳо
| Майдони дархост | Сенарияҳои мушаххас | Арзиши техникӣ |
| Истеҳсоли нимноқилҳо | Офтиши вафли (ICP), рехтани қабати тунук (MOCVD), сайқал додани CMP | Қобилияти баланди гармидиҳӣ майдонҳои ҳарорати якхеларо таъмин мекунад; тавсеаи гармии пасти пастшавии вафлиро кам мекунад. |
| Истеҳсоли LED | Афзоиши эпитаксиалӣ (масалан, GaN), буридани вафли, бастабандӣ | Камбудиҳои гуногунҷабҳаро рафъ мекунад, самаранокии равшании LED-ро афзоиш медиҳад ва мӯҳлати умри он. |
| Саноати фотоэлектрикӣ | Печҳои агломератсияи вафли кремний, таҷҳизоти PECVD дастгирӣ мекунанд | Муқовимат ба ҳарорати баланд ва зарбаи гармӣ мӯҳлати хидмати таҷҳизотро дароз мекунад. |
| Лазер ва оптика | Субстратҳои хунуккунии лазерии пурқувват, системаи оптикиро дастгирӣ мекунад | Қобилияти гармидиҳии баланд имкон медиҳад, ки гармии зуд пароканда карда, ҷузъҳои оптикиро мӯътадил созанд. |
| Воситаҳои таҳлилӣ | Дорандагони намунаи TGA/DSC | Иқтидори пасти гармӣ ва вокуниши гармии зуд дақиқии андозагириро беҳтар мекунад. |
Афзалиятҳои маҳсулот
- Иҷрои ҳамаҷониба: Қобилияти гармидиҳӣ, қувват ва муқовимат ба зангзанӣ аз сафолҳои гилхок ва нитриди кремний хеле зиёдтар аст, ки ба талаботи шадиди амалиётӣ ҷавобгӯ аст.
- Тарҳрезии сабук: Зичии 3,1–3,2 г/см³ (40% пӯлод), кам кардани сарбории инерсиалӣ ва баланд бардоштани дақиқии ҳаракат.
- Давомнокӣ ва эътимоднокӣ: Муҳлати хидмат дар ҳарорати 1600 ℃ аз 5 сол зиёд буда, вақти бекориро коҳиш медиҳад ва хароҷоти амалиётиро 30% кам мекунад.
- Мутобиқсозӣ: Геометрияҳои мураккабро дастгирӣ мекунад (масалан, пиёлаҳои ковокӣ, ҷўйборҳои бисёрқабата) бо хатогии ҳамворӣ <15 мкм барои барномаҳои дақиқ.
Мушаххасоти техникӣ
| Категорияи параметр | Нишондиҳанда |
| Хусусиятҳои физикӣ | |
| Зичӣ | ≥3,10 г/см³ |
| Қувваи гардиш (20 ℃) | 320–410 МПа |
| Қобилияти гармидиҳӣ (20 ℃) | 140–300 Вт/(м·К) |
| Коэффисиенти васеъшавии гармӣ (25–1000 ℃) | 4,0×10⁻⁶/℃ |
| Хусусиятҳои кимиёвӣ | |
| Муқовимати кислота (HF/H₂SO₄) | Пас аз 24 соат таъмид кардан зангзанӣ нест |
| Дақиқии коркард | |
| Ҳамворӣ | ≤15 мкм (300×300 мм) |
| Ноҳамвории рӯизаминӣ (Ra) | ≤0,4 мкм |
Хидматҳои XKH
XKH ҳалли ҳамаҷонибаи саноатиро дар бар мегирад, ки коркарди фармоишӣ, коркарди дақиқ ва назорати қатъии сифатро фаро мегирад. Барои таҳияи фармоишӣ, он ҳалли маводи тозагии баланд (> 99,999%) ва ковокӣ (30-50% порозия) пешниҳод мекунад, ки бо моделсозии 3D ва симулятсия барои оптимизатсияи геометрияҳои мураккаб барои замимаҳо ба монанди нимноқилҳо ва аэрокосмос пайваст карда шудаанд. Коркарди дақиқ як раванди мукаммалро пайгирӣ мекунад: коркарди хока → фишори изостатикӣ / хушк → 2200 °C синтеризатсия → CNC / суфтакунии алмос → санҷиш, таъмини сайқал додани сатҳи нанометр ва таҳаммулпазирии андозагирии ± 0,01 мм. Назорати сифат санҷиши пурраи равандҳо (таркиби XRD, микроструктураи SEM, печонидани 3-нуқта) ва дастгирии техникӣ (оптимизатсияи раванд, машварати 24/7, таҳвили намуна дар 48 соат) дар бар мегирад, ки ҷузъҳои боэътимод ва баландсифатро барои эҳтиёҷоти пешрафтаи саноатӣ таъмин мекунад.
Саволҳои зуд-зуд пурсидашаванда (FAQ)
1. Савол: Кадом соҳаҳо ҷўйборҳои сафолии карбиди кремнийро истифода мебаранд?
A: Ба таври васеъ дар истеҳсоли нимноқилҳо (коркарди пластинка), энергияи офтобӣ (равандҳои PECVD), таҷҳизоти тиббӣ (ҷузъҳои MRI) ва аэрокосмосӣ (қисмҳои ҳарорати баланд) аз сабаби муқовимати шадиди гармӣ ва устувории кимиёвӣ истифода мешаванд.
2. Савол: Чӣ тавр карбиди кремний аз ҷўйборҳои кварц/шиша бартарӣ дорад?
A: Муқовимати баландтари зарбаи гармӣ (то 1800°C дар муқоиса бо 1100°C кварц), дахолати магнитии сифр ва умри дарозтар (5+ сол дар муқоиса бо кварц 6-12 моҳ).
3. Савол: Оё ҷўйборҳои карбиди кремний бо муҳитҳои туршӣ кор карда метавонанд?
A: Бале. Ба HF, H2SO4 ва NaOH бо зангзании <0,01мм дар як сол тобовар аст, ки онҳоро барои тозакунии кимиёвӣ ва тоза кардани вафли беҳтарин мекунад.
4. Савол: Оё ҷўйборҳои карбиди кремний бо автоматизатсия мувофиқанд?
A: Бале. Барои гирифтани вакуум ва коркарди роботӣ бо ҳамвории сатҳи <0,01мм барои пешгирии олудашавии зарраҳо дар фабрикаҳои автоматӣ тарҳрезӣ шудааст.
5. Савол: Муқоисаи хароҷот бо маводи анъанавӣ чӣ гуна аст?
Ҷавоб: Арзиши пешакии баландтар (3-5х кварц) аммо 30-50% камтар ТМШ аз ҳисоби дароз шудани мӯҳлати кор, кам шудани вақти бекорӣ ва сарфаи энергия аз гузарониши гармии баланд.
