Тахтачаи консолӣ аз силикон карбид (Тахтачаи консолӣ аз SiC)

Тасвири махсус аз болишти кантилевери силикон карбидӣ (SiC Cantilever Paddle)

Тавсифи мухтасар:

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Шарҳи маҳсулот

Тахтачаи консолӣ аз карбиди кремний, ки аз карбиди кремнийи бо реаксия пайвастшудаи баландсифат (RBSiC) истеҳсол шудааст, як ҷузъи муҳим аст, ки дар системаҳои боркунӣ ва коркарди вафлҳо барои барномаҳои нимноқилӣ ва фотоэлектрикӣ истифода мешавад.
Дар муқоиса бо болғаҳои анъанавии кварсӣ ё графитӣ, болғаҳои консолӣ аз SiC қувваи механикии аъло, сахтии баланд, васеъшавии пасти гармӣ ва муқовимати аълои зангзаниро пешниҳод мекунанд. Онҳо дар ҳарорати баланд устувории аълои сохториро нигоҳ медоранд ва ба талаботи қатъии андозаи калони пластинаҳо, мӯҳлати тӯлонии хизматрасонӣ ва ифлосшавии хеле кам ҷавобгӯ мебошанд.

Бо рушди пайвастаи равандҳои нимноқилӣ ба самти диаметрҳои калонтари вафлҳо, қобилияти баланди гузаронандагӣ ва муҳити тозатари коркард, болиштҳои консолӣ SiC тадриҷан маводҳои анъанавиро иваз карданд ва ба интихоби афзалиятнок барои кӯраҳои диффузия, LPCVD ва таҷҳизоти марбут ба ҳарорати баланд табдил ёфтанд.

Хусусиятҳои маҳсулот

Устувории аълои ҳарорати баланд
- Дар ҳарорати аз 1000 то 1300℃ бе деформатсия боэътимод кор мекунад.
- Ҳарорати максималии хизматрасонӣ то 1380 ℃.
Иқтидори баланди борбардорӣ
- Мустаҳкамии хамшавӣ то 250-280 МПа, ки нисбат ба болиштҳои кварсӣ хеле баландтар аст.
- Қобилияти коркарди пластинаҳои диаметри калон (300 мм ва болотар).
Мӯҳлати хидматрасонии дароз ва нигоҳдории кам
- Коэффитсиенти пасти васеъшавии гармӣ (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), бо маводҳои рӯйпӯши LPCVD хуб мувофиқ аст.
- Тарқишҳо ва пӯстшавии аз стресс ба вуҷуд омадаро кам мекунад ва давраҳои тозакунӣ ва нигоҳдориро ба таври назаррас дароз мекунад.
Муқовимат ба зангзанӣ ва покӣ
- Муқовимати аъло ба кислотаҳо ва сілтҳо.
- Микросохтори зич бо сӯрохии кушода <0.1%, ки тавлиди зарраҳо ва ихроҷи ифлосиҳоро ба ҳадди ақал мерасонад.
Тарроҳии мувофиқ бо автоматизатсия
- Геометрияи буриши устувор бо дақиқии баланди андозагирӣ.
- Бо системаҳои боркунӣ ва борфарории вафлии роботӣ бефосила муттаҳид мешавад, ки имкон медиҳад истеҳсолоти пурра автоматӣ карда шавад.

Хусусиятҳои физикӣ ва химиявӣ

Ашё	Воҳид	Маълумот
Ҳарорати максималии хизматрасонӣ	℃	Соли 1380
Зичӣ	г/см³	3.04 – 3.08
Сӯрохии кушода	%	<0.1
Қувваи хамшавӣ	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Модули чандирӣ	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Гузаронидани гармӣ	Вт/м·К	45 (1200℃)
Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Сахтии Викерс	HV2	≥ 2100
Муқовимати кислота/сілтӣ	-	Аъло

Дарозии стандартӣ:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Андозаҳои фармоишӣ бо дархост дастрасанд

Барномаҳо

Саноати нимноқилҳо
- LPCVD (Чопкунии буғи кимиёвии фишори паст)
- Равандҳои диффузия (фосфор, бор ва ғайра)
- Оксидшавии гармӣ
Саноати фотоэлектрикӣ
- Диффузия ва пӯшиши вафли полисиликон ва монокристаллӣ
- Тафсондан ва пассиватсия дар ҳарорати баланд
Соҳаҳои дигар
- Муҳитҳои зангзании ҳарорати баланд
- Системаҳои дақиқи коркарди вафлҳо мӯҳлати хизмати дароз ва ифлосшавии камро талаб мекунанд

Манфиатҳои муштариён

Хароҷоти амалиётӣ кам карда шуданд– Дар муқоиса бо болиштҳои кварсӣ мӯҳлати хизмати дарозтар, ки вақти бекористӣ ва басомади ивазкуниро ба ҳадди ақал мерасонад.
Ҳосили баландтар– Ифлосшавии хеле кам тозагии сатҳи вафлро таъмин мекунад ва сатҳи нуқсонҳоро коҳиш медиҳад.
Ояндасоз– Мутобиқ бо андозаҳои калони пластинаҳо ва равандҳои нимноқилҳои насли оянда.
Ҳосилнокии беҳтаршуда– Мутобиқати пурра бо системаҳои автоматикунонии роботӣ, ки истеҳсоли ҳаҷми зиёдро дастгирӣ мекунад.

Саволҳои зуд-зуд додашаванда – Тахтачаи кантилевери силикон карбидӣ

С1: Тахтачаи консолӣ аз карбиди силикон чист?
Ҷавоб: Ин як ҷузъи дастгирӣ ва коркарди пластина аст, ки аз карбиди кремнийи бо реаксия пайвастшуда (RBSiC) сохта шудааст ва дар кӯраҳои диффузионӣ, LPCVD ва дигар равандҳои нимноқилӣ ва фотоэлектрикӣ дар ҳарорати баланд истифода мешавад.

С2: Чаро SiC-ро ба ҷои лавҳаҳои кварсӣ интихоб кардан лозим аст?
A: Дар муқоиса бо болиштҳои кварсӣ, болиштҳои SiC пешниҳодҳои зеринро пешниҳод мекунанд:

Қувваи механикии баландтар ва иқтидори борбардорӣ
Устувории беҳтари гармӣ дар ҳарорати то 1380℃
Мӯҳлати хизмати хеле дарозтар ва давраҳои нигоҳдории камтар
Хатари камтари пайдоиши зарраҳо ва ифлосшавӣ
Мутобиқат бо андозаи вафли калонтар (300 мм ва болотар)

С3: Тахтаи консолӣ бо лавҳаи SiC кадом андозаҳои вафлро дастгирӣ карда метавонад?
A: Барои системаҳои кӯраи 2378 мм, 2550 мм ва 2660 мм белҳои стандартӣ мавҷуданд. Андозаҳои фармоишӣ барои дастгирии пластинаҳои то 300 мм ва болотар дастрасанд.

Дар бораи мо

Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.