Мошини сайқалдиҳии ионӣ барои SiC Si
Диаграммаи муфассал
Шарҳи маҳсулот дар бораи мошини сайқалдиҳии ионӣ
Мошини шаклдиҳӣ ва сайқалдиҳии шуоъҳои ионӣ ба принсипи пошидани ионҳо асос ёфтааст. Дар дохили камераи вакуумии баланд, манбаи ион плазмаро тавлид мекунад, ки ба шуоъи ионии дорои энергияи баланд суръат мегирад. Ин шуоъ сатҳи ҷузъи оптикиро бомбаборон мекунад ва маводро дар миқёси атомӣ тоза мекунад, то ислоҳ ва анҷоми ултра-дақиқи сатҳро ба даст орад.
Ҳамчун раванди ғайритамосӣ, сайқал додани нурҳои ионӣ фишори механикиро аз байн мебарад ва аз осеби зеризаминӣ пешгирӣ мекунад, ки онро барои истеҳсоли оптикаи баланддақиқ, ки дар астрономия, кайҳонӣ, нимноқилҳо ва барномаҳои пешрафтаи тадқиқотӣ истифода мешаванд, беҳтарин мегардонад.
Принсипи кори мошини сайқалдиҳии шуоъҳои ионӣ
Насли ионҳо
Гази инертӣ (масалан, аргон) ба камераи вакуумӣ ворид карда мешавад ва тавассути разряди электрикӣ ионизатсия карда мешавад, то плазма ҳосил шавад.
Шитоб ва ташаккули шуоъ
Ионҳо то садҳо ё ҳазорҳо электронвольт (эВ) суръат гирифта, ба нуқтаи устувори шуоъҳои мутамарказ табдил дода мешаванд.
Бартараф кардани мавод
Шуои ион атомҳоро аз сатҳ бе оғоз кардани реаксияҳои кимиёвӣ аз ҷиҳати ҷисмонӣ пош медиҳад.
Муайянкунии хатогиҳо ва банақшагирии роҳ
Инҳирофҳои қимати сатҳ бо истифода аз интерферометрия чен карда мешаванд. Функсияҳои бартарафкунӣ барои муайян кардани вақти таваққуф ва тавлиди масирҳои оптимизатсияшудаи асбобҳо истифода мешаванд.
Ислоҳи ҳалқаи пӯшида
Давраҳои такрории коркард ва андозагирӣ то расидан ба ҳадафҳои дақиқи RMS/PV идома меёбанд.
Хусусиятҳои асосии мошини сайқалдиҳии ионӣ
Мутобиқати универсалии рӯизаминӣ– Сатҳҳои ҳамвор, курашакл, асферӣ ва шакли озодро коркард мекунад
Суръати бартарафкунии ултра-устувор– Ислоҳи рақамҳои зернанометриро имкон медиҳад
Коркарди бе зарар– Ҳеҷ гуна нуқсонҳои зеризаминӣ ё тағйироти сохторӣ вуҷуд надоранд
Иҷрои мунтазам- Дар маводҳои дорои сахтии гуногун баробар хуб кор мекунад
Ислоҳи басомади паст/миёна– Хатогиҳоро бе тавлиди артефактҳои миёна/баландбасомад бартараф мекунад
Талаботи пасти нигоҳдорӣ– Кори дарозмуддати бефосила бо вақти ками таваққуф
Хусусиятҳои асосии техникии мошини сайқалдиҳии ионӣ
| Ашё | Мушаххасот |
| Усули коркард | Пошидани ион дар муҳити вакуумии баланд |
| Навъи коркард | Андозагирӣ ва сайқалдиҳии сатҳи бетамос |
| Андозаи максималии кор | Φ4000 мм |
| Меҳварҳои ҳаракат | 3-меҳвар / 5-меҳвар |
| Устувории бартарафкунӣ | ≥95% |
| Дақиқии сатҳӣ | PV < 10 нм; RMS ≤ 0.5 нм (RMS маъмулӣ < 1 нм; PV < 15 нм) |
| Қобилияти ислоҳи басомад | Хатогиҳои басомади паст-миёнаро бидуни ворид кардани хатогиҳои басомади миёна/баланд бартараф мекунад |
| Амалиётӣ пайваста | 3-5 ҳафта бе нигоҳдории чангкашак |
| Арзиши нигоҳдорӣ | Паст |
Имкониятҳои коркарди мошини сайқалдиҳии шуоъҳои ионӣ
Намудҳои сатҳи дастгиришаванда
Содда: Ҳамвор, курашакл, призма
Мураккаб: асфераи симметрӣ/асимметрӣ, асфераи берун аз меҳвар, силиндрӣ
Махсус: Оптикаи ултра тунук, оптикаи лавҳашакл, оптикаи нимкуравӣ, оптикаи конформалӣ, лавҳаҳои фазӣ, сатҳҳои шакли озод
Маводҳои дастгиришаванда
Шишаи оптикӣ: кварц, микрокристаллӣ, K9 ва ғайра.
