Мундариҷа
1. Шарҳи умумӣ ва вазифаҳои асосии FOUP
2. Хусусиятҳои сохтор ва тарҳрезии FOUP
3. Дастур оид ба тасниф ва татбиқи FOUP
4. Амалҳо ва аҳамияти FOUP дар истеҳсоли нимноқилҳо
5. Мушкилоти техникӣ ва тамоюлҳои рушди оянда
Қарорҳои фармоишӣ ва дастгирии хидматрасонии 6.XKH
Дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо, як контейнери ягонаи кушодаи Front Opening (FOUP) як контейнери муҳимест, ки барои ҳифз, интиқол ва нигоҳ доштани вафлиҳо истифода мешавад. Дар дохили он метавонад 25 дона вафли 300 мм ҷойгир карда шавад ва ҷузъҳои асосии он як контейнери пешина ва чаҳорчӯбаи дари махсус барои кушодан ва пӯшиданро дар бар мегиранд. FOUP як интиқолдиҳандаи асосӣ дар системаи автоматии нақлиёт дар дохили фабҳои 12 дюймаи вафли мебошад. Он одатан дар ҳолати пӯшида интиқол дода мешавад ва танҳо ҳангоми тела додан ба бандари боркунии таҷҳизот кушода мешавад ва имкон медиҳад, ки вафлиҳо ба бандари боркунӣ/борфарории таҷҳизот интиқол дода шаванд.
Тарҳрезии FOUP ба талаботи микро-муҳит мутобиқ карда шудааст. Он дар қафо ҷойгоҳҳо барои гузоштани вафлиро дорад ва сарпӯш махсус барои мувофиқ кардани тазиқи кушоянда тарҳрезӣ шудааст. Роботҳои коркарди вафли дар муҳити тозаи Синфи 1 кор мекунанд ва кафолат медиҳанд, ки вафлиҳо ҳангоми интиқол олуда нашаванд. Ғайр аз он, FOUP дар байни асбобҳои раванд тавассути системаи автоматии коркарди мавод (AMHS) интиқол дода мешавад. Фабрикаҳои муосири вафли асосан барои ҳамлу нақл системаҳои роҳи оҳанро истифода мебаранд, дар ҳоле ки якчанд фабрикҳои кӯҳна метавонанд мошинҳои автоматии роҳнамои заминиро (AGVs) истифода баранд.
FOUP на танҳо интиқоли автоматии вафлиро имкон медиҳад, балки вазифаи нигоҳдорӣ низ хидмат мекунад. Аз сабаби қадамҳои сершумори истеҳсолӣ, вафлиҳо метавонанд моҳҳоро дар бар гиранд, то тамоми ҷараёни равандро ба анҷом расонанд. Дар якҷоягӣ бо ҳаҷми баланди истеҳсоли моҳона, ин маънои онро дорад, ки даҳҳо ҳазор вафли дар дохили як фабб доим дар транзит ё нигоҳдории муваққатӣ дар вақти дилхоҳ қарор доранд. Ҳангоми нигоҳдорӣ, FOUP-ҳо давра ба давра бо нитроген тоза карда мешаванд, то ки ифлоскунандаҳо бо вафельҳо тамос гиранд ва раванди тоза ва боэътимоди истеҳсолиро таъмин кунанд.
1. Вазифаҳо ва аҳамияти FOUP
Вазифаи асосии FOUP аз муҳофизати вафлиҳо аз зарбаи беруна ва ифлосшавӣ, бахусус пешгирӣ кардани таъсир ба ҳосил ҳангоми интиқол мебошад. Он тавассути усулҳои тозакунии газ ва назорати атмосфераи маҳаллӣ (LAC) намиро ба таври муассир пешгирӣ мекунад ва кафолат медиҳад, ки вафлиҳо дар ҳолати бехатар нигоҳ дошта мешаванд ва ҳангоми интизории қадами навбатии истеҳсолот. Системаи пӯшида ва назоратшавандаи он имкон медиҳад, ки танҳо пайвастагиҳо ва элементҳои зарурӣ ворид шаванд ва таъсири манфии VOCs, оксиген ва намиро ба вафлиҳо ба таври назаррас коҳиш медиҳад.
Азбаски як FOUP пурра бо 25 вафли пурборшуда метавонад то 9 кило вазн дошта бошад, интиқоли он бояд ба системаи автоматикунонидашудаи коркарди мавод (AMHS) такя кунад. Барои осон кардани ин, FOUP бо таркиби гуногуни плитаҳои пайвасткунанда, пинҳо ва сӯрохиҳо тарҳрезӣ шудааст ва бо барчаспҳои электронии RFID барои муайянкунӣ ва таснифоти осон муҷаҳҳаз шудааст. Ин коркарди автоматикунонидашуда қариб ягон кори дастиро талаб намекунад, ки сатҳи хатогиҳоро хеле кам мекунад ва бехатарӣ ва дақиқии раванди истеҳсолиро беҳтар мекунад.
