Изолятори вафли SOI дар вафли кремнийи 8-дюйма ва 6-дюймаи SOI (Silicon-On-Insulator)
Муаррифии қуттии вафли
Аз қабати болоии кремний, қабати оксиди изолятсионӣ ва субстрати кремнийи поёнӣ иборат аст, вафли сеқабати SOI бартариҳои беҳамторо дар микроэлектроника ва доменҳои RF пешниҳод мекунад. Қабати болоии кремний, ки дорои кремнийи баландсифати кристаллӣ мебошад, ҳамгироии ҷузъҳои мураккаби электрониро бо дақиқ ва самаранокӣ осон мекунад. Қабати оксиди изолятсия, ки барои кам кардани иқтидори паразитӣ бодиққат тарҳрезӣ шудааст, кори дастгоҳро тавассути коҳиш додани дахолати номатлуби барқ беҳтар мекунад. Субстрати кремнийи поёнӣ дастгирии механикиро таъмин мекунад ва мутобиқатро бо технологияҳои мавҷудаи коркарди кремний таъмин мекунад.
Дар микроэлектроника, вафли SOI ҳамчун асос барои сохтани микросхемаҳои интегралӣ (IC) бо суръати баланд, самаранокии нерӯ ва эътимоднокӣ хидмат мекунад. Меъмории сеқабати он имкон медиҳад, ки дастгоҳҳои мураккаби нимноқилӣ ба монанди CMOS (комплементарии металл-оксиди нимноқил) ICs, MEMS (системаҳои микро-электро-механикӣ) ва дастгоҳҳои энергетикӣ таҳия карда шаванд.
Дар домени RF, вафли SOI дар тарҳрезӣ ва татбиқи дастгоҳҳо ва системаҳои RF кори назаррасро нишон медиҳад. Иқтидори пасти паразитӣ, шиддати баланди вайроншавӣ ва хосиятҳои хуби изолятсия онро ба як субстрати беҳтарин барои коммутаторҳои РБ, пурқувваткунандаҳо, филтрҳо ва дигар ҷузъҳои РБ табдил медиҳанд. Илова бар ин, таҳаммулпазирии хоси радиатсионӣ ба вафли SOI онро барои барномаҳои аэрокосмосӣ ва мудофиа мувофиқ мегардонад, ки дар он ҷо эътимоднокӣ дар муҳити сахт муҳим аст.
Ғайр аз он, универсалии вафли SOI ба технологияҳои пайдошаванда, ба монанди микросхемаҳои интегралӣ фотоникӣ (PICs) паҳн мешавад, ки дар он ҷо ҳамгироии ҷузъҳои оптикӣ ва электронӣ дар як субстрат барои насли ояндаи телекоммуникатсия ва системаҳои алоқаи додаҳо ваъда медиҳад.
Хулоса, вафли сеқабати Силикон-Дар изолятор (SOI) дар сафи пеши навоварӣ дар микроэлектроника ва барномаҳои RF қарор дорад. Меъмории беназир ва хусусиятҳои истисноии иҷрои он барои пешрафтҳо дар соҳаҳои гуногун, пешрафт ва ташаккули ояндаи технология роҳ мекушояд.