Вафлҳои кварсии бо тозагии баланд гудохташуда барои барномаҳои оптикии нимноқилҳо ва фотоникӣ 2″4″6″8″12″

Вафли кварсии бо тозагии баланд гудохташуда барои барномаҳои оптикии нимноқилҳо ва фотоникӣ 2″4″6″8″12″ Тасвири пешниҳодшуда

Тавсифи мухтасар:

Кварси гудохташуда—инчунин бо номиСиликати гудохташуда—шакли ғайрикристаллӣ (аморфӣ)-и диоксиди кремний (SiO₂) мебошад. Бар хилофи боросиликат ё дигар шишаҳои саноатӣ, кварси гудохташуда ягон илова ё доманадор надорад, ки таркиби тозаи химиявии SiO₂-ро пешниҳод мекунад. Он бо интиқоли истисноии оптикии худ дар спектрҳои ултрабунафш (UV) ва инфрасурх (IR) машҳур аст, ки аз маводҳои шишагии анъанавӣ пеш гузаштааст.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Вафли шишагии кварси оптикии кремнийи гудохташуда-2

fused_quartz_wafer_4_inch_fused_silica_wafer_

Шарҳи мухтасари шишаи кварсӣ

Пластинаҳои кварц сутуни дастгоҳҳои бешумори муосирро ташкил медиҳанд, ки ҷаҳони рақамии имрӯзаро пеш мебаранд. Аз паймоиш дар смартфони шумо то сутуни истгоҳҳои пойгоҳии 5G, кварц оромона устуворӣ, покӣ ва дақиқии заруриро дар электроника ва фотоника таъмин мекунад. Новобаста аз он ки онҳо схемаҳои чандирро дастгирӣ мекунанд, сенсорҳои MEMS-ро фаъол мекунанд ё асоси ҳисоббарории квантиро ташкил медиҳанд, хусусиятҳои беназири кварц онро дар тамоми соҳаҳо ивазнашаванда мегардонанд.

«Кремнийи гудохташуда» ё «Кварси гудохташуда», ки фазаи аморфии кварс (SiO2) мебошад. Дар муқоиса бо шишаи боросиликатӣ, кремнийи гудохташуда ягон илова надорад; аз ин рӯ, он дар шакли холиси худ, SiO2, мавҷуд аст. Кремнийи гудохташуда дар муқоиса бо шишаи муқаррарӣ интиқоли баландтар дар спектри инфрасурх ва ултрабунафш дорад. Кремнийи гудохташуда бо роҳи гудохта ва дубора сахт кардани SiO2 ултрахолис ҳосил мешавад. Аз тарафи дигар, кремнийи гудохташудаи синтетикӣ аз прекурсорҳои кимиёвии бой аз кремний, ба монанди SiCl4, сохта мешавад, ки газӣ мешаванд ва сипас дар атмосфераи H2 + O2 оксид мешаванд. Хоки SiO2, ки дар ин ҳолат ба вуҷуд омадааст, ба кремний дар субстрат гудохта мешавад. Блокҳои кремнийи гудохташуда ба вафлҳо бурида мешаванд, ки баъд аз он вафлҳо ниҳоят сайқал дода мешаванд.

Вафли шишагии кварси оптикии омехташудаи кремний ва

Хусусиятҳо ва бартариҳои асосии вафли шишагии кварц

Покии ултра-баланд (≥99.99% SiO2)
Барои равандҳои нимноқилӣ ва фотоникии ултра тоза, ки дар онҳо ифлосшавии мавод бояд ба ҳадди ақал расонида шавад, беҳтарин аст.
Диапазони васеи кори гармӣ
Якпорчагии сохториро аз ҳарорати криогенӣ то зиёда аз 1100°C бе каҷшавӣ ё вайроншавӣ нигоҳ медорад.
Интиқоли аълои ултрабунафш ва инфрасурх
Аз нурҳои ултрабунафши амиқ (DUV) то инфрасурхи наздик (NIR) шаффофияти аълои оптикиро таъмин мекунад ва барномаҳои дақиқи оптикиро дастгирӣ мекунад.
Коэффитсиенти пасти васеъшавии гармӣ
Устувории андозагириро дар зери тағйирёбии ҳарорат беҳтар мекунад, стрессро кам мекунад ва эътимоднокии равандро беҳтар мекунад.
Муқовимати олии кимиёвӣ
Ба аксари кислотаҳо, ишқорҳо ва ҳалкунандаҳо бетағйир боқӣ мемонад, ки онро барои муҳитҳои аз ҷиҳати химиявӣ хашмгин мувофиқ мегардонад.
Чандирии анҷоми рӯизаминӣ
Бо рӯйпӯшҳои ултра ҳамвор, яктарафа ё дутарафа сайқалёфта дастрас аст, ки бо талаботи фотоника ва MEMS мувофиқ аст.

