Технологияҳои тозакунии вафли ва ҳуҷҷатҳои техникӣ

Мундариҷа

1. Ҳадафҳои асосӣ ва аҳамияти тоза кардани вафли

2. Арзёбии ифлосшавӣ ва усулҳои пешрафтаи таҳлилӣ

3.Усулҳои пешрафтаи тозакунӣ ва принсипҳои техникӣ

4. Асосҳои татбиқи техникӣ ва назорати равандҳо

5. Тамоюлҳои оянда ва самтҳои инноватсионӣ

6.​HKH End-to-End Solutions and Services экосистема

Тоза кардани вафли як раванди муҳим дар истеҳсоли нимноқилҳо мебошад, зеро ҳатто ифлоскунандаҳои сатҳи атомӣ метавонанд кор ё ҳосили дастгоҳро паст кунанд. Раванди тозакунӣ маъмулан қадамҳои зиёдеро барои тоза кардани ифлоскунандаҳои гуногун, аз қабили пасмондаҳои органикӣ, ифлосиҳои металлӣ, зарраҳо ва оксидҳои ватанӣ дар бар мегирад.

1. Ҳадафҳои тозакунии вафли

• Олудаҳои органикиро хориҷ кунед (масалан, пасмондаҳои фоторезистӣ, изи ангушт).
• Бартараф кардани ифлосиҳои металлӣ (масалан, Fe, Cu, Ni).
• Бартараф кардани ифлосшавии заррачаҳо (масалан, чанг, пораҳои кремний).
• Оксидҳои ватаниро хориҷ кунед (масалан, қабатҳои SiO₂ ҳангоми таъсири ҳаво ба вуҷуд меоянд).

2. Муҳимияти тозакунии ҷиддии вафли

• Ҳосили баланди раванд ва иҷрои дастгоҳро таъмин мекунад.
• Камбудиҳо ва сатҳи партовҳои вафлиро коҳиш медиҳад.
• Сифати рӯизаминӣ ва мутобиқатиро беҳтар мекунад.

Пеш аз тозакунии пуршиддат, арзёбии ифлосшавии сатҳи мавҷуда муҳим аст. Фаҳмидани намуд, тақсимоти андоза ва ҷойгиршавии фазоии ифлоскунандаҳо дар сатҳи вафли химияи тозакунӣ ва воридшавии энергияи механикиро оптимизатсия мекунад.

3. Усулҳои пешрафтаи таҳлилӣ барои арзёбии ифлосшавӣ

3.1 Таҳлили зарраҳои рӯизаминӣ

• Ҳисобкунакҳои махсуси зарраҳо барои ҳисоб, андоза ва харитаи партовҳои рӯизаминӣ парокандакунии лазерӣ ё биниши компютериро истифода мебаранд.
• Шиддати паҳншавии рӯшноӣ бо андозаи заррачаҳо то даҳҳо нанометр ва зичӣ то 0,1 зарра/см² мувофиқат мекунад.
• Калибрченкунӣ бо стандартҳо эътимоднокии сахтафзорро таъмин мекунад. Сканҳои пеш аз тозакунӣ ва пас аз тозакунӣ самаранокии бартарафсозӣ ва такмилдиҳии равандро тасдиқ мекунанд.

3.2 Таҳлили сатҳи элементҳо

• Усулҳои ҳассос ба рӯи замин таркиби элементҳоро муайян мекунанд.
• Спектроскопияи рентгении фотоэлектрони (XPS/ESCA): Ҳолатҳои кимиёвии рӯизаминиро тавассути шуоъ кардани пластин бо рентгенҳо ва чен кардани электронҳои пошидашуда таҳлил мекунад.
• Спектроскопияи оптикии партовҳои партовҳои дурахшанда (GD-OES): Ҳангоми таҳлили спектрҳои партобшуда барои муайян кардани таркиби элементҳои аз амиқ вобаста қабатҳои сатҳи ултра тунукро пай дар пай паҳн мекунад.
• Маҳдудияти ошкор ба қисмҳои як миллион (ppm) мерасад, ки интихоби оптималии химияи тозакуниро роҳнамоӣ мекунад.

3.3 Таҳлили ифлосшавии морфологӣ

• Микроскопияи электронии сканерӣ (SEM)​: Тасвирҳои баландсифатро барои ошкор кардани шаклҳо ва таносуби ҷанбаҳои ифлоскунанда сабт мекунад, ки механизмҳои пайвастшавиро (химиявӣ ва механикӣ) нишон медиҳанд.
• Микроскопияи Қувваи Атомӣ (AFM): Харитаҳои топографияи наномикёс барои муайян кардани баландии зарраҳо ва хосиятҳои механикӣ.
• Фокуси нури ионӣ (FIB) Фрезинг + Микроскопияи электронии интиқол (TEM): Манзараи дохилии ифлоскунандаҳои дафншударо таъмин мекунад.

