TGV Glass substrates 12inch wafer Glass шкалаи
Субстратҳои шишагӣ аз рӯи хосиятҳои гармӣ, устувории ҷисмонӣ беҳтар кор мекунанд ва ба гармӣ бештар тобоваранд ва аз сабаби ҳарорати баланд ба мушкилоти печидан ё деформатсия камтар майл доранд;
Илова бар ин, хосиятҳои электрикии беназири ядрои шиша имкон медиҳанд, ки талафоти диэлектрикӣ камтар шавад, ки сигнали равшантар ва интиқоли барқро фароҳам меорад. Дар натиҷа, талафоти барқ ҳангоми интиқоли сигнал кам мешавад ва самаранокии умумии чип табиатан афзоиш меёбад. Ғафсии субстрати аслии шишаро дар муқоиса бо пластикаи ABF тақрибан ду баробар кам кардан мумкин аст ва бориккунӣ суръати интиқоли сигнал ва самаранокии барқро беҳтар мекунад.
Технологияи ташаккули сӯрохи TGV:
Усули индуксионии лазерӣ барои ба вуҷуд овардани минтақаи денатуратсияи доимӣ тавассути лазери импулс истифода мешавад ва сипас шишаи коркарди лазерӣ ба маҳлули кислотаи гидрофторӣ барои пошидан гузошта мешавад. Суръати сӯрох кардани шишаи минтақаи денатуратсия дар кислотаи гидрофторӣ нисбат ба шишаи денатуратӣ барои ташаккули сӯрохиҳо тезтар аст.
пур кардани TGV:
Аввалан, сӯрохиҳои кӯр TGV сохта мешаванд. Дуюм, қабати тухмӣ дар дохили сӯрохи кӯри TGV тавассути таҳшини буғи физикӣ (PVD) гузошта шуд. Сеюм, электроплиткаи аз поён ба боло пур кардани бефосилаи TGV-ро ба даст меорад; Ниҳоят, тавассути пайванди муваққатӣ, суфтакунии пушти сар, сайқал додани механикии кимиёвӣ (CMP) экспозицияи мис, ҷудо кардан, ташаккул додани таблиғи интиқоли металлии TGV.