Вафери ёқутии 12-дюйма барои истеҳсоли нимноқилҳои баландҳаҷм

Вафли ёқутии 12-дюйма барои истеҳсоли нимноқилҳои баландҳаҷм. Тасвири махсус

Тавсифи мухтасар:

Вафли сапфири 12-дюйма барои қонеъ кардани талаботи афзоянда ба истеҳсоли нимноқилҳои масоҳати калон ва дорои иқтидори баланди истеҳсолӣ ва оптоэлектронӣ тарҳрезӣ шудааст. Бо афзоиши миқёси меъмории дастгоҳҳо ва ҳаракати хатҳои истеҳсолӣ ба самти форматҳои калонтари вафл, субстратҳои сапфир бо диаметрҳои ултра калон бартариҳои равшанро дар ҳосилнокӣ, беҳсозии ҳосилнокӣ ва назорати хароҷот пешниҳод мекунанд.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Муаррифии вафли ёқутии 12-дюйма

Вафлиҳои ёқутии 12-дюймаи мо, ки аз як кристаллии Al₂O₃ бо тозагии баланд истеҳсол шудаанд, қувваи аълои механикӣ, устувории гармӣ ва сифати сатҳро муттаҳид мекунанд. Тавассути афзоиши оптимизатсияшудаи кристалл ва коркарди дақиқи вафлиҳо, ин субстратҳо барои барномаҳои пешрафтаи LED, GaN ва нимноқилҳои махсус кори боэътимодро таъмин мекунанд.

Хусусиятҳои моддӣ

Ёқут (оксиди алюминийи монокристаллӣ, Al₂O₃) бо хосиятҳои барҷастаи физикӣ ва химиявии худ машҳур аст. Вафли 12-дюймаи ёқут ҳамаи бартариҳои маводи ёқутро мерос мегиранд ва ҳамзамон масоҳати хеле васеътари сатҳи истифодашавандаро таъмин мекунанд.

Хусусиятҳои асосии мавод инҳоянд:

Сахтии бениҳоят баланд ва муқовимати фарсудашавӣ
Устувории аълои гармӣ ва нуқтаи обшавии баланд
Муқовимати баланди кимиёвӣ ба кислотаҳо ва ишқорҳо
Шаффофияти баланди оптикӣ аз дарозии мавҷҳои ултрабунафш то IR
Хусусиятҳои аълои изолятсияи барқӣ

Ин хусусиятҳо вафлиҳои ёқутии 12-дюймаро барои муҳитҳои сахти коркард ва равандҳои истеҳсоли нимноқилҳои ҳарорати баланд мувофиқ мегардонанд.

Раванди истеҳсолӣ

Истеҳсоли вафли ёқутии 12-дюймаӣ афзоиши пешрафтаи кристаллҳо ва технологияҳои коркарди ултра-дақиқро талаб мекунад. Раванди маъмулии истеҳсолӣ инҳоро дар бар мегирад:

Афзоиши кристаллҳои ягона
Кристаллҳои сапфири тозаи баланд бо истифода аз усулҳои пешрафта ба монанди KY ё дигар технологияҳои парвариши кристаллҳои диаметри калон парвариш карда мешаванд, ки самти якхелаи кристалл ва фишори пасти дохилиро таъмин мекунанд.
Шаклдиҳӣ ва буридани кристаллҳо
Резаи ёқутӣ бо шакли дақиқ сохта шуда, бо истифода аз таҷҳизоти буридани дақиқи баланд ба лавҳаҳои 12-дюйма бурида шудааст, то осеби зеризаминиро кам кунад.
Рангкунӣ ва сайқалдиҳӣ
Равандҳои бисёрзинагии сайқалдиҳӣ ва сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ (CMP) барои ноҳамвории аълои сатҳ, ҳамворӣ ва якрангии ғафсӣ истифода мешаванд.
Тозакунӣ ва санҷиш
Ҳар як варақи ёқутии 12-дюйма аз тозакунии ҳамаҷониба ва санҷиши қатъӣ, аз ҷумла сифати сатҳ, TTV, камон, каҷшавӣ ва таҳлили нуқсонҳо, мегузаранд.

Барномаҳо

Вафли ёқутии 12-дюйма ба таври васеъ дар технологияҳои пешрафта ва навбунёд истифода мешаванд, аз ҷумла:

Субстратҳои LED бо қувваи баланд ва равшании баланд
Дастгоҳҳои барқӣ дар асоси GaN ва дастгоҳҳои RF
Таҷҳизоти нимноқилӣ ва субстратҳои изолятсиякунанда
Тирезаҳои оптикӣ ва ҷузъҳои оптикии масоҳати калон
Бастабандии пешрафтаи нимноқилҳо ва интиқолдиҳандагони махсуси равандҳо

Диаметри калон имкон медиҳад, ки иқтидори бештари истеҳсолот ва самаранокии хароҷот беҳтар карда шавад.

