Дастаки чангаки керамикии SiC барои системаҳои коркарди муҳим

Тавсифи мухтасар:

ДарДаст/дасти чангаки керамикии силикон карбидяк ҷузъи пешрафтаест, ки барои автоматикунонии пешрафтаи саноатӣ, коркарди нимноқилҳо ва муҳитҳои ултра тоза таҳия шудааст. Меъмории фарқкунандаи он бо чангак ва сатҳи керамикии ултра ҳамвор онро барои коркарди зермаҳсулоти нозук, аз ҷумла пластинаҳои силикон, панелҳои шишагӣ ва дастгоҳҳои оптикӣ беҳтарин мегардонад. Бо дақиқӣ тарҳрезӣ ва аз карбиди силикони ултра тоза истеҳсол шудааст.Даст/дасти чангаки керамикии силикон карбидқувваи механикии беҳамто, эътимоднокии гармӣ ва назорати ифлосшавиро пешниҳод мекунад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Муаррифии даст/дасти чангаки керамикии силикон карбид

Бар хилофи дастҳои анъанавии металлӣ ё пластикӣ,Даст/дасти чангаки керамикии силикон карбидДар шароити шадиди гармӣ, кимиёвӣ ва вакуумӣ кори устуворро таъмин мекунад. Новобаста аз он ки дар утоқи тозаи синфи 1 ё дар камераи плазмавии вакуумии баланд кор мекунад, ин ҷузъ интиқоли бехатар, самаранок ва бе боқимондаҳои қисмҳои қиматбаҳоро таъмин мекунад.

Бо сохторе, ки барои дастҳои роботӣ, коркардкунандагони пластинаҳо ва асбобҳои интиқоли автоматӣ тарҳрезӣ шудааст,Даст/дасти чангаки керамикии силикон карбидяк навсозии оқилона барои ҳама гуна системаи баландсифат аст.

Раванди истеҳсоли даст/дасти чангаки керамикии силикон карбид

Эҷоди як тарҳи баландсифатДаст/дасти чангаки керамикии силикон карбидҷараёни кории муҳандисии керамикиро дар бар мегирад, ки такроршавандагӣ, эътимоднокӣ ва сатҳи хеле пасти нуқсонҳоро таъмин мекунад.

1. Муҳандисии мавод

Дар истеҳсоли он танҳо хокаи карбиди кремнийи ултра-тозаи баланд истифода мешавад.Даст/дасти чангаки керамикии силикон карбид, ифлосшавии пасти ионӣ ва мустаҳкамии баланди ҳаҷмиро таъмин мекунад. Хокаҳо бо иловаҳои пухта ва пайвасткунандаҳо дақиқ омехта карда мешаванд, то зичии оптималӣ ба даст оварда шавад.

2. Ташаккули сохтори асосӣ

Геометрияи асосии ондаст/дасти чангакбо истифода аз фишори изостатикии хунук ё қолаби тазриқӣ ташаккул дода мешавад, ки зичии баланди сабз ва тақсимоти якхелаи фишорро таъмин мекунад. Конфигуратсияи шакли U барои таносуби сахтӣ ба вазн ва вокуниши динамикӣ оптимизатсия шудааст.

3. Раванди синтезкунӣ

Бадани сабзи онДаст/дасти чангаки керамикии силикон карбиддар кӯраи гази инертӣ бо ҳарорати баланд дар ҳарорати зиёда аз 2000°C пухта мешавад. Ин қадам зичии қариб назариявиро таъмин мекунад ва ҷузъеро истеҳсол мекунад, ки ба кафидан, каҷшавӣ ва инҳирофи андоза дар зери борҳои гармии воқеӣ муқовимат мекунад.

4. Суфтакунӣ ва коркарди дақиқ

Барои шакл додани андозаҳои ниҳоии асбобҳои пешрафтаи алмосии CNC истифода мешаванд.Даст/дасти чангаки керамикии силикон карбидТаҳаммулпазирии сахт (±0.01 мм) ва сатҳи рӯизаминӣ дар сатҳи оина ихроҷи зарраҳо ва фишори механикиро кам мекунад.

5. Тозакунӣ ва кондитсионеркунии сатҳ

Парвариши ниҳоии сатҳ сайқалдиҳии кимиёвӣ ва тозакунии ултрасадоӣ барои омода кардани он дар бар мегираддаст/дасти чангакбарои ҳамгироии мустақим дар системаҳои ултра тоза. Рӯйпӯшҳои ихтиёрӣ (CVD-SiC, қабатҳои зидди инъикос) низ дастрасанд.

Ин раванди дақиқ кафолат медиҳад, ки ҳар якиДаст/дасти чангаки керамикии силикон карбидба стандартҳои сахттарини саноатӣ, аз ҷумла талаботи SEMI ва ISO оид ба тозакунии утоқ ҷавобгӯ мебошад.

Параметри даст/дасти чангаки керамикии силикон карбид

Ашё	Шартҳои санҷиш	Маълумот	Воҳид
Мундариҷаи карбиди кремний	/	>99.5	%
Андозаи миёнаи ғалладонагӣ	/	4-10	микрон
Зичӣ	/	>3.14	г/см3
Сӯрохии зоҳирӣ	/	<0.5	Ҳаҷми %
Сахтии Викерс	HV0.5	2800	Кг/мм2
Модули кафидан (3 хол)	Андозаи рахи санҷишӣ: 3 x 4 x 40 мм	450	МПа
Қувваи фишурдасозӣ	20°C	3900	МПа
Модули чандирӣ	20°C	420	GPa
Мустаҳкамии шикастагӣ	/	3.5	МПа/м^1/2
Гузаронидани гармӣ	20°C	160	Вт/(мК)
Муқовимати барқӣ	20°C	10⁶-10⁸	Ωсм
Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Ҳарорати максималии истифода	Атмосфераи оксидӣ	1600	°C
Ҳарорати максималии истифода	Атмосфераи инертӣ	Соли 1950	°C

Истифодаи даст/дасти чангаки керамикии силикон карбид

ДарДаст/дасти чангаки керамикии силикон карбидбарои истифода дар барномаҳои дақиқи баланд, хатари баланд ва ҳассос ба ифлосшавӣ тарҳрезӣ шудааст. Он имкон медиҳад, ки коркарди боэътимод, интиқол ё дастгирии ҷузъҳои муҳим бидуни ягон мушкилӣ анҷом дода шавад.

