Хатти автоматикунонии сайқалдиҳии чормарҳилавии пайвастшудаи пластинаи силикон / карбиди силикон (SiC) (Хати коркарди ҳамгирошудаи пас аз сайқалдиҳӣ)

Тавсифи мухтасар:

Ин хати автоматикунонии сайқалдиҳии чормарҳилавии пайвастшуда як роҳи ҳалли муттаҳид ва дар хат мебошад, ки барои...пас аз сайқалдиҳӣ / пас аз CMPамалиётисиликонвакарбиди кремний (SiC)вафлиҳо. Дар атрофи он сохта шудаандинтиқолдиҳандаҳои сафолӣ (табақҳои сафолӣ), система якчанд вазифаҳои поёнобиро дар як хати ҳамоҳангшуда муттаҳид мекунад - ба корхонаҳо дар кам кардани коркарди дастӣ, мӯътадил кардани вақти такт ва тақвияти назорати ифлосшавӣ кӯмак мекунад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Шарҳи умумӣ

Дар истеҳсоли нимноқилҳо,тозакунии самараноки пас аз CMPҳамчун қадами калидӣ барои кам кардани камбудиҳо пеш аз раванди навбатӣ ва равишҳои пешрафта (аз ҷумла) ба таври васеъ эътироф шудааст.тозакунии мегасоникӣ) одатан барои беҳтар кардани самаранокии тоза кардани зарраҳо муҳокима карда мешаванд.

Хусусан барои SiC, онсахтии баланд ва инерсияи кимиёвӣсайқалдиҳиро душвор мегардонад (аксар вақт бо суръати пасти тозакунии мавод ва хатари баланди осеб дидани сатҳ/зеризаминӣ алоқаманд аст), ки автоматикунонии устувори пас аз сайқалдиҳӣ ва тозакунӣ/коркарди назоратшавандаро махсусан арзишманд мегардонад.

Бартариҳои асосӣ

Як хати ягонаи муттаҳидшуда, ки инҳоро дастгирӣ мекунад:

Ҷудокунӣ ва ҷамъоварии вафли(пас аз сайқал додан)
Буферкунӣ/нигоҳдории интиқолдиҳандаи керамикӣ
Тозакунии боркашони керамикӣ
Васлкунии (часпонидани) вафл ба боркашҳои сафолӣ
Амалиётҳои муттаҳидшуда ва якхатта бароиВафлиҳои 6-8 дюймӣ

Хусусиятҳои техникӣ (Аз варақаи додашуда)

Андозаҳои таҷҳизот (Д×П×Б):13643 × 5030 × 2300 мм
Таъмини нерӯ:AC 380 В, 50 Гц
Қувваи умумӣ:119 кВт
Тозагии васлкунӣ:0.5 мкм < 50 дона; 5 мкм < 1 дона
Ҳамвории васлкунӣ:≤ 2 мкм

Истиноди гузариш (Аз варақаи додаҳои пешниҳодшуда)

Андозаҳои таҷҳизот (Д×П×Б):13643 × 5030 × 2300 мм
Таъмини нерӯ:AC 380 В, 50 Гц
Қувваи умумӣ:119 кВт
Тозагии васлкунӣ:0.5 мкм < 50 дона; 5 мкм < 1 дона
Ҳамвории васлкунӣ:≤ 2 мкм

Ҷараёни маъмулии хат

Воридшавӣ / интерфейс аз минтақаи сайқалдиҳии болооб
Ҷудокунӣ ва ҷамъоварии вафлҳо
Буферкунӣ/нигоҳдории интиқолдиҳандаи керамикӣ (ҷудокунии вақти такт)
Тозакунии боркашони керамикӣ
Васл кардани пластина ба борбардорҳо (бо назорати тозагӣ ва ҳамворӣ)
Интиқоли маблағ ба раванди поёноб ё логистика

Саволҳои зиёд такрормешуда

С1: Ин хат асосан кадом мушкилотро ҳал мекунад?
A: Он амалиёти пас аз сайқалдиҳиро тавассути ҳамгироии ҷудокунӣ/ҷамъоварии вафли, буферкунии интиқолдиҳандаи сафолӣ, тозакунии интиқолдиҳанда ва васлкунии вафли ба як хати ҳамоҳангшудаи автоматикунонӣ содда мекунад - нуқтаҳои ламси дастиро кам мекунад ва ритми истеҳсолотро устувор менамояд.

С2: Кадом маводҳо ва андозаҳои вафлҳо дастгирӣ мешаванд?
А:Силикон ва SiC,6–8 дюймвафлиҳо (мувофиқи мушаххасоти пешниҳодшуда).

С3: Чаро дар саноат ба тозакунии пас аз CMP таъкид карда мешавад?
A: Адабиёти соҳавӣ таъкид мекунад, ки талабот ба тозакунии самараноки пас аз CMP барои кам кардани зичии нуқсон пеш аз қадами оянда афзоиш ёфтааст; равишҳои мегасоникӣ одатан барои беҳтар кардани тозакунии зарраҳо омӯхта мешаванд.

Дар бораи мо

Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.