Афзалиятҳои вафлиҳои ёқутии 12-дюйма

Масоҳати васеътари истифодашаванда барои баромади баланди дастгоҳ барои як пластина
Беҳтар шудани мувофиқат ва якрангии равандҳо
Кам кардани хароҷот барои як дастгоҳ дар истеҳсоли ҳаҷми баланд
Қувваи механикии аъло барои коркарди андозаи калон
Мушаххасоти танзимшаванда барои барномаҳои гуногун

Имконоти фардикунонӣ

Мо барои вафлиҳои ёқутии 12-дюйма фармоиши чандирро пешниҳод менамоем, аз ҷумла:

Самти кристалл (ҳамвории C, ҳамвории A, ҳамвории R ва ғайра)
Таҳаммулпазирии ғафсӣ ва диаметр
Сайқалдиҳии яктарафа ё дутарафа
Профили канорӣ ва тарҳи фаска
Талабот ба ноҳамворӣ ва ҳамвории рӯизаминӣ

Параметр	Мушаххасот	Эзоҳҳо
Диаметри вафл	12 дюйм (300 мм)	Вафли стандартии диаметри калон
Мавод	Ёқути яккристаллӣ (Al₂O₃)	Сатҳи баланди тозагӣ, электронӣ/оптикӣ
Самти кристаллӣ	Ҳамвории C (0001), ҳамвории A (11-20), ҳамвории R (1-102)	Самтҳои ихтиёрӣ дастрасанд
Ғафсӣ	430–500 мкм	Ғафсии фармоишӣ бо дархост дастрас аст
Таҳаммулпазирии ғафсӣ	±10 мкм	Таҳаммулпазирии қатъӣ барои дастгоҳҳои пешрафта
Тағйирёбии ғафсии умумӣ (TTV)	≤10 мкм	Коркарди якхеларо дар тамоми лавҳа таъмин мекунад
Камон	≤50 мкм	Дар тамоми лавҳа чен карда шудааст
Варп	≤50 мкм	Дар тамоми лавҳа чен карда шудааст
Ранги рӯйпӯш	Сайқалёфтаи яктарафа (SSP) / Сайқалёфтаи дутарафа (DSP)	Сатҳи оптикии баландсифат
Ноҳамвории сатҳӣ (Ra)	≤0.5 нм (сайқалёфта)	Ҳамвории сатҳи атомӣ барои афзоиши эпитаксиалӣ
Профили канорӣ	Канори паҳлӯӣ / мудаввар	Барои пешгирӣ кардани шикастан ҳангоми коркард
Дақиқии самтгирӣ	±0.5°	Афзоиши дурусти қабати эпитаксиалиро таъмин мекунад
Зичии нуқсон	<10 см⁻²	Бо ёрии санҷиши оптикӣ чен карда мешавад
Ҳамворӣ	≤2 мкм / 100 мм	Рушди якхелаи литография ва эпитаксиалиро таъмин мекунад
Тозагӣ	Синфи 100 – Синфи 1000	Мутобиқати Cleanroom
Интиқоли оптикӣ	>85% (ултрабунафш-IR)	Аз дарозии мавҷ ва ғафсӣ вобаста аст

Саволҳои зуд-зуд додашаванда дар бораи вафли ёқутии 12-дюйма

С1: Ғафсии стандартии вафли ёқутии 12-дюйма чанд аст?
A: Ғафсии стандартӣ аз 430 мкм то 500 мкм аст. Ғафсии фармоишӣ инчунин метавонад мувофиқи талаботи муштарӣ истеҳсол карда шавад.

С2: Кадом самтҳои кристаллӣ барои вафлиҳои ёқутии 12-дюйма мавҷуданд?
A: Мо самтҳои ҳамвории C (0001), ҳамвории A (11-20) ва ҳамвории R (1-102)-ро пешниҳод менамоем. Самтҳои дигарро вобаста ба талаботи мушаххаси дастгоҳ танзим кардан мумкин аст.

С3: Тағйирёбии ғафсии умумии (TTV) пластина чанд аст?
A: Вафлиҳои ёқутии 12-дюймаи мо одатан TTV ≤10 мкм доранд, ки якрангиро дар тамоми сатҳи вафли барои истеҳсоли дастгоҳи баландсифат таъмин мекунад.

Дар бораи мо

Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.