Табақи силикон карбиди сафолии маккандаи силикон карбиди найчаи сафолӣ Таъмини ҳарорати баланд агломератсия коркарди фармоишӣ
Хусусиятҳои асосӣ:
1. Табақи сафолии карбиди кремний
- Сахтии баланд ва муқовимати фарсудашавӣ: сахтӣ ба алмос наздик аст ва метавонад ба фарсудашавии механикӣ дар коркарди вафли барои муддати тӯлонӣ тоб оварад.
- Коэффисиенти гармидиҳии баланд ва коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ: паҳншавии зуди гармӣ ва устувории андозагирӣ, пешгирӣ кардани деформатсияи аз фишори гармӣ.
- Ҳамворӣ ва ороиши сатҳи баланд: Ҳамвории сатҳ то сатҳи микрон буда, тамоси пурраи байни вафли ва дискро таъмин намуда, ифлосшавӣ ва зарарро коҳиш медиҳад.
Устувории химиявӣ: Муқовимат ба зангзании қавӣ, ки барои тозакунии тар ва коркарди коркард дар истеҳсоли нимноқилҳо мувофиқ аст.
2. Туби сафолии кремний карбиди
- Муқовимат ба ҳарорати баланд: Он метавонад дар муҳити ҳарорати баланд аз 1600 ° C барои муддати тӯлонӣ кор кунад, ки барои раванди нимноқилҳои ҳарорати баланд мувофиқ аст.
Муқовимати аъло ба зангзанӣ: тобовар ба кислотаҳо, сілтҳо ва ҳалкунандаҳои гуногуни кимиёвӣ, ки барои муҳити сахти раванд мувофиқанд.
- Сахтии баланд ва муқовимати фарсудашавӣ: ба эрозияи зарраҳо ва фарсудашавии механикӣ муқовимат кунед, мӯҳлати хидматро дароз кунед.
- Коэффисиенти баланди гармидиҳӣ ва коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ: интиқоли зуди гармӣ ва устувории андозагирӣ, кам кардани деформатсия ё креки аз фишори гармӣ.
Параметри маҳсулот:
Параметри табақи сафолии кремний карбиди:
| (Моликияти моддӣ) | (Воҳид) | (ssic) | |
| (Мӯҳтавои SiC) | (Вт)% | >99 | |
| (Андозаи миёнаи ғалла) | микрон | 4-10 | |
| (Зичии) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Посозигии намоён) | Vo1% | <0,5 | |
| (Сахтии Викерс) | HV 0,5 | GPa | 28 |
| *() Қувваи каҷӣ* (се хол) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Қувваи фишор) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Модули эластикӣ) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Сахтии шикаста) | МПа/м'% | 3.5 | |
| (Кобилияти гармӣ) | 20°С | В/(м*К) | 160 |
| (Муқовимат) | 20°С | Ом.см | 106-108 |
(Коэффисиенти васеъшавии гармӣ) | a(RT**...80ºC) | К-1*10-6 | 4.3 |
(Ҳарорати ҳадди аксар) | oºC | 1700 | |
Параметри қубури сафолии кремний:
| Ададҳо | Индекс |
| α-SIC | 99% дақиқа |
| Порозияи намоён | 16% макс |
| Зичии масса | 2,7 г/см3 дақ |
| Қувваи печидан дар ҳарорати баланд | 100 Мпа дақ |
| Коэффисиенти васеъшавии гармӣ | К-1 4,7x10 -6 |
| Коэффисиенти гармигузаронӣ (1400ºC) | 24 Вт/мк |
| Макс. Ҳарорати корӣ | 1650ºC |
Барномаҳои асосӣ:
1. Табақи сафолии карбиди кремний
- Буридан ва сайқал додани вафли: ҳамчун платформаи подшипник барои таъмини дақиқ ва устувории баланд ҳангоми буридан ва сайқал додан хизмат мекунад.
- Раванди литография: Вафли дар мошини литография ҷойгир карда шудааст, то ҷойгиршавии дақиқи баландро ҳангоми экспозиция таъмин кунад.
- Полиши механикии химиявӣ (CMP): ҳамчун платформаи пуштибонӣ барои сайқал додани лавҳаҳо амал мекунад, ки фишори яксон ва тақсимоти гармиро таъмин мекунад.
2. Туби сафолии кремний карбиди
- Қубури кӯраи ҳарорати баланд: барои таҷҳизоти ҳарорати баланд ба монанди кӯраи диффузионӣ ва кӯраи оксидшавӣ барои интиқоли вафли барои коркарди раванди ҳарорати баланд истифода мешавад.
- Раванди CVD/PVD: Ҳамчун найчаи подшипник дар камераи реаксия, ба ҳарорати баланд ва газҳои зангзананда тобовар аст.
- лавозимоти таҷҳизоти нимноқилӣ: барои гармидиҳӣ, қубурҳои газ ва ғайра, барои баланд бардоштани самаранокии идоракунии гармии таҷҳизот.
XKH маҷмӯи пурраи хидматҳои фармоиширо барои ҷўйборҳои сафолии карбиди кремний, пиёлаҳои соркунанда ва қубурҳои сафолии карбиди кремний пешниҳод мекунад. Ҷӯйборҳои сафолии карбиди кремний ва пиёлаҳои сокканӣ, XKH метавонад мувофиқи талаботҳои муштарӣ аз андозаҳо, шаклҳо ва ноҳамвориҳои рӯизаминӣ фармоиш дода шавад ва табобати махсуси рӯйпӯшро дастгирӣ кунад, муқовимати фарсудашавӣ ва муқовимат ба зангзаниро афзоиш диҳад; Барои қубурҳои сафолии кремнийи карбиди, XKH метавонад диаметри дарунӣ, диаметри берунӣ, дарозӣ ва сохтори мураккабро (ба монанди қубури шаклдор ё қубури ковок) танзим кунад ва сайқал додан, рӯйпӯши зидди оксидшавӣ ва дигар равандҳои коркарди рӯизаминиро таъмин кунад. XKH кафолат медиҳад, ки муштариён метавонанд аз бартариҳои иҷрои маҳсулоти сафолии кремний карбиди пурра бартарӣ дошта бошанд, то ба талаботҳои серталаби соҳаҳои баландсифати истеҳсолӣ ба монанди нимноқилҳо, leds ва фотоэлектрикҳо қонеъ гарданд.
Диаграммаи муфассал
