FZ CZ Si wafer дар анбор 12inch Silicon wafer Prime ё Test
Муаррифии қуттии вафли
Вафлиҳои сайқалёфта
Вафлиҳои силиконӣ, ки аз ҳарду тараф махсус сайқал дода шудаанд, то сатҳи оинашакл ба даст оварда шаванд. Хусусиятҳои олӣ ба монанди покӣ ва ҳамворӣ беҳтарин хусусиятҳои ин вафлиро муайян мекунанд.
Вафлиҳои силиконии бе допинг
Онҳо инчунин ҳамчун вафлиҳои кремнийи дохилӣ маълуманд. Ин нимноқил шакли холиси кристаллии кремний бидуни мавҷудияти ягон легиркунанда дар тамоми вафли мебошад, ки онро нимноқилҳои беҳтарин ва комил мегардонад.
Вафлиҳои силиконии легиршуда
Навъи N ва навъи P ду намуди пластинаҳои кремнийи легиршуда мебошанд.
Вафлиҳои кремнийи легиршудаи навъи N дорои арсен ё фосфор мебошанд. Он дар истеҳсоли дастгоҳҳои пешрафтаи CMOS ба таври васеъ истифода мешавад.
Вафлиҳои кремнийи навъи P-и бо бор легиршуда. Он асосан барои сохтани схемаҳои чопӣ ё фотолитография истифода мешавад.
Вафлҳои эпитаксиалӣ
Вафлиҳои эпитаксиалӣ вафлиҳои анъанавӣ мебошанд, ки барои ба даст овардани якпорчагии сатҳ истифода мешаванд. Вафлиҳои эпитаксиалӣ дар вафлиҳои ғафс ва тунук дастрасанд.
Вафли эпитаксиалии бисёрқабата ва вафли эпитаксиалии ғафс инчунин барои танзими истеъмоли энергия ва назорати қувваи дастгоҳҳо истифода мешаванд.
Вафлиҳои тунуки эпитаксиалӣ одатан дар асбобҳои олии MOS истифода мешаванд.
Вафлиҳои SOI
Ин пластинаҳо барои изолятсияи барқии қабатҳои нозуки кремнийи монокристаллӣ аз тамоми пластинаи кремний истифода мешаванд. Пластинаҳои SOI одатан дар фотоникаи кремний ва барномаҳои RF-и баландсифат истифода мешаванд. Пластинаҳои SOI инчунин барои кам кардани иқтидори дастгоҳҳои паразитӣ дар дастгоҳҳои микроэлектронӣ истифода мешаванд, ки ба беҳтар шудани кор мусоидат мекунад.
Чаро сохтани лавҳаҳои чӯбӣ душвор аст?
Вафлиҳои силиконии 12-дюйма аз ҷиҳати ҳосилнокӣ буридан хеле душвор аст. Гарчанде ки силикон сахт аст, он инчунин шикаста аст. Қитъаҳои ноҳамвор аз сабаби шикастани канорҳои вафлии буридашуда ба вуҷуд меоянд. Дискҳои алмосӣ барои ҳамвор кардани канорҳои вафли ва бартараф кардани ҳама гуна осеб истифода мешаванд. Пас аз буридан, вафлиҳо ба осонӣ мешикананд, зеро акнун онҳо кунҷҳои тез доранд. Канорҳои вафлиҳо ба тарзе тарҳрезӣ шудаанд, ки канорҳои нозук ва тез аз байн мераванд ва эҳтимолияти лағжиш кам мешавад. Дар натиҷаи амалиёти ташаккули канор, диаметри вафлиҳо танзим карда мешавад, вафлиҳо мудаввар карда мешаванд (пас аз буридан, вафлиҳои буридашуда байзашакл мешаванд) ва сӯрохҳо ё сатҳҳои самтдор сохта ё андоза карда мешаванд.
Диаграммаи муфассал





