Дастаки чангаки керамикии SiC / End Effector - Коркарди дақиқи пешрафта барои истеҳсоли нимноқилҳо
Диаграммаи муфассал
Шарҳи маҳсулот
Дастаки чангаки керамикии SiC, ки аксар вақт ҳамчун эффектори охири керамикӣ номида мешавад, як ҷузъи коркарди дақиқи баландсифат мебошад, ки махсус барои интиқоли вафлҳо, ҳамоҳангсозӣ ва ҷойгиркунӣ дар соҳаҳои технологияи баланд, бахусус дар истеҳсоли нимноқилҳо ва фотоэлектрикӣ таҳия шудааст. Ин ҷузъ, ки бо истифода аз сафолҳои карбиди кремнийи тозагии баланд истеҳсол шудааст, қувваи механикии истисноӣ, васеъшавии гармии ултра паст ва муқовимати бартариро ба зарбаи гармӣ ва зангзанӣ муттаҳид мекунад.
Бар хилофи эффекторҳои ниҳоии анъанавӣ, ки аз алюминий, пӯлоди зангногир ё ҳатто кварс сохта шудаанд, эффекторҳои ниҳоии керамикии SiC дар камераҳои вакуумӣ, утоқҳои тоза ва муҳитҳои сахти коркард самаранокии беҳамторо пешниҳод мекунанд, ки онҳоро ба як қисми калидии роботҳои коркарди вафли насли оянда табдил медиҳад. Бо афзоиши талабот ба истеҳсоли беифлосӣ ва таҳаммулпазирии сахттар дар истеҳсоли чипҳо, истифодаи эффекторҳои ниҳоии керамикӣ босуръат ба стандарти соҳа табдил меёбад.
Принсипи истеҳсолӣ
СохтаниЭффекторҳои охири керамикии SiCяк қатор равандҳои дақиқ ва тозагии баландро дар бар мегирад, ки ҳам самаранокӣ ва ҳам устувориро таъмин мекунанд. Одатан ду раванди асосӣ истифода мешаванд:
Карбиди кремнийи бо реаксия пайвастшуда (RB-SiC)
Дар ин раванд, преформе, ки аз хокаи карбиди кремний ва пайвандкунанда сохта шудааст, дар ҳарорати баланд (~1500°C) бо кремнийи гудохта ворид карда мешавад, ки бо карбони боқимонда реаксия карда, як композити зич ва сахти SiC-Si-ро ташкил медиҳад. Ин усул назорати аълои андозагириро таъмин мекунад ва барои истеҳсоли миқёси калон аз ҷиҳати хароҷот самаранок аст.
Карбиди силиконии бефишор (SSiC)
SSiC бо роҳи пухтани хокаи ултрамайда ва тозагии баландсифати SiC дар ҳарорати ниҳоят баланд (>2000°C) бидуни истифодаи иловаҳо ё фазаи пайвасткунӣ истеҳсол карда мешавад. Дар натиҷа, маҳсулоте бо зичии қариб 100% ва баландтарин хосиятҳои механикӣ ва гармӣ дар байни маводҳои SiC ба даст оварда мешавад. Он барои коркарди вафли ултра-муҳим беҳтарин аст.
Коркарди баъдӣ
-
Коркарди дақиқи CNC: Ба ҳамворӣ ва параллелизми баланд ноил мегардад.
-
Пардозиши сатҳӣСайқал додани алмос ноҳамвории сатҳро то <0.02 µm кам мекунад.
-
Санҷиш: Барои тасдиқи ҳар як порча интерферометрияи оптикӣ, CMM ва санҷиши ғайривайронкунанда истифода мешаванд.
Ин қадамҳо кафолат медиҳанд, киЭффектори ниҳоии SiCдақиқии доимии ҷойгиркунии вафлҳо, ҳамвории аъло ва тавлиди ҳадди ақали зарраҳоро таъмин мекунад.
Хусусиятҳо ва бартариҳои асосӣ
| Хусусият | Тавсиф |
|---|---|
| Сахтии ултра-баланд | Сахтии Викерс > 2500 HV, ба фарсудашавӣ ва порашавӣ муқовимат мекунад. |
| Васеъшавии пасти гармӣ | CTE ~4.5×10⁻⁶/K, ки устувории андозагириро дар даври гармӣ таъмин мекунад. |
| Беэътиноии кимиёвӣ | Ба HF, HCl, газҳои плазма ва дигар агентҳои зангзананда тобовар аст. |
| Муқовимати аълои зарбаи гармӣ | Барои гармкунӣ/хунуккунии босуръат дар системаҳои вакуумӣ ва оташдон мувофиқ аст. |
| Сахтӣ ва қувваи баланд | Дастҳои дарози чангаки консолдорро бидуни каҷравӣ дастгирӣ мекунад. |
| Партовҳои кам | Барои муҳитҳои вакуумии ултрабаланд (UHV) беҳтарин аст. |
| Омода барои тозакунии утоқи тозакунии синфи 1 ISO | Амали бе зарраҳо якпорчагии вафлиро таъмин мекунад. |
Барномаҳо
Дастаки чархи керамикӣ / эффектори поёнии SiC дар соҳаҳое васеъ истифода мешавад, ки дақиқӣ, тозагӣ ва муқовимати кимиёвии шадидро талаб мекунанд. Сенарияҳои асосии истифода инҳоянд:
Истеҳсоли нимноқилҳо
-
Боркунӣ/борфарории пластинаҳо дар таҳшинкунӣ (CVD, PVD), кандакорӣ (RIE, DRIE) ва системаҳои тозакунӣ.
