FZ CZ Si вафли дар саҳҳомӣ 12дюймаи кремний вафли Prime ё Test
Муаррифии қуттии вафли
Вафли ҷилодор
Вафли кремний, ки барои ба даст овардани сатҳи оина аз ҳарду ҷониб махсус сайқал дода шудаанд. Хусусиятҳои олӣ ба монанди покӣ ва ҳамворӣ беҳтарин хусусиятҳои ин вафлиро муайян мекунанд.
Вафли бедонашудаи кремний
Онҳо инчунин ҳамчун вафли кремнийи дохилӣ маълуманд. Ин нимноқил як шакли холиси кристаллии кремний аст, бидуни мавҷудияти ягон допант дар тамоми вафли ва аз ин рӯ онро нимноқилҳои идеалӣ ва комил месозад.
Вафли кремнийи допшуда
Навъи N ва навъи P ду намуди вафли кремнийи допӣ мебошанд.
Вафли кремнийи навъи N дорои мышьяк ё фосфор дорад. Он дар истеҳсоли дастгоҳҳои пешрафтаи CMOS васеъ истифода мешавад.
Вафли кремнийи типи P-и бордор. Он асосан барои сохтани схемаҳои чопӣ ё фотолитография истифода мешавад.
Вафли эпитаксиалӣ
Вафли эпитаксиалӣ вафли муқаррарӣ мебошанд, ки барои ба даст овардани тамомияти рӯи замин истифода мешаванд. Вафли эпитаксиалӣ дар вафли ғафс ва борик мавҷуданд.
Вафли бисёрқабатаи эпитаксиалӣ ва вафли ғафси эпитаксиалӣ инчунин барои танзими масрафи энергия ва назорати қувваи дастгоҳҳо истифода мешавад.
Вафли тунуки эпитаксиалӣ одатан дар асбобҳои олии MOS истифода мешавад.
Вафли SOI
Ин пластинкаҳо барои изолятсияи барқии қабатҳои хуби кремнийи яккристаллӣ аз тамоми вафли кремний истифода мешаванд. Вафли SOI одатан дар фотоникаи кремний ва барномаҳои баландсифати RF истифода мешаванд. Вафли SOI инчунин барои коҳиш додани иқтидори паразитӣ дар дастгоҳҳои микроэлектронӣ истифода мешавад, ки ба беҳтар шудани кор мусоидат мекунад.
Чаро сохтани вафель душвор аст?
Вафли 12-дюймаи кремний аз ҷиҳати ҳосилнокӣ буридан хеле душвор аст. Гарчанде ки кремний сахт аст, он ҳам шикаста аст. Майдонҳои ноҳамвор ба вуҷуд меоянд, зеро кунҷҳои вафли аррашуда майл доранд. Дискҳои алмосӣ барои ҳамвор кардани кунҷҳои вафли ва бартараф кардани ҳама гуна зарар истифода мешаванд. Пас аз буридан, вафлиҳо ба осонӣ мешикананд, зеро онҳо ҳоло кунҷҳои тез доранд. Кунҷҳои вафли тавре тарҳрезӣ шудаанд, ки кунҷҳои нозук ва тез бартараф карда мешаванд ва имкони лағжиш кам мешавад. Дар натиљаи амалиёти ташаккули канор, диаметри вафли танзим карда мешавад, вафли мудаввар карда мешавад (пас аз буридан вафли бурида байзавии аст) ва чавгонњо ё њавоњои ориентационї сохта мешаванд ё андоза мегиранд.