Substrat SiC 3inch 350um ғафсӣ HPSI навъи Prime Grade Dummy
Хосиятҳо
Параметр | Дараҷаи истеҳсолӣ | Дараҷаи тадқиқотӣ | Дараҷаи мӯд | Воҳиди |
Синф | Дараҷаи истеҳсолӣ | Дараҷаи тадқиқотӣ | Дараҷаи мӯд | |
Диаметр | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Ғафсӣ | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | мкм |
Самти вафли | Дар меҳвар: <0001> ± 0,5° | Дар меҳвар: <0001> ± 2,0° | Дар меҳвар: <0001> ± 2,0° | дараҷа |
Зичии микроқубурҳо (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | см−2^-2−2 |
Муқовимати барқ | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·см |
Допант | Набудани | Набудани | Набудани | |
Самти ибтидоии ҳамвор | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | дараҷа |
Дарозии ибтидоии ҳамвор | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Дарозии дуюмдараҷаи ҳамвор | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Самти дуюмдараҷаи ҳамвор | 90 ° CW аз ҳамвори ибтидоӣ ± 5,0 ° | 90 ° CW аз ҳамвори ибтидоӣ ± 5,0 ° | 90 ° CW аз ҳамвори ибтидоӣ ± 5,0 ° | дараҷа |
Истиснои канор | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV / TTV / Камон / Варп | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5/15/±40/45 | мкм |
Ноҳамвории рӯизаминӣ | Си-чеҳраи: CMP, C-чеҳраи: Polished | Си-чеҳраи: CMP, C-чеҳраи: Polished | Си-чеҳраи: CMP, C-чеҳраи: Polished | |
Тарқишҳо (Равшании баландшиддат) | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ | |
Плитаҳои шонздаҳӣ (Равшании баландшиддат) | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Масоҳати ҷамъшуда 10% | % |
Минтақаҳои политипӣ (нури баландшиддат) | Масоҳати ҷамъшуда 5% | Масоҳати ҷамъшуда 20% | Масоҳати ҷамъшуда 30% | % |
Харошидан (нури баландшиддат) | ≤ 5 харошидан, дарозии ҷамъшуда ≤ 150 | ≤ 10 харошидан, дарозии ҷамъшуда ≤ 200 | ≤ 10 харошидан, дарозии ҷамъшуда ≤ 200 | mm |
Chipping Edge | Ягон ≥ 0,5 мм паҳно/умқ | 2 иҷозат дода мешавад ≤ 1 мм паҳнои / умқ | 5 иҷозат дода мешавад ≤ 5 мм паҳнои / умқ | mm |
Ифлосшавии сатҳи | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ |
Барномаҳо
1. Электроникаи пуриктидор
Қобилияти баландтари гармӣ ва фарогирии васеъи вафли SiC онҳоро барои дастгоҳҳои дорои нерӯи баланд ва басомади баланд беҳтарин мекунад:
●MOSFETs ва IGBTs барои табдили нерӯ.
●Системаҳои пешрафтаи барқи автомобилӣ, аз ҷумла инвертерҳо ва пуркунандаи барқ.
●Инфрасохтори шабакаҳои интеллектуалӣ ва системаҳои энергияи барқароршаванда.
2. Системаҳои RF ва микроволновка
Субстратҳои SiC имкон медиҳанд, ки барномаҳои радиобасомади баланд ва микроволновка бо талафоти ҳадди ақали сигнал:
●Системаҳои телекоммуникатсионӣ ва моҳвораӣ.
●Системаҳои радарии кайҳонӣ.
●Қисмҳои пешрафтаи шабакаи 5G.
3. Оптоэлектроника ва датчикхо
Хусусиятҳои беназири SiC барномаҳои гуногуни оптоэлектрониро дастгирӣ мекунанд:
●Детекторҳои ултрабунафш барои мониторинги муҳити зист ва ҳассосияти саноатӣ.
●Субстратҳои LED ва лазерӣ барои равшанӣ дар ҳолати сахт ва асбобҳои дақиқ.
●Сенсорҳои ҳарорати баланд барои саноати кайҳонӣ ва автомобилсозӣ.
4. Тадқиқот ва рушд
Гуногунии дараҷаҳо (Истеҳсол, Тадқиқот, Dummy) имкон медиҳад, ки таҷрибаҳои пешрафта ва прототипсозии дастгоҳ дар академия ва саноат.
Афзалиятҳо
●Эътимоднокӣ:Муқовимат ва устувории аъло дар байни синфҳо.
● Мутобиқсозӣ:Самтҳо ва ғафсӣ барои мувофиқ кардани ниёзҳои гуногун.
●Тозагии баланд:Таркиби бефоида вариантҳои ҳадди ақали марбут ба наҷосатро таъмин мекунад.
●Миқёспазирӣ:Ба талаботи хам истехсоли оммавй ва хам тадкикоти тачрибавй чавоб медихад.
Вафли 3-дюймаи баландсифати SiC дарвозаи шумо ба дастгоҳҳои баландсифат ва пешрафти инноватсионии технологӣ мебошанд. Барои дархостҳо ва мушаххасоти муфассал, имрӯз бо мо тамос гиред.
Хулоса
Вафли 3-дюймаи баландсифати кремнийи карбиди (SiC), ки дар дараҷаҳои истеҳсолӣ, тадқиқотӣ ва dummy дастрасанд, субстратҳои олӣ мебошанд, ки барои электроникаи пуриқтидор, системаҳои радиои мавҷи радио, оптоэлектроника ва R&D пешрафта пешбинӣ шудаанд. Ин пластинкаҳо дорои хосиятҳои бефоида, нимизолятсия бо муқовимати аъло (≥1E10 Ω·cm барои дараҷаи истеҳсолӣ), зичии пасти микроқубурҳо (≤1 см−2^-2−2) ва сифати истисноии сатҳи рӯизаминӣ мебошанд. Онҳо барои барномаҳои баландмаъно, аз ҷумла табдили нерӯ, телекоммуникатсия, ҳассосияти ултрабунафш ва технологияҳои LED оптимизатсия карда шудаанд. Бо самтҳои фармоишӣ, гузариши олии гармӣ ва хосиятҳои мустаҳками механикӣ, ин пластинкаҳои SiC имкон медиҳанд, ки дастгоҳҳои муассир, боэътимод ва навовариҳои бунёдкорро дар тамоми соҳаҳо эҷод кунанд.