Маводҳои инфрасурх: кремний, германий ва ғайра.
Металлҳо: Алюминий, пӯлоди зангногир, хӯлаи титан ва ғайра.
Кристаллҳо: YAG, карбиди кремнийи монокристаллӣ ва ғайра.
Маводҳои сахт/шикаста: карбиди кремний ва ғайра.
Сифати сатҳ / дақиқӣ
PV < 10 нм
RMS ≤ 0.5 нм
Таҳқиқоти ҳолатҳои коркарди мошини сайқалдиҳии шуоъҳои ионӣ
Ҳолати 1 – Оинаи ҳамвори стандартӣ
Қисми корӣ: ҳамвори кварсии D630 мм
Натиҷа: PV 46.4 нм; RMS 4.63 нм
Ҳолати 2 – Оинаи инъикоскунандаи рентгенӣ
Қисми корӣ: ҳамвори силиконии 150 × 30 мм
Натиҷа: PV 8.3 нм; RMS 0.379 нм; Нишебӣ 0.13 мкрад
Ҳолати 3 – Оинаи берун аз меҳвар
Қисми корӣ: оинаи заминии берун аз меҳвари D326 мм
Натиҷа: PV 35.9 нм; RMS 3.9 нм
Саволҳои зуд-зуд додашаванда дар бораи айнакҳои кварсӣ
Саволҳои зуд-зуд додашаванда – Мошини сайқалдиҳии шуоъҳои ионӣ
С1: Сайқал додани нурҳои ионӣ чист?
A1:Сайқал додани шуоъҳои ионӣ раванди ғайритамосӣ аст, ки аз шуоъи мутамаркази ионҳо (масалан, ионҳои аргон) барои тоза кардани мавод аз сатҳи кор истифода мебарад. Ионҳо суръат мегиранд ва ба самти сатҳ равона карда мешаванд, ки боиси тоза кардани мавод дар сатҳи атомӣ мегардад ва дар натиҷа коркарди ултра ҳамвор ба амал меояд. Ин раванд фишори механикӣ ва осеби зеризаминиро аз байн мебарад ва онро барои ҷузъҳои оптикии дақиқ беҳтарин мегардонад.
С2: Мошини сайқалдиҳии шуоъҳои ионӣ кадом намуди сатҳҳоро коркард карда метавонад?
A2:ДарМошини сайқалдиҳии ионӣметавонад сатҳҳои гуногунро, аз ҷумла ҷузъҳои оддии оптикиро, ба монандиҳамворҳо, кураҳо ва призмаҳо, инчунин геометрияҳои мураккаб ба монандиасфераҳо, асфераҳои берун аз меҳвар, васатҳҳои шакли озодОн махсусан дар маводҳо ба монанди шишаи оптикӣ, оптикаи инфрасурх, металлҳо ва маводҳои сахт/шикаста самаранок аст.
С3: Мошини сайқалдиҳии шуоъҳои ионӣ бо кадом маводҳо кор карда метавонад?
A3:ДарМошини сайқалдиҳии ионӣметавонад доираи васеи маводҳоро сайқал диҳад, аз ҷумла:
-
Шишаи оптикӣ: Кварс, микрокристаллӣ, K9 ва ғайра.
-
Маводҳои инфрасурх: Кремний, германий ва ғайра.
-
Металлҳо: Алюминий, пӯлоди зангногир, хӯлаи титан ва ғайра.
-
Маводҳои булӯрӣ: YAG, карбиди кремнийи монокристаллӣ ва ғайра.
-
Дигар маводҳои сахт/шикаста: карбиди кремний ва ғайра
Дар бораи мо
Ширкати XKH дар таҳия, истеҳсол ва фурӯши шишаҳои махсуси оптикӣ ва маводҳои нави булӯрӣ бо технологияи баланд тахассус дорад. Маҳсулоти мо ба электроникаи оптикӣ, электроникаи маишӣ ва низомӣ хизмат мерасонанд. Мо ҷузъҳои оптикии Sapphire, рӯйпӯшҳои линзаҳои телефонҳои мобилӣ, керамика, LT, SIC аз силикон карбид, кварц ва лавҳаҳои булӯрии нимноқилро пешниҳод менамоем. Бо таҷрибаи баланди касбӣ ва таҷҳизоти муосир, мо дар коркарди маҳсулоти ғайристандартӣ бартарӣ дорем ва ҳадафи он як корхонаи пешбари маводҳои оптоэлектронӣ бо технологияи баланд будан аст.