2. Сохтор ва таснифоти FOUP
Андозаҳои маъмулии FOUP тақрибан 420 мм дар паҳно, 335 мм амиқ ва 335 мм баландӣ мебошанд. Ба ҷузъҳои асосии сохтории он иборатанд аз: OHT боло (сари занбӯруғ) барои интиқоли борбардор; Дари пеши барои дастрасии вафли таҷҳизот; Дастакҳои паҳлӯӣ, ки аксар вақт барои фарқ кардани минтақаҳои коркард бо сатҳҳои ифлосшавии гуногун ранг карда шудаанд; майдони корт барои ҷойгир кардани кортҳои паёмӣ; ва теги поёни RFID, ки ҳамчун идентификатори беназири FOUP хидмат мекунад, ки ба асбобҳо ва борбардорҳои болоӣ имкон медиҳад, ки онро эътироф кунанд. Пойгоҳ инчунин бо чор сӯрохии муайянкунӣ ва ҷойгиркунӣ барои мувофиқат бо асбобҳо ва ҷудо кардани минтақаҳои раванд муҷаҳҳаз шудааст.
Аз рӯи истифода, FOUPҳо ба се намуд тасниф мешаванд: PRD (барои истеҳсолот), ENG (барои вафли муҳандисӣ) ва MON (барои вафли монитор). PRD FOUPs метавонанд барои истеҳсоли маҳсулот истифода шаванд, намудҳои ENG барои R&D ё таҷрибаҳо мувофиқанд ва намудҳои MON барои мониторинги равандҳо барои қадамҳои монанди CMP ва DIFF бахшида шудаанд. Бояд қайд кард, ки PRD FOUP-ро ҳам барои ENG ва ҳам MON истифода бурдан мумкин аст ва намудҳои ENG метавонанд барои MON истифода шаванд, аммо амалиёти баръакс хатари сифатро ба бор меорад.
Аз рӯи сатҳи ифлосшавӣ тасниф карда мешаванд, FOUPҳоро ба FE FOUP (раванди пештара, бе металл), BE FOUP (раванди ақибмонда, дорои металл) ва онҳое, ки барои равандҳои мушаххаси металлӣ, ба монанди NI FOUP, CU FOUP ва CO FOUP махсус шудаанд, тақсим кардан мумкин аст. FOUP барои равандҳои гуногун маъмулан бо ранги дастаки паҳлӯ ё панелҳои дарҳо фарқ мекунанд. FOUP-ҳои равандҳои пешрафта метавонанд дар равандҳои ақиб истифода шаванд, аммо FOUP-ҳои пушти сар набояд ҳеҷ гоҳ дар равандҳои пешрафта истифода шаванд, зеро ин боиси хатари олудашавӣ мегардад.
Ҳамчун як интиқолдиҳандаи калидӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо, FOUP тавассути автоматизатсияи баланд ва назорати қатъии ифлосшавӣ бехатарӣ ва тозагии вафлиҳоро дар ҷараёни истеҳсолот таъмин намуда, онро ба инфрасохтори ҷудонашаванда дар фабҳои муосири вафли табдил медиҳад.
Хулоса
XKH ӯҳдадор аст, ки ба мизоҷон ҳалли хеле фармоишии Front-Opening Unified Pod (FOUP) пешниҳод кунад, ки ба талаботи мушаххаси равандҳои шумо ва мушаххасоти интерфейси таҷҳизот риояи қатъӣ дорад. Бо истифода аз технологияи пешрафтаи моддӣ ва равандҳои дақиқи истеҳсолӣ, мо кафолат медиҳем, ки ҳар як маҳсулоти FOUP ҳавои истисноӣ, тозагӣ ва устувории механикиро таъмин мекунад. Дастаи техникии мо дорои таҷрибаи амиқи соҳаи саноат буда, дастгирии ҳамаҷонибаи давраи ҳаёт - аз машварати интихоб ва оптимизатсияи сохторӣ то тозакунӣ ва нигоҳдорӣ - таъмин намудани ҳамгироии бефосила ва ҳамкории муассир байни FOUP ва Системаи автоматии коркарди мавод (AMHS) ва инчунин таҷҳизоти коркардро пешкаш мекунад. Мо пайваста ба бехатарии пластинкаҳо ва баланд бардоштани ҳосилнокии истеҳсолот ҳамчун ҳадафҳои асосии худ афзалият медиҳем. Тавассути маҳсулоти инноватсионӣ ва хидматрасонии ҳамаҷонибаи техникӣ, мо барои равандҳои истеҳсолии нимноқилҳои шумо кафолати устувор медиҳем ва дар ниҳоят самаранокии истеҳсолот ва ҳосили маҳсулотро баланд мебардорем.
Вақти фиристодан: сентябр-08-2025