-
Интиқоли вафли роботӣ байни FOUP-ҳо, кассетаҳо ва асбобҳои коркард.
-
Коркарди ҳарорати баланд ҳангоми коркарди гармӣ ё гармкунӣ.
Истеҳсоли ҳуҷайраҳои фотоэлектрикӣ
-
Интиқоли нозуки пластинаҳои нозуки кремний ё субстратҳои офтобӣ дар хатҳои автоматӣ.
Саноати намоиши панелҳои ҳамвор (FPD)
-
Интиқоли панелҳо ё субстратҳои калони шишагӣ дар муҳитҳои истеҳсолии OLED/LCD.
Нимноқилҳои мураккаб / MEMS
-
Дар хатҳои истеҳсолии GaN, SiC ва MEMS истифода мешавад, ки дар онҳо назорати ифлосшавӣ ва дақиқии ҷойгиркунӣ муҳим аст.
Нақши эффектори ниҳоии он дар таъмини коркарди устувор ва бекамбудӣ ҳангоми амалиётҳои ҳассос махсусан муҳим аст.
Имкониятҳои фардикунонӣ
Мо барои қонеъ кардани талаботи гуногуни таҷҳизот ва равандҳо фармоишдиҳии васеъро пешниҳод менамоем:
-
Тарроҳии чангакТарҳбандии ду-дандона, бисёрангуштӣ ё сатҳҳои тақсимшуда.
-
Мутобиқати андозаи вафлВафлиҳо аз 2 дюйм то 12 дюйм.
-
Интерфейсҳои васлкунӣ: Бо дастҳои роботии OEM мувофиқ аст.
-
Ғафсӣ ва таҳаммулпазирии сатҳӣ: Ҳамвории сатҳи микрон ва мудавваркунии канорҳо дастрас аст.
-
Хусусиятҳои зиддилағзиш: Текстураҳо ё рӯйпӯшҳои рӯизаминии ихтиёрӣ барои часпиши боэътимоди вафли.
Ҳар якэффектори охири сафолӣбо мизоҷон якҷоя тарҳрезӣ шудааст, то мутобиқати дақиқро бо тағйироти ҳадди ақали асбобҳо таъмин намояд.
Саволҳои зуд-зуд додашаванда (FAQ)
С1: Чӣ тавр SiC барои татбиқи эффектори ниҳоӣ аз кварс беҳтар аст?
A1:Гарчанде ки кварц маъмулан барои покии худ истифода мешавад, он устувории механикӣ надорад ва дар зери бор ё зарбаи ҳароратӣ ба шикастан майл дорад. SiC мустаҳкамии аъло, муқовимати фарсудашавӣ ва устувории гармиро пешниҳод мекунад, ки хатари аз кор мондан ва осеб дидани пластинаро ба таври назаррас коҳиш медиҳад.
С2: Оё ин бозуи чангаки сафолӣ бо ҳама коркардкунандагони вафлии роботӣ мувофиқ аст?
A2:Бале, эффекторҳои охири сафолии мо бо аксари системаҳои асосии коркарди вафлҳо мувофиқанд ва метавонанд бо расмҳои дақиқи муҳандисӣ ба моделҳои мушаххаси роботии шумо мутобиқ карда шаванд.
С3: Оё он метавонад вафлиҳои 300 мм-ро бе каҷшавӣ идора кунад?
A3:Албатта. Сахтии баланди SiC ба ҳатто дастҳои борик ва дарози чангак имкон медиҳад, ки вафлиҳои 300 мм-ро бе хам шудан ё каҷ шудан ҳангоми ҳаракат боэътимод нигоҳ доранд.
С4: Мӯҳлати маъмулии хидматрасонии эффектори охири сафолии SiC чанд аст?
А4:Бо истифодаи дуруст, эффектори ниҳоии SiC метавонад аз 5 то 10 маротиба дарозтар аз моделҳои анъанавии кварс ё алюминий хизмат кунад, ки ин ба муқовимати аълои он ба фишори гармӣ ва механикӣ вобаста аст.
С5: Оё шумо хидматҳои ивазкунӣ ё прототипсозии фаврӣ пешниҳод мекунед?
A5:Бале, мо истеҳсоли босуръати намунаҳоро дастгирӣ мекунем ва хидматҳои ивазкуниро дар асоси нақшаҳои CAD ё қисмҳои муҳандисии баръакс аз таҷҳизоти мавҷуда пешниҳод менамоем.
Дар бораи мо
Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.
