Вафли силиконии оксиди гармидиҳӣ бо плёнкаи тунуки SiO2 4 дюйм 6 дюйм 8 дюйм 12 дюйм

Раванди асосии истеҳсоли пластинаҳои кремнийи оксидшуда одатан марҳилаҳои зеринро дар бар мегирад: парвариши кремнийи монокристаллӣ, буридан ба пластинаҳо, сайқал додан, тоза кардан ва оксид кардан.

Парвариши кремнийи монокристаллӣ: Аввалан, кремнийи монокристаллӣ дар ҳарорати баланд бо истифода аз усулҳо ба монанди усули Чохралски ё усули Float-zone парвариш карда мешавад. Ин усул имкон медиҳад, ки кристаллҳои монокристаллии кремний бо тозагии баланд ва якпорчагии шабакавӣ тайёр карда шаванд.

Реза кардан: Силикони монокристаллии парваришёфта одатан шакли силиндрӣ дорад ва барои истифода ҳамчун субстрати лавҳа бояд ба вафлиҳои тунук бурида шавад. Буридан одатан бо истифода аз бурандаи алмосӣ анҷом дода мешавад.

Сайқалдиҳӣ: Сатҳи лавҳаи буридашуда метавонад нобаробар бошад ва барои ба даст овардани сатҳи ҳамвор сайқалдиҳии кимиёвӣ-механикиро талаб мекунад.

Тозакунӣ: Вафли сайқалёфта барои тоза кардани ифлосӣ ва чанг тоза карда мешавад.

Оксидкунонӣ: Дар ниҳоят, вафлиҳои кремний барои коркарди оксидкунӣ ба кӯраи ҳарорати баланд гузошта мешаванд, то қабати муҳофизатии диоксиди кремнийро ташкил диҳанд, то хосиятҳои электрикӣ ва қувваи механикии онро беҳтар созанд, инчунин ҳамчун қабати изолятсиякунанда дар схемаҳои интегралӣ хизмат кунанд.

Истифодаи асосии пластинаҳои кремнийи оксидшуда истеҳсоли схемаҳои интегралӣ, истеҳсоли батареяҳои офтобӣ ва истеҳсоли дигар дастгоҳҳои электрониро дар бар мегирад. Пластинаҳои оксиди кремний дар соҳаи маводи нимноқилӣ ба таври васеъ истифода мешаванд, зеро онҳо хосиятҳои аълои механикӣ, устувории андоза ва химиявӣ, қобилияти кор дар ҳарорати баланд ва фишори баланд, инчунин хосиятҳои хуби изолятсия ва оптикӣ доранд.

Бартариҳои он сохтори пурраи кристаллӣ, таркиби химиявии холис, андозаҳои дақиқ, хосиятҳои хуби механикӣ ва ғайраро дар бар мегиранд. Ин хусусиятҳо вафлҳои оксиди кремнийро махсусан барои истеҳсоли схемаҳои интегралии баландсифат ва дигар дастгоҳҳои микроэлектронӣ мувофиқ мегардонанд.