LiTaO3 Wafer 2inch-8inch 10x10x0.5 mm 1sp 2sp барои 5G/6G Communications
Параметрҳои техникӣ
| Ном | Синфи оптикии LiTaO3 | Сатҳи мизи садо LiTaO3 |
| Аксиалӣ | Z буриш + / - 0,2 ° | буриш 36 ° Y / буриш 42 ° Y / буриш X (+ / - 0,2 °) |
| Диаметр | 76,2мм + / - 0,3мм/ 100±0,2мм | 76,2мм + /-0,3мм 100мм + /-0,3мм 0р 150 ± 0,5мм |
| Ҳавопаймои маълумотӣ | 22мм + / - 2мм | 22мм + /-2мм 32мм + /-2мм |
| Ғафсӣ | 500ум + /-5мм 1000ум + /-5мм | 500ум + /-20мм 350ум + /-20мм |
| TTV | ≤ 10ум | ≤ 10ум |
| Ҳарорати Кюри | 605 °C + / - 0,7 °C (метод DTA) | 605 °C + / -3 °C (метод DTA |
| Сифати рӯизаминӣ | Пардохти дутарафа | Пардохти дутарафа |
| Кунҳои кандашуда | яклухткунии канор | яклухткунии канор |
Хусусиятҳои асосӣ
1. Иҷрои барқ ва оптикӣ
· Коэффисиенти электро-оптикӣ: r33 ба 30 pm/V мерасад (X-буриш), 1,5 × баландтар аз LiNbO3, имкон медиҳад, ки модулятсияи ултра-васеъи электро-оптикӣ (барои маҷрои> 40 ГГц).
· Ҷавоби спектри васеъ: Диапазони интиқол 0,4–5,0 мкм (ғафсӣ 8 мм), бо канори азхудкунии ултрабунафш то 280 нм, беҳтарин барои лазерҳои ултрабунафш ва дастгоҳҳои квантӣ.
· Коэффисиенти пасти пироэлектрикӣ: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), таъмини субот дар сенсорҳои инфрасурх ҳарорати баланд.
2. Хусусиятҳои гармидиҳӣ ва механикӣ
· Кобилияти гармидиҳии баланд: 4,6 Вт/м·К (X-буриш), чор маротиба нисбат ба кварц, устувории -200–500°C гардиши гармӣ.
· Коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), мувофиқ бо бастаи кремний барои кам кардани фишори гармӣ.
3. Назорати камбудиҳо ва дақиқии коркард
· Зичии микроқубур: <0,1 см⁻² (вафли 8 дюймӣ), зичии дислокация <500 см⁻² (тавассути коркарди KOH тасдиқ карда шудааст).
· Сифати рӯизаминӣ: CMP сайқал додашуда то Ra <0,5 нм, ҷавобгӯи талаботи ҳамворӣ дар дараҷаи EUV литография.
Барномаҳои асосӣ
| домен | Сенарияҳои татбиқ | Афзалиятҳои техникӣ |
| Алоқаи оптикӣ | Лазерҳои 100G/400G DWDM, модулҳои гибридии кремнийи фотоник | Интиқоли васеи спектри вафли LiTaO3 ва талафоти пасти мавҷ (α <0,1 дБ/см) ба тавсеаи диапазони C имкон медиҳад. |
| 5G/6G коммуникатсия | Филтрҳои SAW (1,8–3,5 ГГц), филтрҳои BAW-SMR | Вафли 42° Y буридашуда Kt² >15% -ро ба даст оварда, талафоти ками воридкуниро (<1,5 дБ) ва гардиши баландро (>30 дБ) медиҳад. |
| Технологияҳои квантӣ | Детекторҳои якфотонӣ, манбаъҳои табдили параметрии поён | Коэффисиенти баланди ғайрихаттӣ (χ(2)=40 pm/V) ва суръати пасти ҳисобкунии торикӣ (<100 ҳисоб/с) эътимоднокии квантиро беҳтар мекунад. |
| Санҷиши саноатӣ | Датчикхои фишори харорати баланд, трансформаторхои чараён | Вокуниши пьезоэлектрикии LiTaO3 вафли (g33 >20 мВ/м) ва таҳаммулпазирӣ ба ҳарорати баланд (>400°C) ба муҳити шадид мувофиқат мекунад. |
Хидматҳои XKH
1. Истеҳсоли вафли фармоишӣ
· Андоза ва буриш: Вафли 2–8-дюймаи бо X/Y/Z-буриш, 42°Y-буриш ва буришҳои кунҷии фармоишӣ (таҳаммулпазирӣ ±0,01°).
· Назорати допинг: допинги Fe, Mg тавассути усули Чочральски (диапазони консентратсияи 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) барои оптимизатсияи коэффисиентҳои электро-оптикӣ ва устувории гармӣ.
2. Технологияҳои пешрафтаи равандҳо
.
· Полинги даврӣ (PPLT): Технологияи Smart-Cut барои вафли LTOI, ки ба дақиқии давраи домени ±10 нм ва табдили басомади квазифазаӣ (QPM) ноил мешавад.
· Интегратсияи гетерогенӣ: Вафли таркибии LiTaO3 (POI) дар асоси Si бо назорати ғафсӣ (300–600 нм) ва гузариши гармӣ то 8,78 Вт/м·К барои филтрҳои басомади баланд SAW.
3.Системаҳои идоракунии сифат
.
· Санҷиши ниҳоӣ: спектроскопияи Раман (тасдиқи политип), XRD (кристаллӣ), AFM (морфологияи рӯизаминӣ) ва санҷиши якрангии оптикӣ (Δn <5×10⁻⁵).
4.Дастгирии занҷири таъминоти ҷаҳонӣ
.
· Иқтидори истеҳсолӣ: Истеҳсоли ҳармоҳа >5,000 вафли (8 дюйм: 70%), бо расонидани ёрии таъҷилии 48 соат.
· Шабакаи логистикӣ: фарогирӣ дар Аврупо, Амрикои Шимолӣ ва Осиё-Уқёнуси Ором тавассути боркашонии ҳавоӣ/баҳрӣ бо бастаи аз ҳарорати назоратшаванда.
