Маккаки табақи керамикии силикон карбидӣ, қубури керамикии силикон карбидӣ, коркарди фармоишии синтеризатсияи ҳарорати баландро таъмин мекунад
Хусусиятҳои асосӣ:
1. Табақчаи сафолии карбидии силикон
- Сахтии баланд ва муқовимати фарсудашавӣ: сахтӣ ба алмос наздик аст ва метавонад ба фарсудашавии механикӣ дар коркарди вафл барои муддати тӯлонӣ тоб оварад.
- Гузаронандагии баланди гармӣ ва коэффитсиенти пасти васеъшавии гармӣ: паҳншавии босуръати гармӣ ва устувории андоза, пешгирӣ аз деформатсия, ки аз стресси гармӣ ба вуҷуд омадааст.
- Ҳамвории баланд ва коркарди сатҳ: Ҳамвории сатҳ то сатҳи микрон аст, ки тамоси пурраи байни пластина ва дискро таъмин мекунад ва ифлосшавӣ ва зарарро кам мекунад.
Устувории кимиёвӣ: Муқовимати қавии зангзанӣ, барои тозакунии тар ва равандҳои кандакорӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо мувофиқ аст.
2. Найчаи керамикии карбидии силикон
- Муқовимат ба ҳарорати баланд: Он метавонад дар муҳити ҳарорати баланд аз 1600°C муддати тӯлонӣ кор кунад, барои раванди ҳарорати баланди нимноқил мувофиқ аст.
Муқовимати аъло ба зангзанӣ: ба кислотаҳо, ишқорҳо ва ҳалкунандаҳои гуногуни кимиёвӣ тобовар аст, барои муҳитҳои сахти коркард мувофиқ аст.
- Сахтии баланд ва муқовимати фарсудашавӣ: ба эрозияи зарраҳо ва фарсудашавии механикӣ муқовимат кунед, мӯҳлати хидматро дароз кунед.
- Гузаронандагии баланди гармӣ ва коэффитсиенти пасти васеъшавии гармӣ: интиқоли босуръати гармӣ ва устувории андоза, кам кардани деформатсия ё тарқиш, ки аз сабаби фишори гармӣ ба вуҷуд меояд.
Параметри маҳсулот：
Параметри табақи керамикии карбидии силикон:
| (Дороии моддӣ) | (Воҳид) | (ssic) | |
| (Мундариҷаи SiC) | (Вазн)% | >99 | |
| (Андозаи миёнаи дона) | микрон | 4-10 | |
| (Зичӣ) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Сӯрохии зоҳирӣ) | Vo1% | <0.5 | |
| (Сахтии Викерс) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Қувваи хамшавӣ* (се хол) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Қувваи фишурдашавӣ) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Модули чандирӣ) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Мустаҳкамии шикастагӣ) | МПа/м'% | 3.5 | |
| (Гузаронидани гармӣ) | 20°ºC | Вт/(м*К) | 160 |
| (Муқовимат) | 20°ºC | Ом.см | 106-108 |
(Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Ҳарорати максималии корӣ) | oºC | 1700 | |
Параметри найчаи керамикии карбидии кремний:
| Ашёҳо | Индекс |
| α-SIC | 99% дақиқа |
| Сӯрохии зоҳирӣ | Ҳадди аксар 16% |
| Зичии оммавӣ | 2.7г/см3 дақ |
| Қувваи хамшавӣ дар ҳарорати баланд | 100 Мпа дақ |
| Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ | K-1 4.7x10 -6 |
| Коэффитсиенти гузаронандагии гармӣ (1400ºC) | 24 Вт/мк |
| Ҳарорати максималии корӣ | 1650ºC |
Барномаҳои асосӣ:
1. Плитаи керамикии карбидии силикон
- Буридан ва сайқал додани вафл: ҳамчун платформаи подшипник барои таъмини дақиқӣ ва устувории баланд ҳангоми буридан ва сайқал додан хизмат мекунад.
- Раванди литография: Вафли дар дастгоҳи литография мустаҳкам карда мешавад, то ҳангоми таъсири он мавқеи дақиқи баландро таъмин кунад.
- Сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ (CMP): ҳамчун платформаи дастгирӣ барои болиштҳои сайқалдиҳӣ амал мекунад ва тақсимоти якхелаи фишор ва гармиро таъмин мекунад.
2. Найчаи керамикии карбидии силикон
- Найчаи кӯраи ҳарорати баланд: барои таҷҳизоти ҳарорати баланд, ба монанди кӯраи диффузионӣ ва кӯраи оксидшавӣ, барои интиқоли пластинаҳо барои коркарди раванди ҳарорати баланд истифода мешавад.
- Раванди CVD/PVD: Ҳамчун найчаи подшипник дар камераи реаксия, ба ҳарорати баланд ва газҳои зангзананда тобовар.
- Лавозимоти таҷҳизоти нимноқилҳо: барои мубодилаи гармӣ, лӯлаҳои газ ва ғайра, барои беҳтар кардани самаранокии идоракунии гармии таҷҳизот.
XKH доираи пурраи хидматҳои фармоиширо барои табақчаҳои сафолии карбидии силикон, пиёлаҳои макидан ва найчаҳои сафолии карбидии силикон пешниҳод мекунад. Табақчаҳо ва пиёлаҳои макидан, XKH-и сафолии карбидии силикон мувофиқи талаботи муштариён, андозаҳо, шаклҳо ва ноҳамвории сатҳҳои гуногун танзим карда мешаванд ва коркарди махсуси рӯйпӯшкуниро дастгирӣ мекунанд, муқовимати фарсудашавӣ ва муқовимати зангзаниро беҳтар мекунанд; Барои найчаҳои сафолии карбидии силикон, XKH метавонад диаметри дохилӣ, диаметри берунӣ, дарозӣ ва сохтори мураккаби гуногунро (масалан, найчаи шаклдор ё найчаи сӯрохдор) танзим кунад ва сайқалдиҳӣ, рӯйпӯшкунии зиддиоксидшавӣ ва дигар равандҳои коркарди сатҳро таъмин намояд. XKH кафолат медиҳад, ки муштариён метавонанд аз бартариҳои кори маҳсулоти сафолии карбидии силикон барои қонеъ кардани талаботи серталаби соҳаҳои истеҳсолии баландсифат, ба монанди нимноқилҳо, LED-ҳо ва фотоэлектрикҳо пурра истифода баранд.
Диаграммаи муфассал