4. Усулҳои пешрафтаи тозакунӣ

Ҳангоме ки тозакунии ҳалкунанда ифлоскунандагони органикиро самаранок нест мекунад, барои зарраҳои ғайриорганикӣ, пасмондаҳои металлӣ ва ифлоскунандаҳои ионӣ усулҳои иловагии пешрафта лозиманд:

.

4.1 Тозакунии RCA

• Ин усул, ки аз ҷониби RCA Laboratories таҳия шудааст, раванди ваннаи дугонаро барои тоза кардани ифлоскунандаҳои қутбӣ истифода мебарад.
• SC-1 (Standard Clean-1)​: ифлоскунандаҳои органикӣ ва зарраҳоро бо истифода аз омехтаи NH₄OH, H₂O₂ ва H₂O​ тоза мекунад (масалан, таносуби 1:1:5 дар ~20°C). Қабати тунуки диоксиди кремнийро ташкил медиҳад.
• SC-2 (Standard Clean-2)​: Олудаҳои металлиро бо истифода аз HCl, H₂O₂ ва H₂O​ тоза мекунад (масалан, таносуби 1:1:6 дар ~80°C). Сатҳи пассившударо тарк мекунад.
• Тозаро бо муҳофизати рӯизаминӣ мувозинат мекунад.

.

4.2 Тозакунии озон

• Вафлиҳоро дар оби деионизатсияшуда (O₃/H₂O) ғарқ мекунад.
• Органикҳоро ба таври муассир оксид мекунад ва хориҷ мекунад, бе осеб ба вафли, сатҳи аз ҷиҳати кимиёвӣ пассившуда боқӣ мемонад.

.

4.3 Тозакунии мегасоникӣ.

• Энергияи ултрасадои баландбасомадро (одатан 750–900 кГц) дар якҷоягӣ бо маҳлулҳои тозакунӣ истифода мебарад.
• Ҳубобҳои кавитатсионӣ, ки ифлоскунандаҳоро хориҷ мекунанд, тавлид мекунад. Ба геометрияҳои мураккаб ворид шуда, ҳангоми кам кардани зарар ба сохторҳои нозук.

4.4 Тозакунии криогенӣ

• Вафлиҳоро ба ҳарорати криогенӣ зуд сард мекунад, ифлоскунандаҳои пошида.
• Шустушӯи минбаъда ё шустаи нарм зарраҳои сустшударо нест мекунад. Аз дубора ифлосшавӣ ва паҳншавӣ ба рӯи замин пешгирӣ мекунад.
• Раванди зуд ва хушк бо истифодаи ҳадди ақали кимиёвӣ.

Хулоса:
Ҳамчун як провайдери пешбари ҳалли нимноқилҳои нимноқилӣ, XKH аз ҷониби навовариҳои технологӣ идора карда мешавад ва муштарӣ бояд экосистемаи хидматрасонии ниҳоӣ ба анҷом расонад, ки таъминоти таҷҳизоти баландсифат, истеҳсоли вафли ва тозакунии дақиқро дар бар мегирад. Мо на танҳо таҷҳизоти нимноқилҳои дар сатҳи байналмилалӣ эътирофшударо (масалан, мошинҳои литографӣ, системаҳои пошхӯрӣ) бо ҳалли махсус таъмин мекунем, балки технологияҳои пешқадами хусусӣ, аз ҷумла тозакунии RCA, тозакунии озон ва тозакунии мегасоникӣ - барои таъмини тозагии сатҳи атомӣ барои истеҳсоли вафли, ба таври назаррас баланд бардоштани самаранокии истеҳсолот. Бо истифода аз гурӯҳҳои зудамали маҳаллӣ ва шабакаҳои интеллектуалии хидматрасонӣ, мо дастгирии ҳамаҷонибаро аз насби таҷҳизот ва оптимизатсияи равандҳо то нигоҳдории пешгӯишаванда таъмин мекунем, ба мизоҷон имконият медиҳем, ки мушкилоти техникӣ ва пешрафтро ба рушди дақиқтар ва устувори нимноқилҳо пеш баранд. Моро барои синергетикаи дугонаи таҷрибаи техникӣ ва арзиши тиҷоратӣ интихоб кунед.