➤ Саноати нимноқилҳо

Ҳамчун чангаки роботӣ дар интиқоли вафли фронталӣ ва истгоҳҳои FOUP истифода мешавад.
Ба камераҳои вакуумӣ барои кандакории плазма ва равандҳои PVD/CVD муттаҳид карда шудааст.
Ҳамчун бозуи интиқолдиҳанда дар асбобҳои метрология ва ҳамоҳангсозии вафлҳо амал мекунад.

ДарДаст/дасти чангаки керамикии силикон карбидхатарҳои ихроҷи электростатикӣ (ESD)-ро аз байн мебарад, дақиқии андозагириро дастгирӣ мекунад ва ба зангзании плазма муқовимат мекунад.

➤ Фотоника ва оптика

Ҳангоми истеҳсол ё санҷиш линзаҳои нозук, кристаллҳои лазерӣ ва сенсорҳоро дастгирӣ мекунад.
Сахтии баланди он аз ларзиш пешгирӣ мекунад, дар ҳоле ки корпуси сафолӣ аз ифлосшавии сатҳҳои оптикӣ муқовимат мекунад.

➤ Истеҳсоли намоиш ва панелҳо

Ҳангоми интиқол ё санҷиш шишаи тунук, модулҳои OLED ва субстратҳои LCD-ро коркард мекунад.
Ҳамвор ва аз ҷиҳати кимиёвӣ ғайрифаъолДаст/дасти чангаки керамикии силикон карбидаз харошидан ё кандакории кимиёвӣ муҳофизат мекунад.

➤ Асбобҳои кайҳонӣ ва илмӣ

Дар васлкунии оптикаи моҳвораӣ, робототехникаи вакуумӣ ва насби хатҳои нури синхротронӣ истифода мешавад.
Дар утоқҳои тозаи сатҳи кайҳонӣ ва муҳитҳои осебпазир ба радиатсия беайб кор мекунад.

Дар ҳар як соҳа,Даст/дасти чангаки керамикии силикон карбидсамаранокии системаро баланд мебардорад, аз кор мондани қисмҳоро кам мекунад ва вақти бекористиро ба ҳадди ақал мерасонад.

Саволҳои зуд-зуд додашаванда - Саволҳои зуд-зуд додашаванда дар бораи даст/дасти чангаки керамикии силикон карбид

С1: Чӣ чиз даст/дасти чангаки керамикии силикон карбидро аз алтернативаҳои металлӣ беҳтар мегардонад?

ДарДаст/дасти чангаки керамикии силикон карбиднисбат ба металлҳо сахтии баландтар, зичии пасттар, муқовимати беҳтари кимиёвӣ ва васеъшавии гармии ба таври назаррас камтар дорад. Он инчунин барои ҳуҷраи тоза мувофиқ аст ва аз зангзанӣ ё пайдоиши зарраҳо озод аст.

С2: Оё ман метавонам андозаҳои фармоиширо барои даст/дасти чангаки керамикии силикон карбиди худ дархост кунам?

Бале. Мо фармоишдиҳии пурраро пешниҳод менамоем, аз ҷумла паҳнои чангак, ғафсӣ, сӯрохиҳои васлкунӣ, буришҳо ва коркарди сатҳӣ. Новобаста аз он ки барои вафлиҳои 6", 8" ё 12", шумодаст/дасти чангакметавонад мувофиқи андоза танзим карда шавад.

С3: Даст/дасти чангаки керамикии силикон карбид дар зери плазма ё вакуум чӣ қадар давом мекунад?

Ба шарофати маводи зичии баланди SiC ва табиати инертӣ,даст/дасти чангакҳатто пас аз ҳазорҳо давраҳои коркард функсионалӣ боқӣ мемонад. Он фарсудашавии ҳадди ақалро дар зери бори гармии плазма ё вакуумӣ нишон медиҳад.

С4: Оё маҳсулот барои утоқҳои тозаи ISO Class 1 мувофиқ аст?

Албатта.Даст/дасти чангаки керамикии силикон карбиддар иншооти сертификатсияшудаи утоқҳои тоза истеҳсол ва бастабандӣ карда мешавад, ки сатҳи зарраҳо аз талаботи ISO Синфи 1 хеле пасттар аст.

С5: Ҳарорати ҳадди аксар барои ин даст/дасти чангак чанд аст?

ДарДаст/дасти чангаки керамикии силикон карбидметавонад пайваста дар ҳарорати то 1500°C кор кунад, ки онро барои истифодаи мустақим дар камераҳои коркарди ҳарорати баланд ва системаҳои вакуумии гармӣ мувофиқ мегардонад.

Ин саволҳои зуд-зуд додашаванда нигарониҳои маъмултарини техникиро аз ҷониби муҳандисон, мудирони лаборатория ва интеграторҳои система бо истифода аз инҳо инъикос мекунанд.Даст/дасти чангаки керамикии силикон карбид.

Дар бораи мо

Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.