Мошини сайқалдиҳии Ion Beam барои сапфир SiC Si

Тавсифи кӯтоҳ:

Мошини фигуратсия ва сайқал додани нури ион ба принсипипошидани ион. Дар дохили камераи баланд-вакуумӣ манбаи ион плазма тавлид мекунад, ки он ба нури ионҳои энергияи баланд суръат мегирад. Ин чӯб рӯи ҷузъи оптикиро бомбаборон карда, маводро дар миқёси атомӣ нест мекунад, то ба ислоҳ ва анҷом додани сатҳи ултра дақиқ ноил шавад.


Вижагиҳо

Диаграммаи муфассал

Мошини сайқал додани нури ион 1
Мошини сайқал додани нури ион 2

Шарҳи маҳсулот дар бораи мошини сайқал додани нури ион

Мошини фигуратсия ва сайқал додани нури ион ба принсипи пошидани ион асос ёфтааст. Дар дохили камераи баланд-вакуумӣ манбаи ион плазма тавлид мекунад, ки он ба нури ионҳои энергияи баланд суръат мегирад. Ин чӯб рӯи ҷузъи оптикиро бомбаборон карда, маводро дар миқёси атомӣ нест мекунад, то ба ислоҳ ва анҷом додани сатҳи ултра дақиқ ноил шавад.

Ҳамчун як раванди бидуни тамос, сайқал додани чӯби ион фишори механикиро бартараф мекунад ва осеби зеризаминиро пешгирӣ мекунад ва онро барои истеҳсоли оптикаи дақиқи баланд, ки дар астрономия, аэрокосмос, нимноқилҳо ва барномаҳои пешрафтаи тадқиқотӣ истифода мешаванд, беҳтарин месозад.

Принсипи кори мошини сайқал додани нури ионӣ

Насли ион
Гази инертӣ (масалан, аргон) ба камераи вакуумӣ ворид карда, тавассути разряди электрикӣ ионизатсия шуда, плазма ба вуҷуд меояд.

Шитоб ва ташаккули нур
Ионҳо то чандсад ё ҳазор электрон-волт (эВ) суръат мегиранд ва ба нуқтаи нури устувор ва мутамарказ табдил меёбанд.

Хориҷ кардани мавод
Шуои ионҳо атомҳоро аз рӯи физикӣ бе оғоз кардани реаксияҳои химиявӣ мепошад.

Муайян кардани хатогиҳо ва банақшагирии роҳ
Инҳирофҳои тасвири рӯизаминӣ бо интерферометрия чен карда мешаванд. Функсияҳои бартарафсозӣ барои муайян кардани вақти истиқомат ва тавлиди роҳҳои оптимизатсияшудаи асбобҳо истифода мешаванд.

Ислоҳи даври пӯшида
Давраҳои такрории коркард ва андозагирӣ то ба даст овардани ҳадафҳои дақиқи RMS/PV идома меёбанд.

Хусусиятҳои асосии мошини сайқал додани нури ион

Мутобиқати универсалии рӯизаминӣ– Коркарди сатҳи ҳамвор, сферикӣ, асферӣ ва шакли озодМошини сайқал додани нури ион 3

Меъёри бартарафсозии ултра устувор– Ислоҳи рақами зер-нанометриро фаъол месозад

Коркарди безарар– Ҳеҷ гуна нуқсонҳои зеризаминӣ ё тағйироти сохторӣ

Иҷрои муттасил– Дар маводҳои сахтии гуногун баробар хуб кор мекунад

Ислоҳи басомади паст/миёна- Хатогиро бе тавлиди артефактҳои миёна/басомади баланд бартараф мекунад

Талаботи пасти нигоҳдорӣ– Фаъолияти доимии тӯлонӣ бо вақти ҳадди ақал

Мушаххасоти асосии техникии мошини сайқал додани нури ион

Адад

Мушаххасоти

Усули коркард Парокандашавии ионҳо дар муҳити баланд вакуумӣ
Навъи коркард Андозагирии сатҳи бидуни тамос ва сайқал додан
Андозаи максималии қисми корӣ Φ4000мм
Меҳварҳои ҳаракат 3-меҳвар / 5-меҳвар
Устувории бартарафсозӣ ≥95%
Аниқии рӯизаминӣ PV <10 нм; RMS ≤ 0,5 нм (RMS маъмулӣ < 1 нм; PV < 15 нм)
Қобилияти ислоҳи басомад Хатогиҳои басомади паст-миёнаро бе ворид кардани хатогиҳои басомади миёна/баланд хориҷ мекунад
Амалиёти муттасил 3-5 ҳафта бе нигоҳдории чангкашак
Хароҷоти нигоҳдорӣ Кам

Имкониятҳои коркарди мошини сайқалдиҳии Ion Beam

Намудҳои рӯизаминии дастгирӣшаванда

Содда: ҳамвор, сферикӣ, призма

Маҷмаи: Асфераи симметрӣ/асимметрӣ, асфераи берун аз меҳвар, силиндрӣ

Махсус: Оптикаи ултра борик, оптикаи лампаҳо, оптикаи нимсфера, оптикаи конформалӣ, плитаҳои фазавӣ, сатҳҳои озод

Маводҳои дастгирӣ

Шишаи оптикӣ: кварц, микрокристаллӣ, K9 ва ғайра.

