Марҳилаи ҳавоии ултра-дақиқ SiC

Тасвири махсуси марҳилаи ҳавоии SiC-и ултра-дақиқ

Тавсифи мухтасар:

Бо рушди пайвастаи саноати нимноқилҳо, таҷҳизоти коркард ва санҷиш ба самаранокии боз ҳам баландтар ниёз доранд. Бо такя ба таҷрибаи васеъ дар соҳаи назорати ҳаракат ва ҷойгиркунӣ дар сатҳи нанометр, мо марҳилаи ҳавоии ултра-дақиқи дуҷонибаи навъи H-и ҳамворро таҳия кардем.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Шарҳи умумӣ

Ин саҳна, ки бо сохтори сафолии карбиди кремний (SiC), ки аз ҷиҳати унсурҳои ниҳоӣ оптимизатсия шудааст ва технологияи ҳавобардории ҷуброншаванда тарҳрезӣ шудааст, дақиқӣ, сахтӣ ва вокуниши динамикии аълоро таъмин мекунад. Он барои:

Коркард ва санҷиши нимноқилҳо
Истеҳсол ва метрологияи микро/нано
Буридан ва сайқал додани пашша дар миқёси нанометр
Сканкунии дақиқи баландсуръат

Хусусиятҳои асосӣ

Роҳнамои ҳавоии SiCбарои сахтӣ ва дақиқии ултра баланд
Динамикаи баландсуръат то 1 м/с, шитоб то 4 г, ҷойгиршавии босуръат
Меҳвари Y-кантрии дуҷонибақобилияти баланди боркунӣ ва устувориро таъмин мекунад
Имконоти рамзгузор: панҷараи оптикӣ ё интерферометри лазерӣ
Дурустии ҷойгиркунӣ: ±0.15 мкм;такроршавандагӣ: ±75 нм
Масири кабелии оптимизатсияшудабарои тарҳи тоза ва эътимоднокии дарозмуддат
Конфигуратсияҳои танзимшавандабарои ниёзҳои мушаххаси барнома

Тарроҳии ултра-дақиқ ва меъмории мустақими бетамос

Чаҳорчӯбаи керамикии SiC: ~5× сахтии хӯлаи алюминий ва ~5× васеъшавии гармии камтар, ки устувории суръати баланд ва устувории гармиро таъмин мекунад.
Подшипники ҳавоии ҷуброншудаТарҳи хусусӣ сахтӣ, иқтидори борбардорӣ ва устувории ҳаракатро беҳтар мекунад.
Иҷрои динамикӣСуръати 1 м/с ва шитоби 4 г-ро дастгирӣ мекунад, ки барои равандҳои дорои иқтидори баланд беҳтарин аст.
Интегратсияи бефосила: Мутобиқ бо системаҳои изолятсияи ларзиш, марҳилаҳои гардишкунанда, модулҳои майл ва платформаҳои коркарди пластинаҳо.
Идоракунии кабелӣРадиуси хамшавии идорашаванда фишорро барои дароз кардани мӯҳлати хизмат ба ҳадди ақалл мерасонад.

Моторҳои хаттии беасосҲаракати ҳамвор бо қувваи сифрии гардонанда.
Драйвери бисёрмуҳаррикӣҶойгиркунии муҳаррики борбардорӣ ростӣ, ҳамворӣ ва дақиқии кунҷро беҳтар мекунад.
Изолятсияи гармӣМоторҳо аз сохтори саҳна ҷудо карда шудаанд; хунуккунии ҳаво ё об барои давраҳои баландсифат ихтиёрӣ аст.

Мушаххасот

Модел	400-400	500-500	600-600
Меҳварҳо	X (сканкунӣ) / Y (қадам)	X (сканкунӣ) / Y (қадам)	X (сканкунӣ) / Y (қадам)
Сафар (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Дақиқӣ (мкм)	±0.15	±0.2	±0.2
Такрорпазирӣ (нм)	±75	±100	±100
Қарор (нм)	0.3	0.3	0.3
Суръати максималӣ (м/с)	1	1	1
Шитоб (g)	4	4	4
Ростӣ (мкм)	±0.2	±0.3	±0.4
Устуворӣ (нм)	±5	±5	±5
Бори ҳадди аксар (кг)	20	20	20
Қадам/Ғелонда/Пишт (камон-сония)	±1	±1	±1

Шартҳои санҷиш:

Таъминоти ҳаво: тоза, хушк; нуқтаи шабнам ≤ 0°F; филтратсияи зарраҳо ≤ 0.25 μm; ё 99.99% нитроген.
Дақиқӣ дар баландии 25 мм аз маркази саҳна дар ҳарорати 20±1 °C, 40–60% RH чен карда шуд.

Барномаҳо

Литография, санҷиш ва коркарди пластинаҳои нимноқилӣ
Истеҳсоли микро/нано ва метрологияи дақиқ
Истеҳсоли оптикаи баландсифат ва интерферометрия
Аэрокосмос ва тадқиқоти илмии пешрафта

Саволҳои зуд-зуд додашаванда – Марҳилаи ҳавоии карбиди кремний

1. Марҳилаи ҳавоӣ чист?

Саҳнаи ҳаводор аз плёнкаи тунуки ҳавои фишордор байни саҳна ва роҳи роҳнамо истифода мебарад, то онро таъмин кунадҳаракати беисқоб, бефарсудашавӣ ва ултра ҳамворБар хилофи подшипникҳои механикии анъанавӣ, он лағжиши часпакро бартараф мекунад, дақиқии сатҳи нанометрро таъмин мекунад ва эътимоднокии дарозмуддатро дастгирӣ мекунад.

2. Чаро барои сохтори саҳна аз карбиди кремний (SiC) истифода бурдан лозим аст?

Сахтии баланд: ~5 × аз хӯлаи алюминий, ки деформатсияро ҳангоми ҳаракати динамикӣ ба ҳадди ақал мерасонад.
Васеъшавии гармии паст: ~5 маротиба камтар аз алюминий, дақиқиро дар зери тағирёбии ҳарорат нигоҳ медорад.
СабукЗичии пасттар дар муқоиса бо пӯлод, ки имкон медиҳад кори баландсуръат ва бо суръатбахшии баланд анҷом дода шавад.
Устувории аъло: Амплитсияи аъло ва сахтӣ барои ҷойгиркунии ултра-дақиқ.

3. Оё саҳна ба равған молидан ё нигоҳдорӣ ниёз дорад?

Равғани анъанавӣ лозим нест, зеро он вуҷуд дорадбе тамоси механикӣНигоҳдории тавсияшуда инҳоро дар бар мегирад:

Таъминотҳавои фишурдашудаи тоза, хушк ё нитроген
Санҷиши даврии филтрҳо ва хушккунакҳо
Кабелҳои назоратӣ ва системаҳои хунуккунӣ

4. Талабот барои таъмини ҳаво чист?

Нуқтаи шабнам: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Филтратсияи зарраҳо: ≤ 0.25 μm
Ҳавои тоза ва хушк ё 99.99% нитрогени холис
Фишори устувор бо ноустувории ҳадди ақал

Дар бораи мо

Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.