Субстратҳои SiC бо диаметри 3 дюйм 76.2 мм HPSI Prime Research ва синфи Dummy
Субстратҳои карбиди кремнийро ба ду категория тақсим кардан мумкин аст
Субстрати ноқил: ба муқовимати субстрати карбиди кремнийи 15 ~ 30 мΩ-см ишора мекунад. Вафери эпитаксиалии кремнийи карбид, ки аз субстрати карбиди кремнийи ноқил парвариш карда мешавад, минбаъд метавонад ба дастгоҳҳои барқӣ табдил дода шавад, ки ба таври васеъ дар мошинҳои нави энергетикӣ, фотоэлектрикӣ, шабакаҳои интеллектуалӣ ва нақлиёти роҳи оҳан истифода мешаванд.
Субстрати нимизолятсионӣ ба субстрати карбиди кремний бо муқовимати аз 100000Ω-cm баландтар ишора мекунад, ки асосан дар истеҳсоли дастгоҳҳои басомади радиоии печи галлий нитрид истифода мешавад ва асоси соҳаи алоқаи бесим мебошад.
Он ҷузъи асосӣ дар соҳаи алоқаи бесим аст.
Субстратҳои ноқилӣ ва нимизолятсионӣ аз карбиди кремний дар доираи васеи дастгоҳҳои электронӣ ва дастгоҳҳои барқӣ, аз ҷумла, вале на маҳдуд ба инҳо, истифода мешаванд:
Дастгоҳҳои нимноқилии баландқудрат (гузаронанда): Субстратҳои карбиди кремний қувваи баланди майдони вайроншавӣ ва гузаронандагии гармӣ доранд ва барои истеҳсоли транзисторҳо ва диодҳои баландқудрат ва дигар дастгоҳҳо мувофиқанд.
Дастгоҳҳои электронии RF (нимизолятсионӣ): Субстратҳои силикон карбидӣ суръати баланди гузариш ва таҳаммулпазирии қувва доранд, ки барои барномаҳо ба монанди тақвиятдиҳандаҳои қувва дар RF, дастгоҳҳои печи микроволновка ва коммутаторҳои басомади баланд мувофиқанд.
Дастгоҳҳои оптоэлектронӣ (нимизоляцияшуда): Субстратҳои карбиди кремний дорои фосилаи васеи энергетикӣ ва устувории баланди гармӣ мебошанд, ки барои истеҳсоли фотодиодҳо, батареяҳои офтобӣ ва диодҳои лазерӣ ва дигар дастгоҳҳо мувофиқанд.
Сенсорҳои ҳарорат (гузаронанда): Субстратҳои карбиди кремний дорои гузаронандагии баланди гармӣ ва устувории гармӣ мебошанд, ки барои истеҳсоли сенсорҳои ҳарорати баланд ва асбобҳои ченкунии ҳарорат мувофиқанд.
Раванди истеҳсол ва татбиқи субстратҳои ноқилӣ ва нимизолятсионӣ бо карбиди кремний доираи васеи соҳаҳо ва имкониятҳоро доранд, ки имкониятҳои навро барои рушди дастгоҳҳои электронӣ ва дастгоҳҳои барқӣ фароҳам меоранд.
Диаграммаи муфассал



