Субстрати барқароркунии такрории 8 дюймаи силиконии навъи P/N (100) 1-100Ω
Муаррифии қуттии вафли
Вафли силиконии 8-дюйма як маводи маъмулан истифодашавандаи субстрати силикон аст ва дар раванди истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ васеъ истифода мешавад. Чунин вафли силикон одатан барои сохтани намудҳои гуногуни микросхемаҳои интегралӣ, аз ҷумла микропросессорҳо, чипҳои хотира, сенсорҳо ва дигар дастгоҳҳои электронӣ истифода мешаванд. Вафли силиконии 8-дюйма одатан барои сохтани чипҳои андозаҳои нисбатан калон истифода мешаванд, ки бартариҳои онҳо масоҳати калонтари сатҳ ва қобилияти сохтани чипҳои бештар дар як вафли силикон мебошанд, ки боиси афзоиши самаранокии истеҳсолот мегардад. Вафли силиконии 8-дюйма инчунин хосиятҳои хуби механикӣ ва химиявӣ дорад, ки барои истеҳсоли микросхемаҳои интегралии миқёси калон мувофиқ аст.
Хусусиятҳои маҳсулот
Навъи 8" P/N, вафли силиконии сайқалёфта (25 дона)
Самт: 200
Муқовимат: 0.1 - 40 ohm•cm (Он метавонад аз партия ба партия фарқ кунад)
Ғафсӣ: 725+/- 20ум
Синфи асосӣ/Монитор/Санҷиш
ХУСУСИЯТҲОИ МАВОДӢ
| Параметр | Хусусият |
| Навъ/Допант | P, Бор N, Фосфор N, Сурма N, Арсен |
| Самтҳо | <100>, <111> буридани самтҳо мувофиқи мушаххасоти муштарӣ |
| Миқдори оксиген | 1019ppmA Таҳаммулпазирии фармоишӣ мувофиқи мушаххасоти муштарӣ |
| Миқдори карбон | <0.6 ppmA |
ХУСУСИЯТҲОИ МЕХАНИКӢ
| Параметр | Прайм | Монитор/ Санҷиши A | Санҷиш |
| Диаметр | 200±0.2мм | 200 ± 0.2 мм | 200 ± 0.5 мм |
| Ғафсӣ | 725±20µm (стандартӣ) | 725±25µm (стандартӣ) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (стандартӣ) |
| TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
| Камон | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Печондан | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Мудавваркунии канорҳо | НИММУНАВӢ-СТД | ||
| Нишонгузорӣ | Танҳо нимҳамвор, нимҳамвор, ҳаммомҳои нимҳамвор ва ҳаммомҳои Ҷейда, ноч | ||
| Параметр | Прайм | Монитор/ Санҷиши A | Санҷиш |
| Меъёрҳои тарафи пеш | |||
| Ҳолати сатҳӣ | Сайқал додани механикии кимиёвӣ | Сайқал додани механикии кимиёвӣ | Сайқал додани механикии кимиёвӣ |
| Ноҳамвории сатҳӣ | <2 А° | <2 А° | <2 А° |
| Олудашавӣ Зарраҳо дар >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
| Туман, чоҳҳо пӯсти афлесун | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ |
| Арра, Маркс Стриатсияҳо | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ |
| Меъёрҳои тарафи қафо | |||
| Тарқишҳо, пойҳои қаҳваранг, доғҳои арра | Ҳеҷ | Ҳеҷ | Ҳеҷ |
| Ҳолати сатҳӣ | Каустикӣ бо кандакорӣ | ||
Диаграммаи муфассал





