Субстратҳои шишагии TGV вафли 12-дюймӣ, сӯрохкунии шишагӣ

Субстратҳои шишагӣ аз ҷиҳати хосиятҳои гармӣ, устувории физикӣ беҳтар кор мекунанд ва ба гармӣ бештар тобоваранд ва аз сабаби ҳарорати баланд ба каҷшавӣ ё деформатсия камтар майл доранд;

Илова бар ин, хосиятҳои беназири электрикии асли шиша имкон медиҳанд, ки талафоти диэлектрикии камтар ба даст оварда шавад ва интиқоли равшантари сигнал ва қувваи барқро таъмин намояд. Дар натиҷа, талафоти қувваи барқ ​​ҳангоми интиқоли сигнал кам мешавад ва самаранокии умумии чип ба таври табиӣ афзоиш меёбад. Ғафсии субстрати асли шишагиро дар муқоиса бо пластики ABF тақрибан нисф кам кардан мумкин аст ва тунуккунӣ суръати интиқоли сигнал ва самаранокии қувваи барқро беҳтар мекунад.

Технологияи сӯрохсозии TGV:

Усули кандакории бо лазер ба вуҷуд овардашуда барои ба вуҷуд овардани минтақаи денатуратсияи пайваста тавассути лазери импулсӣ истифода мешавад ва сипас шишаи коркардшуда бо лазер барои кандакорӣ ба маҳлули кислотаи гидрофторӣ гузошта мешавад. Суръати кандакории шишаи минтақаи денатуратсия дар кислотаи гидрофторӣ нисбат ба шишаи беденатуратсия тавассути сӯрохиҳо тезтар аст.

Пур кардани TGV:

Аввалан, сӯрохиҳои ноаёни TGV сохта мешаванд. Дуюм, қабати тухмӣ тавассути ҷойгиркунии физикии буғ (PVD) дар дохили сӯрохи ноаёни TGV ҷойгир карда мешавад. Сеюм, электроплиткунии аз поён ба боло пуркунии бефосилаи TGV-ро таъмин мекунад; Дар ниҳоят, тавассути пайванди муваққатӣ, суфтакунии қафо, сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ (CMP), кушодани пайванд, ташкили табақаи интиқоли пур аз металли TGV.