Чаки сафолии карбиди силикон барои вафли сафири SiC Si GAAs

Чаки сафолии карбиди силикон барои вафли сапфири SiC Si GAAs Тасвири махсус

Тавсифи мухтасар:

Чаки керамикии силикон карбид платформаи баландсифатест, ки барои санҷиши нимноқилҳо, истеҳсоли пластинаҳо ва замимаҳои пайвасткунӣ тарҳрезӣ шудааст. Бо маводҳои пешрафтаи керамикӣ, аз ҷумла SiC-и синтӣ (SSiC), SiC-и бо реаксия пайвастшуда (RSiC), нитриди силикон ва нитриди алюминий сохта шудааст - он сахтии баланд, васеъшавии пасти гармӣ, муқовимати аълои фарсудашавӣ ва мӯҳлати хизмати дарозро пешниҳод мекунад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Шарҳи мухтасари чӯби керамикии силикон карбид (SiC)

ДарЧаки сафолии карбиди силиконплатформаи баландсифатест, ки барои санҷиши нимноқилҳо, истеҳсоли пластинаҳо ва замимаҳои пайвасткунӣ тарҳрезӣ шудааст. Бо истифода аз маводҳои пешрафтаи сафолӣ, аз ҷумлаSiC-и синтеризатсияшуда (SSiC), SiC бо реаксия пайвастшуда (RSiC), нитриди кремний, ванитриди алюминий— пешниҳод мекунадсахтии баланд, васеъшавии пасти гармӣ, муқовимати аълои фарсудашавӣ ва мӯҳлати хизмати дароз.

Бо муҳандисии дақиқ ва сайқалдиҳии муосир, патрон натиҷаи дилхоҳро медиҳадҳамвории зермикронӣ, сатҳҳои сифати оинаӣ ва устувории андозагирии дарозмуддат, ки онро барои равандҳои муҳими нимноқилҳо роҳи ҳалли беҳтарин мегардонад.

Бартариятҳои асосӣ

Дақиқии баланд
Ҳамворӣ дар дохили он назорат карда мешавад0.3–0.5 мкм, таъмини устувории пластина ва дақиқии пайвастаи раванд.
Сайқал додани оина
Ноил мегардадRa 0.02 мкмноҳамвории сатҳ, кам кардани харошидан ва ифлосшавӣ аз вафл - барои муҳитҳои ултра тоза комил аст.
Ултра-сабук
Нисбат ба субстратҳои кварсӣ ё металлӣ қавитар ва сабуктар аст, ки назорати ҳаракат, вокуниш ва дақиқии мавқеъгириро беҳтар мекунад.
Сахтии баланд
Модули истисноии Янг устувории андозаро дар зери бори вазнин ва кори баландсуръат таъмин мекунад.
Васеъшавии пасти гармӣ
CTE бо вафлиҳои силиконӣ хеле мувофиқ аст, ки фишори гармиро коҳиш медиҳад ва эътимоднокии равандро беҳтар мекунад.
Муқовимати фарсудашавии аъло
Сахтии шадид ҳатто ҳангоми истифодаи дарозмуддат ва басомади баланд ҳамворӣ ва дақиқиро нигоҳ медорад.

Раванди истеҳсолӣ

Тайёр кардани ашёи хом
Хокаҳои SiC бо тозагии баланд бо андозаи зарраҳои назоратшаванда ва ифлосҳои хеле кам.
Шаклдиҳӣ ва пухтан
Усулҳо ба монандисинтези бефишор (SSiC) or пайванди реаксия (RSiC)субстратҳои керамикии зич ва якхеларо ба вуҷуд меоранд.
Коркарди дақиқ
Суфтакунии CNC, буридани лазерӣ ва коркарди ултра-дақиқ ба таҳаммулпазирии ±0.01 мм ва параллелизми ≤3 мкм ноил мегарданд.
Коркарди рӯизаминӣ
Суфтакунӣ ва сайқалдиҳии бисёрмарҳилаӣ то Ra 0.02 μm; рӯйпӯшҳои ихтиёрӣ барои муқовимат ба зангзанӣ ё хосиятҳои соишдиҳии фармоишӣ дастрасанд.
Санҷиш ва назорати сифат
Интерферометрҳо ва санҷандаҳои ноҳамворӣ мутобиқати хусусиятҳои дараҷаи нимноқилҳоро тафтиш мекунанд.

Хусусиятҳои техникӣ

Параметр	Арзиш	Воҳид
Ҳамворӣ	≤0.5	мкм
Андозаҳои вафл	6'', 8'', 12'' (фармоишӣ дастрас аст)	—
Навъи сатҳ	Навъи сӯзан / Навъи ҳалқа	—
Баландии сӯзан	0.05–0.2	mm
Диаметри ҳадди ақали сӯзан	ϕ0.2	mm
Фосилаи ҳадди ақали сӯзанҳо	3	mm
Паҳнои ҳадди ақали ҳалқаи мӯҳр	0.7	mm
Ноҳамвории сатҳӣ	Ra 0.02	мкм
Таҳаммулпазирии ғафсӣ	±0.01	mm
Таҳаммулпазирии диаметр	±0.01	mm
Таҳаммулпазирии параллелизм	≤3	мкм

Барномаҳои асосӣ

Таҷҳизоти санҷиши вафли нимноқилҳо
Системаҳои истеҳсол ва интиқоли вафлҳо
Асбобҳои часпонидан ва бастабандӣ кардани вафлҳо
Истеҳсоли пешрафтаи дастгоҳҳои оптоэлектронӣ
Асбобҳои дақиқ, ки сатҳҳои ултра ҳамвор ва ултра тозаро талаб мекунанд

Саволҳо ва ҷавобҳо – Чаки сафолии силикон карбид

С1: Чӣ тавр патронҳои сафолии SiC бо патронҳои кварсӣ ё металлӣ муқоиса мешаванд?
A1: Патрони SiC сабуктар, сахттар ва дорои CTE наздик ба пластинаҳои силикон мебошанд, ки деформатсияи гармиро ба ҳадди ақалл мерасонанд. Онҳо инчунин муқовимати аълои фарсудашавӣ ва мӯҳлати хизмати дарозтарро пешниҳод мекунанд.

С2: Ба кадом ҳамворӣ ноил шудан мумкин аст?
A2: Дар дохили он назорат карда мешавад0.3–0.5 мкм, ки ба талаботи қатъии истеҳсоли нимноқилҳо ҷавобгӯ бошад.

С3: Оё сатҳи пластинаҳо харошида мешаванд?
A3: Не — сайқал дода шудаастRa 0.02 мкм, таъмини коркарди бе харошидан ва кам кардани пайдоиши зарраҳо.

С4: Кадом андозаҳои вафлҳо дастгирӣ мешаванд?
A4: Андозаҳои стандартии6 дюйм, 8 дюйм ва 12 дюйм, бо имконияти танзимкунӣ дастрас аст.

С5: Муқовимати гармӣ чӣ гуна аст?
A5: Керамикаи SiC иҷрои аълои ҳарорати баландро бо деформатсияи ҳадди ақал дар давраи даври гармӣ таъмин мекунад.

Дар бораи мо

Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.