Раванди истеҳсоли вафли шишаи кварсӣ

Вафли кварсии гудохташуда тавассути як қатор қадамҳои назоратшаванда ва дақиқ истеҳсол карда мешаванд:

Интихоби ашёи хом
Интихоби манбаъҳои кварси табиии тозагии баланд ё SiO₂ синтетикии сунъӣ.
Обшавӣ ва омехташавӣ
Кварц дар танӯрҳои барқӣ дар ҳарорати ~2000°C дар атмосфераи назоратшаванда гудохта мешавад, то дохилшавӣ ва ҳубобчаҳоро аз байн барад.
Ташаккули блок
Кремнийи гудохта ба блокҳои сахт ё пораҳои сӯзишворӣ хунук карда мешавад.
Буридани вафли
Барои буридани пораҳои пластина ба шакли бланкаҳо, арраҳои алмосии дақиқ ё симӣ истифода мешаванд.
Рафтан ва сайқал додан
Ҳарду сатҳ ҳамвор ва сайқал дода шудаанд, то ба хусусиятҳои дақиқи оптикӣ, ғафсӣ ва ноҳамворӣ мувофиқат кунанд.
Тозакунӣ ва санҷиш
Вафлиҳо дар утоқҳои тозаи ISO Class 100/1000 тоза карда мешаванд ва аз санҷиши қатъии нуқсонҳо ва мутобиқати андозаҳо мегузаранд.

Хусусиятҳои вафли шишаи кварсӣ

мушаххасот	воҳид	4"	6"	8"	10"	12"
Диаметр / андоза (ё чоркунҷа)	mm	100	150	200	250	300
Таҳаммулпазирӣ (±)	mm	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2
Ғафсӣ	mm	0.10 ё бештар	0.30 ё бештар аз он	0.40 ё бештар аз он	0.50 ё бештар аз он	0.50 ё бештар аз он
Ҳамвори истинодии асосӣ	mm	32.5	57.5	Нимноқил	Нимноқил	Нимноқил
LTV (5мм×5мм)	мкм	<0.5	<0.5	<0.5	<0.5	<0.5
TTV	мкм	<2	<3	<3	<5	<5
Камон	мкм	±20	±30	±40	±40	±40
Варп	мкм	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5мм×5мм) < 0.4μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Мудавваркунии канорҳо	mm	Мутобиқ бо стандарти SEMI M1.2 / ба IEC62276 муроҷиат кунед
Навъи сатҳ		Яктарафа сайқалёфта / Дутарафа сайқалёфта
Тарафи сайқалёфтаи Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Меъёрҳои тарафи қафо	мкм	умумӣ 0.2-0.7 ё фармоишӣ

Кварц ва дигар маводҳои шаффоф

Амвол	Шишаи кварсӣ	Шишаи боросиликатӣ	Ёқут	Шишаи стандартӣ
Ҳарорати максималии корӣ	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
Интиқоли ултрабунафш	Аъло (JGS1)	Бечора	Хуб	Хеле бад
Муқовимати кимиёвӣ	Аъло	Мӯътадил	Аъло	Бечора
Покӣ	Ниҳоят баланд	Паст то миёна	Баланд	Паст
Васеъшавии гармӣ	Хеле паст	Мӯътадил	Паст	Баланд
Арзиш	Миёна то баланд	Паст	Баланд	Хеле паст

Саволҳои зуд-зуд додашаванда дар бораи вафли шишагии кварц

С1: Фарқи байни кварси гудохта ва кремнийи гудохта чист?
Гарчанде ки ҳарду шаклҳои аморфии SiO₂ мебошанд, кварси гудохташуда одатан аз манбаъҳои табиии кварс сарчашма мегирад, дар ҳоле ки кремнийи гудохташуда ба таври сунъӣ истеҳсол мешавад. Аз ҷиҳати функсионалӣ, онҳо самаранокии якхеларо пешниҳод мекунанд, аммо кремнийи гудохташуда метавонад покӣ ва якхелагии каме баландтар дошта бошад.

С2: Оё пластинаҳои кварсии гудохташударо дар муҳитҳои вакуумии баланд истифода бурдан мумкин аст?
Бале. Аз сабаби хосиятҳои пасти газгузаронӣ ва муқовимати баланди гармӣ, пластинаҳои кварсии гудохташуда барои системаҳои вакуумӣ ва барномаҳои кайҳонӣ аъло мебошанд.

С3: Оё ин пластинаҳо барои истифода дар лазерҳои ултрабунафш мувофиқанд?
Албатта. Кварси гудохташуда дорои гузариши баланд то ~185 нм мебошад, ки онро барои оптикаи DUV, ниқобҳои литографӣ ва системаҳои лазерии эксимерӣ беҳтарин мегардонад.

С4: Оё шумо истеҳсоли фармоишии вафлиро дастгирӣ мекунед?
Бале. Мо мутобиқсозии пурра, аз ҷумла диаметр, ғафсӣ, сифати сатҳ, ҳамворӣ/буридаҳо ва нақшбандии лазериро вобаста ба талаботи мушаххаси барномаи шумо пешниҳод менамоем.

Дар бораи мо

Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.

Субстрати хоми ёқутии холӣ аз лавандаи ёқутии покиза барои коркард 5