Маводҳои инфрасурх: кремний, германий ва ғайра.

Металлҳо: Алюминий, пӯлоди зангногир, хӯлаи титан ва ғайра.

Кристаллҳо: YAG, карбиди кремнийи яккристаллӣ ва ғайра.

Маводҳои сахт / шикаста: карбиди кремний ва ғайра.

Сифати рӯизаминӣ / дақиқ

PV <10 нм

RMS ≤ 0,5 нм

Мошини сайқал додани нури ион 6
Мошини сайқал додани нури ион 5

Коркарди мисолҳои омӯзиши мошини чӯби ион

Парвандаи 1 – Зеркало стандартии ҳамвор

Қисмати корӣ: ҳамвори кварси D630 мм

Натиҷа: PV 46,4 нм; RMS 4,63 нм

 标准镜1

Ҳолати 2 – Оинаи инъикоскунандаи рентген

Қисми корӣ: 150 × 30 мм кремний ҳамвор

Натиҷа: PV 8,3 нм; RMS 0,379 нм; Нишебии 0,13 мкрад

x射线反射镜

 

Парвандаи 3 – Зеркало аз меҳвар

Коркард: D326 мм оинаи замини берун аз меҳвар

Натиҷа: PV 35,9 нм; RMS 3,9 нм

离轴镜

FAQ оид ба айнакҳои кварц

FAQ - Мошини сайқал додани нури ион

Саволи 1: Сайлакунии нури ион чист?
A1:Парвариши чӯби ионӣ як раванди бидуни тамос аст, ки чӯби мутамаркази ионҳоро (ба монанди ионҳои аргон) барои хориҷ кардани мавод аз сатҳи порчаи кор истифода мебарад. Ионҳо суръат мегиранд ва ба рӯи рӯи замин равона карда мешаванд, ки боиси аз байн рафтани мавод дар сатҳи атом мешаванд, ки ба анҷоми ултра ҳамвор оварда мерасонанд. Ин раванд фишори механикӣ ва зарари зеризаминиро нест мекунад ва онро барои ҷузъҳои оптикии дақиқ беҳтарин месозад.


Саволи 2: Мошини сайқалдиҳии Ion Beam кадом намуди рӯиҳоро коркард карда метавонад?
A2:ДарМошини сайқал додани нури ионметавонад сатҳҳои гуногун, аз ҷумла ҷузъҳои оддии оптикиро коркард кунадҳамворҳо, кураҳо ва призмаҳо, инчунин геометрияхои мураккаб монандиасфераҳо, асферҳои берун аз меҳвар, васатҳҳои озод. Он махсусан дар маводҳо, ба монанди шишаҳои оптикӣ, оптикаи инфрасурх, металлҳо ва маводи сахт/шикан самаранок аст.


Саволи 3: Мошини сайқалдиҳии Ion Beam бо кадом маводҳо кор карда метавонад?
A3:ДарМошини сайқал додани нури ионметавонад доираи васеи маводҳоро сайқал диҳад, аз ҷумла:

  • Шишаи оптикӣ: кварц, микрокристаллӣ, K9 ва ғайра.

  • Маводҳои инфрасурх: кремний, германий ва ғайра.

  • Металлҳо: Алюминий, пӯлоди зангногир, хӯлаи титан ва ғайра.

  • Маводҳои кристаллӣ: ЯГ, карбиди кремнийи монокристалл ва гайра.

  • Дигар маводҳои сахт/шикан: карбиди кремний ва гайра.

Дар бораи мо

XKH ба коркарди технологияҳои баланд, истеҳсол ва фурӯши шишаи махсуси оптикӣ ва маводи нави булӯр тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва ҳарбӣ хизмат мекунанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, сарпӯши линзаҳои телефони мобилӣ, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Кварц ва пластинкаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи ботаҷриба ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва мақсад дорем, ки як корхонаи пешрафтаи технологӣ бо маводи оптоэлектронӣ бошем.

7b504f91-ffda-4cff-9998-3564800f63d6

  • гузашта:
  • Баъдӣ:

  • Паёми худро дар ин ҷо нависед ва ба мо бифиристед