Вафли LiTaO3 2 дюйм-8 дюйм 10x10x0.5 мм 1sp 2sp барои алоқаи 5G/6G
Параметрҳои техникӣ
| Ном | LiTaO3 дараҷаи оптикӣ | Сатҳи мизи садо LiTaO3 |
| Аксиалӣ | Буриши Z + / - 0.2 ° | Буриши 36°Y / Буриши 42°Y / Буриши X (+ / - 0.2 °) |
| Диаметр | 76.2мм + / - 0.3мм/ 100±0.2мм | 76.2мм + /-0.3мм 100мм + /-0.3мм 0р 150±0.5мм |
| Ҳавопаймои додашуда | 22мм + / - 2мм | 22мм + /-2мм 32мм + /-2мм |
| Ғафсӣ | 500мм + /-5мм 1000мм + /-5мм | 500мм + /-20мм 350мм + /-20мм |
| TTV | ≤ 10 мкм | ≤ 10 мкм |
| Ҳарорати Кюри | 605 °C + / - 0.7 °C (усули DTA) | 605 °C + / -3 °C (методи DTA |
| Сифати сатҳ | Сайқалдиҳии дуҷониба | Сайқалдиҳии дуҷониба |
| Кунҷҳои каҷшуда | мудавваркунии канор | мудавваркунии канор |
Хусусиятҳои асосӣ
1. Иҷрои барқӣ ва оптикӣ
· Коэффитсиенти электро-оптикӣ: r33 ба 30 pm/V (буриши X) мерасад, ки 1,5 маротиба аз LiNbO3 баландтар аст ва модулятсияи электро-оптикии ултравасеъбандро (> паҳнои банд 40 ГГц) имконпазир месозад.
· Вокуниши васеъи спектрӣ: Диапазони интиқол 0.4–5.0 мкм (ғафсии 8 мм), бо канори ҷабби ултрабунафш то 280 нм, ки барои лазерҳои ултрабунафш ва дастгоҳҳои нуқтаҳои квантӣ беҳтарин аст.
· Коэффисиенти пасти пироэлектрикӣ: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), ки устувориро дар сенсорҳои инфрасурхи ҳарорати баланд таъмин мекунад.
2. Хусусиятҳои гармӣ ва механикӣ
· Ноқилияти баланди гармӣ: 4.6 Вт/м·К (буриши X), чор маротиба аз кварс, даври гармии -200–500°C-ро нигоҳ медорад.
· Коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), бо бастабандии силикон барои кам кардани фишори гармӣ мувофиқ аст.
3. Назорати камбудиҳо ва дақиқии коркард
· Зичии қубурҳои хурд: <0.1 см⁻² (ваферҳои 8-дюйма), зичии дислокатсия <500 см⁻² (тавассути кандакории KOH тасдиқ карда шудааст).
· Сифати сатҳ: бо CMP то Ra <0.5 нм сайқал дода шудааст, ки ба талаботи ҳамвории дараҷаи EUV дар литография ҷавобгӯ аст.
Барномаҳои калидӣ
| Домен | Сенарияҳои татбиқ | Афзалиятҳои техникӣ |
| Алоқаи оптикӣ | Лазерҳои DWDM 100G/400G, модулҳои гибридии фотоникии силикон | Интиқоли васеи спектралии пластинаи LiTaO3 ва талафоти пасти мавҷгир (α <0.1 дБ/см) имкон медиҳад, ки васеъшавии банди C имконпазир гардад. |
| Алоқаи 5G/6G | Филтрҳои SAW (1.8–3.5 ГГц), филтрҳои BAW-SMR | Вафлиҳои буриши 42°Y ба Kt² >15% мерасанд, ки талафоти ками воридшавӣ (<1.5 дБ) ва ғелонидани баланд (>30 дБ)-ро таъмин мекунанд. |
| Технологияҳои квантӣ | Детекторҳои якфотонӣ, манбаъҳои табдили параметрӣ ба поён | Коэффитсиенти баланди ғайрихаттӣ (χ(2)=40 pm/V) ва суръати пасти ҳисобкунии торик (<100 ҳисоб/с) дақиқии квантиро афзоиш медиҳанд. |
| Сенсори саноатӣ | Сенсорҳои фишори ҳарорати баланд, трансформаторҳои ҷараён | Вокуниши пьезоэлектрикии вафли LiTaO3 (g33 >20 мВ/м) ва таҳаммулпазирии ҳарорати баланд (>400°C) ба муҳитҳои шадид мувофиқанд. |
Хизматрасониҳои XKH
1. Истеҳсоли вафли фармоишӣ
· Андоза ва буридан: вафлиҳои 2-8 дюймӣ бо буриши X/Y/Z, буриши 42°Y ва буришҳои кунҷии фармоишӣ (±0.01° таҳаммулпазирӣ).
· Назорати допинг: Допинги Fe, Mg тавассути усули Чохралски (диапазони консентратсия 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) барои беҳтар кардани коэффитсиентҳои электрооптикӣ ва устувории гармӣ.
2. Технологияҳои пешрафтаи равандҳо
ки
· Ҷаббиши даврӣ (PPLT): Технологияи Smart-Cut барои пластинаҳои LTOI, ки ба дақиқии давраи домени ±10 нм ва табдили басомади квазифазавӣ (QPM) ноил мегардад.
· Интегратсияи гетерогенӣ: Вафлиҳои таркибии LiTaO3 дар асоси Si (POI) бо назорати ғафсӣ (300–600 нм) ва гузаронандагии гармӣ то 8.78 Вт/м·К барои филтрҳои SAW-и басомади баланд.
3. Системаҳои идоракунии сифат
ки
· Санҷиши пурра: спектроскопияи Раман (тасдиқи политип), XRD (кристаллӣ), AFM (морфологияи сатҳ) ва санҷиши якрангии оптикӣ (Δn <5×10⁻⁵).
4. Дастгирии ҷаҳонии занҷираи таъминот
ки
· Иқтидори истеҳсолӣ: Истеҳсоли моҳона >5,000 пластина (8 дюйм: 70%), бо интиқоли фаврӣ дар давоми 48 соат.
· Шабакаи логистикӣ: Фарогирӣ дар Аврупо, Амрикои Шимолӣ ва Осиё ва Уқёнуси Ором тавассути боркашонии ҳавоӣ/баҳрӣ бо бастабандии таҳти назорати ҳарорат.
